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公开(公告)号：CN106370372B
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201610867655.8
申请日：2016-09-30
Applicant: 渤海大学
IPC: G01M7/02
Abstract: 本发明公开了一种用于MEMS微结构动态特性测试的聚焦激波激励装置，包括基板、手动三轴位移台和支座，在手动三轴位移台的Z轴溜板上设有微结构单元；在支座上端设有内腔为半个椭球面的椭球腔体，椭球面的第一焦点位于椭球腔体内；在椭球腔体两侧对称设有二个针电极单元；二个针电极针尖位于第一焦点横截面上且指向第一焦点；MEMS微结构位于椭球面第二焦点处；二个针电极分别与高压电容的两极电联接，在一个针电极和高压电容之间设有第一空气开关；高压电容两极分别电联接至高压电源并通过第二空气开关控制通断。优点是：能够避免底座结构的振动响应对测试结果的干扰，实现了对MEMS微结构的非接触式激励，激励效果好，便于测试微结构的动态特性参数。
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公开(公告)号：CN108225701A
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201711355474.8
申请日：2017-12-16
Applicant: 渤海大学
Abstract: 本发明公开了一种由叠堆压电陶瓷驱动的MEMS微结构三轴式底座激励装置，包括套筒、压电陶瓷、压力传感器、上、下联接块、钢球以及弹性支撑件和MEMS微结构；在套筒两端分别设有环形顶板和底板，微结构通过弹性支撑件设在顶板上；在环形顶板和底板之间均布有导向轴，下联接块外缘均布有导向支臂且分别由套筒壁上穿过并套在导向轴上，在导向支臂上分别设有锁紧装置；在上联接块和下联接块上分别设有锥形凹槽和球面凹槽；压电陶瓷夹在压力传感器与弹性支撑件之间。该装置能够对叠堆压电陶瓷施加不同大小的预紧力，同时使所获得的预紧力测量值更加准确，可使补偿叠堆压电陶瓷两工作表面平行度误差的调节过程变得更加顺畅和平滑，便于测试动态特性参数。
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公开(公告)号：CN108225700A
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201711355459.3
申请日：2017-12-16
Applicant: 渤海大学
IPC: G01M7/02
Abstract: 本发明公开了一种由压电陶瓷驱动的MEMS微结构四轴式激励装置，包括套筒、叠堆压电陶瓷，压力传感器，上、下联接块和MEMS微结构；上联接块下端设有半球状圆头并压在下联接块上面；压电陶瓷夹持在压力传感器与弹性支撑件之间；在上联接块与套筒之间圆周均布设有球头柱塞，球头柱塞内端钢珠顶入到上联接块外缘的滑槽内，在环形顶板和底板之间圆周均布有导向轴，下联接块外缘均布的导向支臂分别由套筒穿过并套装在导向轴上。该装置能够灵活对叠堆压电陶瓷施加不同大小的预紧力，使预紧力测量值更加准确，可使补偿叠堆压电陶瓷两工作表面平行度误差的调节过程变得更加顺畅和平滑，减小了叠堆压电陶瓷各层之间的剪切力，便于测试MEMS微结构的动态特性参数。
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公开(公告)号：CN108217590A
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201711355485.6
申请日：2017-12-16
Applicant: 渤海大学
IPC: B81C99/00
Abstract: 本发明公开了一种用于MEMS微结构动态特性测试的三轴式底座激励装置，包括套筒、叠堆压电陶瓷、压力传感器、上、下联接块、钢球和MEMS微结构；在套筒内设有支撑板及丝母与下联接块连接的电动丝杠传动机构；在上、下联接块上分别设有夹持钢球的球面凹槽和锥形凹槽；叠堆压电陶瓷夹持在压力传感器与弹性支撑件之间；在上联接块上均布连接有球头柱塞，球头柱塞外端顶入套筒内壁的矩形凹槽内。该装置能够更加灵活的对叠堆压电陶瓷施加不同大小的预紧力，使所获得的预紧力测量值更加准确，可使补偿叠堆压电陶瓷两工作表面平行度误差的调节过程变得更加顺畅和平滑，减小了叠堆压电陶瓷各层之间的剪切力，便于测试MEMS微结构的动态特性参数。
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公开(公告)号：CN108217588A
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201711355482.2
申请日：2017-12-16
Applicant: 渤海大学
IPC: B81C99/00
Abstract: 本发明公开了一种由叠堆压电陶瓷驱动的MEMS微结构四轴式底座激励装置，包括套筒，压电陶瓷，压力传感器，上、下联接块，钢球以及弹性支撑件和MEMS微结构；在套筒两端分别设有环形顶板和底板，微结构通过弹性支撑件设在环形顶板上；在环形顶板和底板之间均布有导向轴，下联接块外缘均布有导向支臂且分别由套筒壁上穿过并套在导向轴上，在导向支臂上分别设有锁紧装置；在上联接块和下联接块上分别设有锥形凹槽和球面凹槽；压电陶瓷夹在压力传感器与弹性支撑件之间。该装置能够对叠堆压电陶瓷施加不同大小的预紧力，同时使所获得的预紧力测量值更加准确，可使补偿叠堆压电陶瓷两工作表面平行度误差的调节过程变得更加顺畅和平滑，便于测试动态特性参数。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108217586A
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201711355473.3
申请日：2017-12-16
Applicant: 渤海大学
IPC: B81C99/00
Abstract: 本发明公开了一种用于MEMS微结构动态特性测试的四轴式激振装置，包括套筒、压电陶瓷、压力传感器、上、下联接块、钢球和MEMS微结构；在套筒内设有支撑板及电动丝杠传动机构；在上、下联接块上分别设有夹持钢球的球面凹槽和锥形凹槽；压电陶瓷夹持在压力传感器与弹性支撑件之间；在上联接块外缘通过圆周均布的连接杆连接有安装块，在安装块上分别安装有球头柱塞，球头柱塞外端钢珠分别顶入到套筒外壁的矩形凹槽内。该装置能够灵活对压电陶瓷施加不同大小的预紧力，同时使所获得的预紧力测量值更加准确，可使补偿压电陶瓷两工作表面平行度误差的调节过程变得更加顺畅和平滑，能够避免测试用微器件的脱落，便于测试MEMS微结构的动态特性参数。
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公开(公告)号：CN106629586B
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201610899628.9
申请日：2016-10-15
Applicant: 渤海大学
IPC: B81C99/00
Abstract: 本发明公开了一种可对MEMS微结构表面指定区域进行激励的装置及其激励方法，其装置包括基板，在基板上设有四个手动三轴位移台，超声探头单元、激光器单元、遮挡板和微结构单元依次安装在四个手动三轴位移台上；超声探头单元包括探头安装板，在探头安装板上设有点聚焦空气耦合超声探头；激光器单元包括固定板和转动板，转动板上设有第一、第二手动角位移台，第二手动角位移台上设有激光器；遮挡板上设有圆锥孔，圆锥孔底面中心设有小直径微孔；微结构单元的MEMS微结构靠近遮挡板的微孔一侧；点聚焦空气耦合超声探头、激光器、遮挡板和MEMS微结构依次排列。优点是能够对尺寸较小的微结构表面指定区域进行激励，可提高检测到的微结构振动响应信号的信噪比。
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公开(公告)号：CN106629584B
公开(公告)日：2018-06-26
申请号：CN201610866920.0
申请日：2016-09-30
Applicant: 渤海大学
IPC: B81C99/00
Abstract: 本发明公开了一种用于MEMS金属微结构动态特性测试的非接触式激波激励装置，包括设在基板上的手动三轴位移台和支座，在手动三轴位移台的Z轴溜板上设有针电极单元，其针电极指向设在支座上端的微结构单元；微结构单元包括固定套，在固定套孔内的环形阶梯处绝缘安装有安装板，在安装板下部设有半圆形通孔，在安装板上通过微结构压板压装MEMS金属微结构；所述针电极和安装板分别与高压电容的两极电联接，在针电极和高压电容之间设有第一空气开关控制通断；高压电容的两极分别电联接至高压电源的正负极，并通过第二空气开关控制通断。该装置能够避免底座结构的振动响应对测试结果的干扰，实现了对金属微结构的非接触式激励，操作简便安全，激励效果好。
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公开(公告)号：CN108195536A
公开(公告)日：2018-06-22
申请号：CN201711355455.5
申请日：2017-12-16
Applicant: 渤海大学
IPC: G01M7/02
Abstract: 本发明公开了一种用于对MEMS微结构进行动态加载的四轴式激振装置，包括套筒和底板，压电陶瓷，压力传感器，上、下联接块，钢球以及弹性支撑件和MEMS微结构；在套筒上端设有环形顶板，微结构通过弹性支撑件设在环形顶板上；在环形顶板和底板之间均布有导向轴，下联接块设有导向支臂并套在导向轴上，在导向支臂上分别设有锁紧装置；在上、下联接块上分别设有球面凹槽；压电陶瓷夹在压力传感器与弹性支撑件之间；上联接块外缘均布连接有安装块并通过球头柱塞定位于套筒外壁。该装置能够对压电陶瓷施加不同大小的预紧力，使所获得的预紧力测量值更加准确，可使补偿压电陶瓷两工作表面平行度误差的调节过程变得更加顺畅和平滑，便于测试动态特性参数。
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公开(公告)号：CN108168817A
公开(公告)日：2018-06-15
申请号：CN201711355478.6
申请日：2017-12-16
Applicant: 渤海大学
Abstract: 本发明公开了一种基于底座激励方法的MEMS微结构三轴式激振装置，包括套筒，压电陶瓷，压力传感器，上、下联接块以及弹性支撑件和MEMS微结构；在套筒两端设有环形顶板和底板，微结构通过弹性支撑件设在环形顶板上；在环形顶板和底板之间均布有导向轴，下联接块设有导向支臂且由套筒壁穿过并套在导向轴上，在导向支臂上分别设有锁紧装置；在上、下联接块上分别设有相互配合的球面凹槽和凸起；压电陶瓷夹在压力传感器与弹性支撑件之间；上联接块外缘通过球头柱塞顶入套筒内壁。该装置能够对压电陶瓷施加不同大小的预紧力，使所获得的预紧力测量值更加准确，可使补偿压电陶瓷两工作表面平行度误差的调节过程变得更加顺畅和平滑，便于测试动态特性参数。
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