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公开(公告)号：CN114812889B
公开(公告)日：2025-02-14
申请号：CN202210485232.5
申请日：2022-05-06
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明提供了一种大口径光学应力检测装置及其检测方法，检测光路利用线偏振激光作为输入探测光，通过会聚透镜扩束后，再经过一个分光棱镜和一个大口径准直物镜准直入射大口径待测元件，然后由标准反射镜反射，再次穿过待测元件，经准直镜会聚和分光棱镜反射后再由准直镜准直，最终用偏振相机采集光强信息，通过后端数据处理，实现大口径样品中应力的可视化；与传统检测光路相比，该光路不需要波片，无需转动或移动任何部件，就可以实现大口径应力双折射的实时检测，避免了波片和运动平台引入的误差。该方法不需要借助拼接算法，可以同时得到整面大口径样品的应力分布，而且易于和现有的大口径干涉光路集成。
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公开(公告)号：CN109091108B
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN201810580761.7
申请日：2018-06-07
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于视场子区分割的相位滤波器搜索算法，基于搭建多光谱干涉显微成像装置，在CCD靶面采集人眼眼底和3D打印参考物在不同波长下的多幅干涉图，分别对波数和横纵向位置做一维和二维傅里叶变换，对视场进行子区分割，针对轴上、轴外和边缘视场的不同像差，搜索对应的泽尼克项系数，以图像清晰度作为指标校正像差，最终通过逆傅里叶变换得到不同深度上的二维眼底图像。本发明具有校正速度快，可以校正具有复杂像差的大NA系统的优点。
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公开(公告)号：CN111121661A
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201911302926.5
申请日：2019-12-17
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种用于光滑表面形貌测量的窄带非单色光n+1幅相移测试算法，本算法通过窄带非单色光干涉测量实现对光滑样品表面形貌的复原，适用于光源为白光加窄带滤光片的干涉测试系统。驱动相移器按照π/2的相移间隔进行z轴垂直扫描，共采集连续的干涉图N幅，并对干涉图进行相位φ(z)求解，再根据φ(z)求解对比度U(z)，找出对比度最大的干涉图；以对比度最大的干涉图为第(n+1)/2幅干涉图，在其前后共取连续的n+1幅干涉图，第1幅至n幅相移干涉图采用n幅相移算法复原得到相位φ1，第2幅至n+1幅相移干涉图同样采用n幅相移算法复原得到相位φ2，将φ1和φ2的平均值作为最终相位。本算法能够有效消除相位复原误差，是一种实用、快速、高精度的形貌复原算法。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112525071B
公开(公告)日：2022-08-16
申请号：CN202011357852.8
申请日：2020-11-27
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B9/02055
Abstract: 本发明公开了一种抑制大口径干涉仪中光学材料非均匀性影响的方法，所述方法为大口径干涉仪中大口径准直透镜及TF标准平板的材料非均匀性的影响提供模拟仿真以及校正方案。首先在光学设计软件Zemax中建立扩束系统模型；采用多项式表征大口径光学材料的折射率非均匀性；采用Zemax中自定义面型实现对折射率三维分布的大口径准直透镜和标准平板的建模并模拟分析大口径材料折射率非均匀性的影响。在扩束系统准确建模的基础之上，通过优化小口径准直镜和TF标准平板前表面的面形参数来抑制大口径光学材料非均匀性的影响。本发明对大口径光学材料折射率三维分布精确建模，并通过优化小口径准直镜的参数来抑制大口径光学材料非均匀性影响，精度高且实用性好。
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公开(公告)号：CN114812889A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210485232.5
申请日：2022-05-06
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明提供了一种大口径光学应力检测装置及其检测方法，检测光路利用线偏振激光作为输入探测光，通过会聚透镜扩束后，再经过一个分光棱镜和一个大口径准直物镜准直入射大口径待测元件，然后由标准反射镜反射，再次穿过待测元件，经准直镜会聚和分光棱镜反射后再由准直镜准直，最终用偏振相机采集光强信息，通过后端数据处理，实现大口径样品中应力的可视化；与传统检测光路相比，该光路不需要波片，无需转动或移动任何部件，就可以实现大口径应力双折射的实时检测，避免了波片和运动平台引入的误差。该方法不需要借助拼接算法，可以同时得到整面大口径样品的应力分布，而且易于和现有的大口径干涉光路集成。
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公开(公告)号：CN111121661B
公开(公告)日：2021-09-17
申请号：CN201911302926.5
申请日：2019-12-17
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种用于光滑表面形貌测量的窄带非单色光n+1幅相移测试算法，本算法通过窄带非单色光干涉测量实现对光滑样品表面形貌的复原，适用于光源为白光加窄带滤光片的干涉测试系统。驱动相移器按照π/2的相移间隔进行z轴垂直扫描，共采集连续的干涉图N幅，并对干涉图进行相位φ(z)求解，再根据φ(z)求解对比度U(z)，找出对比度最大的干涉图；以对比度最大的干涉图为第(n+1)/2幅干涉图，在其前后共取连续的n+1幅干涉图，第1幅至n幅相移干涉图采用n幅相移算法复原得到相位φ1，第2幅至n+1幅相移干涉图同样采用n幅相移算法复原得到相位φ2，将φ1和φ2的平均值作为最终相位。本算法能够有效消除相位复原误差，是一种实用、快速、高精度的形貌复原算法。
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公开(公告)号：CN112525071A
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：CN202011357852.8
申请日：2020-11-27
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 本发明公开了一种抑制大口径干涉仪中光学材料非均匀性影响的方法，所述方法为大口径干涉仪中大口径准直透镜及TF标准平板的材料非均匀性的影响提供模拟仿真以及校正方案。首先在光学设计软件Zemax中建立扩束系统模型；采用多项式表征大口径光学材料的折射率非均匀性；采用Zemax中自定义面型实现对折射率三维分布的大口径准直透镜和标准平板的建模并模拟分析大口径材料折射率非均匀性的影响。在扩束系统准确建模的基础之上，通过优化小口径准直镜和TF标准平板前表面的面形参数来抑制大口径光学材料非均匀性的影响。本发明对大口径光学材料折射率三维分布精确建模，并通过优化小口径准直镜的参数来抑制大口径光学材料非均匀性影响，精度高且实用性好。
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公开(公告)号：CN109091108A
公开(公告)日：2018-12-28
申请号：CN201810580761.7
申请日：2018-06-07
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于视场子区分割的相位滤波器搜索算法，基于搭建多光谱干涉显微成像装置，在CCD靶面采集人眼眼底和3D打印参考物在不同波长下的多幅干涉图，分别对波数和横纵向位置做一维和二维傅里叶变换，对视场进行子区分割，针对轴上、轴外和边缘视场的不同像差，搜索对应的泽尼克项系数，以图像清晰度作为指标校正像差，最终通过逆傅里叶变换得到不同深度上的二维眼底图像。本发明具有校正速度快，可以校正具有复杂像差的大NA系统的优点。
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