公开(公告)号：CN105940140B

公开(公告)日：2018-04-20

申请号：CN201480074226.4

申请日：2014-11-28

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 越智贵志 ,  井上智 ,  小林勇毅 ,  松永和树 ,  川户伸一 ,  菊池克浩 ,  市原正浩 ,  松本荣一

IPC: C23C14/24 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

CPC classification number: H01L51/0002 ,  C23C14/042 ,  C23C14/044 ,  C23C14/12 ,  C23C14/24 ,  C23C14/546 ,  C23C16/455 ,  C23C16/50 ,  H01L51/0008 ,  H01L51/5012 ,  H01L51/56

Abstract: 本发明提供在整个蒸镀区域中基板上的蒸镀率的控制精度优异的蒸镀装置、蒸镀方法和有机电致发光元件的制造方法。本发明提供在基板上形成膜的蒸镀装置，上述蒸镀装置包括第一膜厚监视部和包含蒸镀源的蒸镀单元，并且，一边基于上述第一膜厚监视部的测定结果，控制从上述蒸镀源放出气化后的材料的部分与上述基板的被蒸镀的表面之间的距离，一边进行蒸镀。

公开(公告)号：CN107849686A

公开(公告)日：2018-03-27

申请号：CN201680046218.8

申请日：2016-08-03

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 井上智 ,  菊池克浩 ,  川户伸一 ,  二星学 ,  小林勇毅

IPC: C23C14/24 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14

CPC classification number: H01L51/56 ,  C23C14/243 ,  C23C14/26 ,  H01L51/001

Abstract: 蒸镀源(10)中的蒸镀颗粒射出单元(30)包括：各自具有至少1个蒸镀喷嘴(32、52)且在垂直方向上彼此隔开间隔地叠层的多段的喷嘴单元；和设置在各段的蒸镀喷嘴之间的至少1个空间部(43)，该空间部的四周被侧壁(44)包围，该侧壁(44)设置有至少1个将该空间部和真空腔室内空间(2a)连接的开口部(45)。

公开(公告)号：CN107735508A

公开(公告)日：2018-02-23

申请号：CN201680035857.4

申请日：2016-06-28

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 小林勇毅 ,  川户伸一 ,  二星学 ,  井上智

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/04 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14

CPC classification number: H01L51/0011 ,  C23C14/042 ,  C23C14/228 ,  C23C14/24 ,  H01L51/001 ,  H01L51/56

Abstract: 蒸镀装置(100)包括：蒸镀源(30)；蒸镀掩模(10)；配置在蒸镀源与蒸镀掩模之间的限制板单元(20)；和气体供给机构(50)，其在蒸镀掩模与限制板单元之间的部分、并且在俯视时限制板单元的相邻的限制板开口(21)之间、并且在蒸镀掩模的相邻的掩模开口区域(11)之间的非开口部(13)形成气体壁(501)。

公开(公告)号：CN105981476B

公开(公告)日：2018-01-12

申请号：CN201580006196.8

申请日：2015-02-10

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 塚本优人 ,  菊池克浩 ,  川户伸一 ,  内田秀树 ,  二星学 ,  井上智 ,  矶村良幸

IPC: H05B33/12 ,  H01L51/50

CPC classification number: H01L51/5008 ,  H01L27/3211 ,  H01L51/0085 ,  H01L51/5004 ,  H01L51/5024 ,  H01L51/504 ,  H01L51/5056 ,  H01L51/5072 ,  H01L51/5096 ,  H01L51/5206 ,  H01L51/5221 ,  H01L2251/5384 ,  H01L2251/552 ,  H01L2251/558

Abstract: 本发明提供发光效率和生产率高的有机EL元件和具备上述有机EL元件的有机EL面板。本发明的有机电致发光元件依次具有阳极、空穴输送层、发光单元、电子输送层和阴极，上述发光单元包括混合发光层，并且在上述空穴输送层与上述混合发光层之间和/或上述电子输送层与上述混合发光层之间包括发光掺杂剂层，上述混合发光层含有第一发光主体材料和第一发光掺杂剂材料，上述发光掺杂剂层实质上仅由第二发光掺杂剂材料构成，并且比上述混合发光层薄。

公开(公告)号：CN105324511B

公开(公告)日：2017-09-05

申请号：CN201480035328.5

申请日：2014-05-01

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 井上智 ,  菊池克浩 ,  川户伸一 ,  越智贵志 ,  小林勇毅 ,  市原正浩 ,  松本荣一

IPC: C23C14/24 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

CPC classification number: H01L51/0011 ,  C23C14/042 ,  C23C14/24 ,  H01L27/3244 ,  H01L51/5012

Abstract: 本发明提供能够抑制模糊宽度增大并且缩短成膜时间的有机EL元件的制造方法和有机EL显示装置。本发明是使用扫描蒸镀法的有机EL元件的制造方法，其特征在于，以与限制板的各开口部相对的方式在蒸镀源设置多个射出口，将与同一开口部相对的多个射出口相互分离地配置，使得由下述式(1)表示的分布之和为1以下。Ri表示与同一开口部相对的多个射出口中的射出口i的最大成膜速率，i表示1以上m以下的整数，m表示与同一开口部相对的多个射出口的个数，ri表示蒸镀工序中的射出口i的实际的成膜速率，ni为射出口i的n值(0以上的数)，θi表示将射出口i与成膜区域内的任意点连结的线段与主成膜方向所成的角。

公开(公告)号：CN107006096A

公开(公告)日：2017-08-01

申请号：CN201580063591.X

申请日：2015-11-20

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 小原将纪 ,  內田秀树 ,  菊池克浩 ,  井上智 ,  塚本优人 ,  松永和树 ,  小池英士

IPC: H05B33/26 ,  G09F9/30 ,  H01L27/32 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10 ,  H05B33/12 ,  H05B33/14 ,  H05B33/22

CPC classification number: H01L51/5262 ,  G09F9/30 ,  H01L27/32 ,  H01L27/3213 ,  H01L27/3288 ,  H01L51/50 ,  H01L51/5012 ,  H01L51/5212 ,  H01L51/5218 ,  H01L51/5228 ,  H01L51/5234 ,  H01L51/5271 ,  H01L2251/5315 ,  H05B33/26

Abstract: 发光元件在一个发光区域(13)内至少具有，具备挖掘形状的，依次相互接触而层叠有第一电极(41)、EL层(42)、第二电极(43)的第一沟槽部(41TR1)，第一电极(41)以及第二电极(43)其中一方含有反射电极，在反射电极的靠近于EL层(42)侧的表面上设有衍射表面等离子体的亚微米级的凹凸部。

公开(公告)号：CN105378139B

公开(公告)日：2017-06-13

申请号：CN201480039163.9

申请日：2014-03-04

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 矶村良幸 ,  菊池克浩 ,  川户伸一 ,  井上智 ,  越智贵志 ,  小林勇毅 ,  松本荣一 ,  市原正浩

IPC: C23C14/24 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

CPC classification number: H01L51/0011 ,  C23C14/042 ,  C23C14/12 ,  C23C16/458 ,  H01L27/3241 ,  H01L51/50 ,  H01L51/5012

Abstract: 本发明提供能够高精度地形成薄膜的图案的蒸镀装置和蒸镀方法以及显示品质优异的有机电致发光显示装置的制造方法。本发明是一种使用扫描蒸镀法的蒸镀装置，其中，限制部件包括：第一板部；与第一板部之间隔开间隔地设置的第二板部；和将第一板部与第二板部连接的连接部，在第一板部设置有开口，在第二板部设置有与第一板部的开口相对的开口，在第一板部的开口与第二板部的开口之间存在第一空间，在与基板的法线方向和基板的扫描方向正交的方向上的第一空间的旁边，在第一板部与第二板部之间存在第二空间，第一空间与第二空间连接，在基板的扫描方向上的第二空间的旁边，在限制部件之外存在第三空间，第二空间与第三空间连接。

公开(公告)号：CN106717121A

公开(公告)日：2017-05-24

申请号：CN201580049404.2

申请日：2015-09-10

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 小池英士 ,  内田秀树 ,  菊池克浩 ,  矶村良幸 ,  井上智 ,  塚本优人 ,  小原将纪 ,  松永和树

IPC: H05B33/24 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10 ,  H05B33/26

CPC classification number: H01L51/5271 ,  H01L27/3244 ,  H01L51/5036 ,  H01L51/5056 ,  H01L51/5072 ,  H01L51/5088 ,  H01L51/5092 ,  H01L51/5268 ,  H01L51/56

Abstract: 本发明的有机EL装置(1)具备基材(2)、第一构造部(35)和第二构造部(36)。第一构造部(35)具备：凹部(9)、沿着凹部(9)的内表面设置的反射层(3)、隔着反射层(3)填充在凹部(9)的内侧的填充层(12)、第一电极(4)、包含发光层的有机层(5)和第二电极(6)。第二构造部(36)具备：设置于基材(2)的平坦面的反射层(3)、第一电极(4)、包含发光层的有机层(5)和第二电极(6)。

公开(公告)号：CN106463634A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201580029523.1

申请日：2015-06-03

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 矶村良幸 ,  菊池克浩 ,  川户伸一 ,  内田秀树 ,  二星学 ,  井上智 ,  塚本优人

IPC: H01L51/50 ,  H05B33/10 ,  H05B33/12 ,  H05B33/24 ,  H05B33/28

CPC classification number: H01L51/504 ,  H01L27/3211 ,  H01L27/322 ,  H01L51/002 ,  H01L51/0026 ,  H01L51/5012 ,  H01L51/5052 ,  H01L51/5056 ,  H01L51/506 ,  H01L51/5064 ,  H01L51/5068 ,  H01L51/5076 ,  H01L51/508 ,  H01L51/5084 ,  H01L51/5218 ,  H01L51/5265 ,  H01L51/5271 ,  H01L51/56

Abstract: 有机EL元件(1)具备：阳极(4)；阴极(5)；设置在该阳极(4)与阴极(5)之间的发光层(6)；设置在阳极(4)与发光层(6)之间的空穴输送层输送层(9)，其中，阴极(5)由反射电极构成。电子输送层(9)由添加有n型的掺杂材料的掺杂电子输送层(9b)和未添加n型的掺杂材料的无掺杂电子输送层(9a)构成，在该掺杂电子输送层(9b)与无掺杂电子输送层(9a)的界面，设置有对来自发光层(6)的光进行反射的第一反射面(11)。(7)；和设置在阴极(5)与发光层(6)之间的电子

公开(公告)号：CN105794320A

公开(公告)日：2016-07-20

申请号：CN201480066214.7

申请日：2014-09-17

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 松永和树 ,  菊池克浩 ,  川户伸一 ,  井上智 ,  小林勇毅 ,  越智贵志

IPC: H05B33/10 ,  H01L51/50

CPC classification number: H01L51/56 ,  H01L27/3211 ,  H01L51/0017 ,  H01L51/5012

Abstract: 本发明提供能够防止混色的发生、提高显示品质并且提高制造效率的有机EL显示面板的制造方法。本发明的有机EL显示面板的制造方法依次包括以下工序：在第一像素形成显示第一发光色的发光材料的膜而形成第一发光层的工序(1)；对包含相邻的第一像素和第二像素的区域进行蚀刻处理，留下上述第一发光层，将在上述工序(1)中附着于上述第二像素的比上述第一发光层薄的显示上述第一发光色的发光材料的薄膜除去的工序(2)；在上述第二像素形成显示与上述第一发光色不同的第二发光色的发光材料的膜而形成第二发光层的工序(3)；和对包含上述第一像素和上述第二像素的区域进行蚀刻处理，留下上述第二发光层，将在上述工序(3)中附着于上述第一像素的比上述第二发光层薄的显示上述第二发光色的发光材料的薄膜除去的工序(4)。