一种浅注入成膜设备及其技术
    73.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116334566A

    公开(公告)日:2023-06-27

    申请号:CN202310129986.1

    申请日:2023-02-17

    Abstract: 本发明公开了一种浅注入成膜设备,包括真空腔室底柜,真空腔室底柜上面连接设有真空腔室,真空腔室上面通过活套法兰一连接设有分子泵,真空腔室两侧均通过活套法兰二连接设有磁过滤器,磁过滤器上面连接设有阳极筒,真空腔室底部通过工作台转轴系统和齿轮连接设有旋转工作台,旋转工作台和真空腔室绝缘设置,真空腔室内通过绝缘螺钉固定连接设有交变电场,磁过滤器出口通过绕组方式连接设有纵横磁场,真空腔室上通过氮化硼套管固定连接设有偏压网系统,磁过滤器上通过螺钉引线连接设有磁过滤系统电位接线。本发明的优点:沉积速率高,膜层致密性好,膜基结合力强,成膜技术可操作性强。

    一种氩液化系统
    74.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115388615A

    公开(公告)日:2022-11-25

    申请号:CN202210411852.4

    申请日:2022-04-19

    Abstract: 本发明公开一种氩液化系统,涉及探测器相关技术领域;包括密封设置的冷箱,所述冷箱侧壁通过真空管路连通有真空系统;所述冷箱顶部固定设置有制冷机,所述制冷机下方的制冷机冷头位于所述冷箱内,所述制冷机冷头一侧连接有回热换热器,所述回热换热器底部连接有氩气管,所述制冷机冷头底部连接有液氩管,所述氩气管和液氩管末端分别穿过所述冷箱顶部后连接有探测器容器,探测器容器上用于安装探测器。本发明提供的氩液化系统,制冷效果好,能够为探测器提供持续稳定的低温环境。

    在柔性基体上制备硬质薄膜的方法及相关产品

    公开(公告)号:CN110578124B

    公开(公告)日:2021-10-01

    申请号:CN201911004499.2

    申请日:2019-10-22

    Abstract: 本发明涉及膜材料技术领域,公开了一种在柔性基体上制备硬质薄膜的方法及相关产品,所述在柔性基体上制备硬质薄膜的方法为:在利用气体离子源对柔性基体进行清洗处理后,采用磁过滤技术在柔性基体上沉积依次制备金属膜层、有机‑金属异质结和金属过渡层,然后利用高功率脉冲磁控溅射技术制备梯度过渡层以及硬质薄膜,从而完成了柔性基体上硬质薄膜的制备。本发明实施例提供的制备方法使制备的硬质薄膜的结构更加稳固,能够大大提高硬质薄膜中各涂层界面间的结合强度,进一步提高了使用该硬质薄膜的工件的使役性能。

    一种自支撑绝缘介质及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN111534820B

    公开(公告)日:2021-03-23

    申请号:CN202010541095.3

    申请日:2020-06-15

    Abstract: 本发明属于涂层技术领域,特别涉及一种自支撑绝缘介质及其制备方法和应用。本发明提供的自支撑绝缘介质,包括绝缘基体和由绝缘基体向自支撑绝缘介质表面依次设置的硅接枝层、碳化硅层、氧化铝层和聚四氟乙烯层。在本发明中,绝缘基体保证自支撑绝缘介质具有较大的整体电阻;接枝层有利于保证无机膜层与绝缘基体之间具有优良的结合力;碳化硅层和氧化铝层同时作为聚四氟乙烯层的支撑层,且氧化铝层具备很好的绝缘特性,还有阻氧扩散的作用;聚四氟乙烯层具有降低自支撑绝缘介质摩擦系数和保证绝缘性的作用。实施例测试结果表明,本发明提供的自支撑绝缘介质的电阻≥108Ω,摩擦系数≤0.1,维氏硬度≥1000HV,结合强度≥80MPa。

    一种锂电池集流体的制备装置

    公开(公告)号:CN110993886B

    公开(公告)日:2021-01-05

    申请号:CN201911366423.4

    申请日:2019-12-26

    Abstract: 本发明涉及一种锂电池集流体的制备装置,用于在聚合物表面制备集流体,包括:真空腔室上开设有第一法兰接口以及第二法兰接口;离子源模块设于第一法兰接口上;磁过滤模块设于第二法兰接口上;每个转轴均设于真空腔室中,每个转轴的形状均为中空圆环柱,每个转轴均与聚合物接触,每个转轴均用于传送聚合物通过真空腔室。本发明通过大幅降低集流体制备过程中对材料处理难度,在物体上覆盖沉积金属离子实现集流体的制备,大幅降低制成的集流体厚度,实现对6微米以下的集流体的制备,不需对铜箔进行压延处理,制备的集流体硬度与韧度均衡,所以不易撕裂、破损,由此,本发明制备的集流体可以批量生产,成品率高,在表面打孔时也不易破损。

    一种储氢材料的制备方法
    78.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112126927A

    公开(公告)日:2020-12-25

    申请号:CN201910548726.1

    申请日:2019-06-24

    Abstract: 本发明公开了一种纳米储氢材料的制备方法,包括以下步骤:1S:对多孔铜进行超声波清洗;2S:氧气氛围下高温氧化制备氧化铜纳米线;3S:溶胶凝胶法制备氧化钛包裹氧化铜纳米线;4S:利用磁过滤技术对纳米线线进行镁沉积。该方法基于高温氧化、离子注入、溶胶凝胶法和磁过滤沉积方法能够方便吸氢放氢的超纳米复合结构。通过该方法制备的吸氢材料,具有吸氢能力强、放氢温度低以及自清洁等特点;本发明的吸氢材料在氢能源方面有着重要的应用前景。

    一种脉冲磁过滤沉积装置
    79.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109097744B

    公开(公告)日:2020-11-24

    申请号:CN201811090717.4

    申请日:2018-09-19

    Abstract: 本发明公开了一种脉冲磁过滤装置,包括,脉冲阴极弧头、引出电极、聚焦直管、磁过滤管、栅网以及射频四级杆过滤器。通过实施本发明,到达镀膜工件表面的离子方向性好,同时离子的电荷态相同,非常适合单晶或多晶膜层的精细化调控生长,同时通过控制四级杆过滤器射频频率可方便实现不同价态离子膜层的选择性精确镀制。本发明的脉冲磁过滤装置在超细、超微芯片或者晶圆种晶制备方面有着广泛的应用前景。

    一种大面积脉冲磁过滤装置

    公开(公告)号:CN109082635B

    公开(公告)日:2020-11-20

    申请号:CN201811091114.6

    申请日:2018-09-19

    Abstract: 本发明公开了一种大面积脉冲磁过滤装置,该装置包括:脉冲阴极弧头、引出电极、聚焦直管、磁过滤管道以及扩展管道。通过实施本发明,离子束斑的形状发生明显的改变,由原来的圆形束斑变成长条形束斑,束斑尺寸最大可为60mm×260mm,大大提高了离子束斑的纵向宽度,在长条形部件表面处理时有着非常明显的优势。同时本发明的大面积脉冲磁过滤装置能够实现导电性差点阴极材料膜层的镀制。通过引出电极和聚焦电极的配合使用能使引出束流大大增加,同时在扩散管道和磁过滤管道线包电流的配合下能大幅展开离子束斑尺寸,在相同束流强度下能够大大增加阴极靶材的寿命。

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