-
公开(公告)号：CN102248461A
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN201110082649.9
申请日：2011-04-02
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: B24B13/00
Abstract: 本发明一种抑制轨迹误差的随机抛光轨迹运动方法包括：确定待抛光光学元件表面的待抛光点和驻留时间分布，用随机轨道算法生成待抛光光学元件表面离散点的抛光顺序和抛光轨迹；用驻留时间补偿方法计算抛光头运动轨迹经历抛光点的停留时间分布，获得待抛光光学元件表面离散点准确的驻留时间；根据驻留时间的分布，由机床代码转换程序生成随机轨迹数控抛光程序代码，在数控抛光机床执行随机轨迹数控抛光程序代码对待抛光光学元件表面各个点进行抛光。随机轨迹抛光方法根据面形分布，使抛光头和磨粒的运动轨迹近似为随机凌乱分布，待抛光光学元件不会残留规则的轨迹划痕，而且使规则的轨迹间的去除函数迭代误差均匀的分布在整个面形中，提高面形精度。
-
公开(公告)号：CN102120313A
公开(公告)日：2011-07-13
申请号：CN201010586837.0
申请日：2010-12-09
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: B24C1/08
Abstract: 本发明是一种抛光工件射流抛光材料去除函数的优化方法，利用射流抛光系统，检测待抛光工件抛光前的面形数据；待抛光工件置放于盛满抛光液的容器中；调节喷嘴的出口与待抛光工件的表面之间的距离，使喷嘴的出口淹没在抛光液中；在单位时间内，利用喷嘴定点对待抛光工件进行全淹没射流抛光，得到去除待抛光工件材料的去除量分布；利用干涉仪检测单位时间内喷嘴在定点抛光区域去除待抛光工件材料的去除量分布，生成抛光去除材料后的待抛光工件的面形数据，利用计算单元将待抛光工件的抛光前的面形数据减去抛光去除材料后待抛光工件的面形，获得显示材料去除函数的优化分布。
-
公开(公告)号：CN101419062B
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN200810239211.5
申请日：2008-12-04
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 一种大口径双曲面次镜检测系统，包括相移干涉仪、两块对称放置的Hindle球面分块反射镜、被测大口径双曲面次镜及计算机系统，计算机系统与相移干涉仪连接，两块Hindle球面分块反射镜用来实现对双曲面次镜中心遮拦外对应区域的子孔径零检测，通过安装在计算机系统上的相移干涉仪数据处理软件把可分辨干涉条纹对应的两个子孔径相位数据提取出来，通过调整机构相对旋转被测大口径双曲面次镜和两块Hindle球面分块反射镜的相对位置，实现对被测大口径双曲面次镜的全孔径范围测试，相邻子孔径间存在足够重叠区以实现高精度的数据拼接处理，最后由将所得到的子孔径测试数据送入计算机系统进行拼接处理，从而获得被测大口径双曲面次镜面形信息；本发明为大口径和超大口径双曲面次镜的研制提供了一种有效的低成本检测手段，具有较大的应用价值。
-
公开(公告)号：CN101957182A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN201010244780.6
申请日：2010-08-04
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 一种大口径高陡度光学镜面在线测量系统，包括光纤光源、会聚光路分光系统、可更换式测量光栅、高精度平面反射镜、大口径高陡度光学镜面、数字CCD、计算机信息处理系统。从数值孔径光纤光源发出的光，通过测量光栅后产生一组阴影条纹，这些阴影条纹在经过会聚光路分光系统及高精度平面反射镜后投影到大口径高陡度光学镜面上，而后又被大口径高陡度光学镜面按原光路反射回去，再次经过高精度平面反射镜及会聚光路分光系统时产生另一束光路，并在这束光路中产生出这个光源的共额像。这个像通过数字CCD采集后传输到计算机，由计算机信息处理系统来进行分析处理，通过比较反射回的像与理想像之间的偏差计算出这个大口径高陡度光学镜面面形误差。
-
公开(公告)号：CN101819022A
公开(公告)日：2010-09-01
申请号：CN201010144581.8
申请日：2010-04-09
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B9/023
Abstract: 一种动态范围可调的干涉仪包括光源、照明系统、扩束准直系统、分光系统、成像系统、PZT精密倾斜台、菲索平板、标准镜头、被测光学元件、装卡调整系统和计算机控制及数据处理系统。测试和参考光束间的倾斜在CCD像素间产生了与空间位置相关的相移，通过计算机控制安装在PZT精密倾斜台上的菲索平板倾斜角大小以控制所产生的载频干涉图的空间频率，采用基于傅立叶变换的算法和空间相移算法等多种算法进行相位解算。针对不同空间频率的载频干涉图，采用适合其频率特征的算法进行优化的相位解算，使得相位提取算法工作在最佳范围内，以实现高精度相位解算。本发明可以调整干涉仪的动态范围，具有较大的动态范围和较高的测量精度，具有较大的应用价值。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101013022B
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：CN200710063641.1
申请日：2007-02-07
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 一种消除光学元件干涉采样数据中随机误差的方法，涉及一种针对圆形口径光学元件面形误差检测方法的改进。利用信息处理技术对干涉仪所获取的光学元件的面形检测数据进行处理，采取改进的最小二乘方法确定检测数据的圆心位置，根据误差理论对多次检测数据作数据处理，消除随机误差影响，最终确定光学元件的面形。本发明通过对加工现场获得的包含多种随机误差的干涉数据的研究，提供了一条光学元件面形检测中消除随机误差影响的新方法，对高质量光学元件的检测与加工具有重要的应用价值。
-
公开(公告)号：CN100582866C
公开(公告)日：2010-01-20
申请号：CN200610113712.X
申请日：2006-10-13
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G02B27/00
Abstract: 确定工艺参数与工件表面频谱分布特性的方法，涉及一种从空间频谱角度分析光学元件制造误差，尤其是表面面形中高频误差与工艺参数的定性定量关系，利用信息处理技术对测试仪器所获取的光学元件的制造误差数据进行处理，采取一维功率谱密度比值作为评价指标确定工艺参数同频谱分布特性的关系。本发明通过对工艺参数与工件表面频谱分布特性的定性定量研究，提供了一条光学元件面形加工中工艺参数确定的新方法，对高质量光学元件的加工具有重要的应用价值。
-
公开(公告)号：CN100580407C
公开(公告)日：2010-01-13
申请号：CN200510116819.5
申请日：2005-10-31
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 一种大口径深型非球面镜检测系统包括菲索型干涉仪、部分补偿器、被测非球面镜、电控平移台及其计算机控制系统，部分补偿器把干涉仪标准镜头出射的参考平面波前转换为非球面波前，通过计算机控制电控平移台移动部分补偿器，产生的参考非球面波前将与被测非球面相应的环带区域相匹配，通过干涉仪把可分辨干涉条纹对应的相位数据提取出来，由环形子孔径“拼接”算法将所得到的子孔径测试数据进行全孔径波前重构，从而获得被测非球面面形信息。本发明具有所需补偿器容易制造和装调等优点，为大口径、大相对口径非球面镜的研制提供了一种有效的检测手段，具有广阔的应用前景。
-
公开(公告)号：CN100567932C
公开(公告)日：2009-12-09
申请号：CN200810113461.4
申请日：2008-05-28
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 扇形离轴非球面镜拼接测量系统，包括菲索型干涉仪、被测扇形离轴非球面镜、电控平移台及计算机控制系统；通过计算机控制电控平移台移动菲索型干涉仪主机，使得标准镜头产生的不同曲率半径的参考球面波前，与被测扇形离轴非球面镜相应的扇形区域相匹配，通过安装在计算机系统上的菲索型干涉仪的数据处理软件把可分辨干涉条纹对应的相位数据提取出来；由扩展的扇形子孔径“拼接”算法对所得到的子孔径测试数据进行全孔径波前重构，从而获得被测扇形离轴非球面镜的面形信息；本发明无需特殊的辅助光学元件就能实现适当偏离量的扇形离轴非球面镜的低成本检测，具有较大的应用价值。
-
公开(公告)号：CN101504276A
公开(公告)日：2009-08-12
申请号：CN200910079380.1
申请日：2009-03-09
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/25
Abstract: 大口径光学镜面Ronchi光栅定量检测仪，包括计算机系统、高精度数字彩色CCD、大数值孔径光纤光源、可更换式Ronchi光栅，反射镜；计算机系统与高精度数字彩色CCD连接，大数值孔径光纤光源发出的光将可更换式Ronchi光栅投影到待测光学镜面上，并被反射回到可更换式Ronchi光栅上，反射回的投影与可更换式Ronchi光栅自身发生叠加产生阴影图，此阴影图经过反射镜反射后通过高精度数字彩色CCD采集后传输到计算机系统里，由安装在计算机系统上的数据处理软件把可分辨阴影条纹对应的面形数据信息提取出来，从而获得被测待测光学镜面的面形信息。本发明为大口径光学镜面的研制提供了一种非常有效的低成本检测装置，在大误差的定性测量方面有非常显著的优势，具有较大的应用价值。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
114
records
(took 0.036 seconds)
