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公开(公告)号：CN110308306A
公开(公告)日：2019-10-08
申请号：CN201910572411.0
申请日：2019-06-28
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/03
Abstract: 本发明公开了一种基于全差分二维光子晶体腔体结构的MOEMS加速度计及其加工方法，加速度计由上至下依次包括光路保护层、器件层、氧化硅掩埋层和硅支撑层，其中，器件层包括MEMS敏感质量块、光学结构微腔、悬臂梁和支撑外框架，MEMS敏感质量块四周通过多个悬臂梁与支撑外框架相连，光学结构微腔对称分布于MEMS敏感质量块相对的两边上；光路保护层用于保护MEMS敏感质量块和光学结构微腔；氧化硅掩埋层用于整体结构的释放；硅支撑层用于支撑氧化硅掩埋层和器件层。本发明采用光学检测方案，相比于传统的机械检测方案，具有更高的带宽和分辨率。
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公开(公告)号：CN110254918A
公开(公告)日：2019-09-20
申请号：CN201910468126.4
申请日：2019-05-31
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种可实现抗震、温控IMU封装盒及其加工装配方法，该封装盒包括外壳体、内腔体、减震装置和加热装置，其中，外壳体上设有显示窗口和进出线口，内腔体密封于外壳体内，加热装置设置于内腔体的外表面，减震装置设置于内腔体与外壳体连接处，功能板固定于内腔体内。本发明采用了橡胶插板和减震装置两级隔振装置，内腔体被固定在减震装置的一侧，减震装置另一侧通过外壳体的限位台阶固定。经过以上两部分固定后，各种功能板相对于壳体静止；通过加热内腔体中的空气，使得元器件工作在最佳温度范围内。本发明结构简单，装配简洁，加工难度低，成本低，电路兼容性好，可广泛应用在IMU的外壳封装上。
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公开(公告)号：CN108195366A
公开(公告)日：2018-06-22
申请号：CN201711429077.0
申请日：2017-12-26
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本发明公开一种基于双层纳米光栅的微纳陀螺仪及其加工方法，基于双层纳米光栅的微纳陀螺仪包括玻璃衬底、支撑结构、双质量块微谐振器和玻璃盖帽，玻璃衬底、支撑结构和玻璃盖帽由下至上依次连接形成空腔结构，双质量块微谐振器设在支撑结构内；双质量块微谐振器包括两组质量块、驱动框架、解耦梁和可动光栅，可动光栅设在质量块中心部，驱动框架设在质量块四周，解耦梁设在质量块外周四个拐角处，每个可动光栅正下方的支撑结构底部均设有固定光栅；玻璃盖帽上对应驱动框架位置均匀设有电极通孔，每个电极通孔内均设有与驱动框架相接的金属焊盘。本发明具有质量小、测量精度高、不受电磁干扰和便于批量生产优点，应用范围广，有着良好的市场前景。
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公开(公告)号：CN105466405B
公开(公告)日：2018-02-02
申请号：CN201610008727.3
申请日：2016-01-07
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开一种混合式半球谐振微陀螺仪，属于微机电和惯性导航领域，其由上而下依次设置的上层玻璃衬底、电极层、硅结构层和下层玻璃衬底；其中，在上层玻璃衬底、电极层和硅结构层的中心设有圆形腔体，半球壳谐振子设置在圆形腔体中；半球壳谐振子通过支撑柄固定在硅结构层上；电极层包括配合使用的电极和外围锚点结构，在上层玻璃衬底设有配合电极使用的电极孔和小焊盘，小焊盘均布在上层玻璃衬底的边缘，小焊盘分别通过金属引线与上层玻璃衬底中的电极孔相连；本发明还公开了一种混合式半球谐振微陀螺仪的加工工艺。本发明的陀螺仪将结构层和玻璃衬底进行阳极键合的同时完成了真空封装，减少了工艺步骤；本发明的加工工艺，降低了加工成本。
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公开(公告)号：CN104807452B
公开(公告)日：2017-07-18
申请号：CN201510214116.X
申请日：2015-04-29
Applicant: 东南大学
Inventor： 夏敦柱
IPC: G01C19/5691 , G01C25/00
Abstract: 本发明公开一种蜂窝式MEMS谐振硅微陀螺仪，包括刻有信号引线的玻璃基底和安装于玻璃基底上的主单元，主单元包括蜂窝状振子单元、中心支撑柱、中心电极以及离散电极组件；蜂窝状振子单元安装于玻璃基底的中心位置，整体呈正六边形中心电极设置于玻璃基底的中心；中心支撑柱安装于蜂窝状振子单元的中心位置，且中心支撑柱向下伸出蜂窝状振子单元键合安装于中心电极；离散电极组件键合安装于玻璃基底且与玻璃基底的信号引线相连接，且设置于蜂窝状振子单元四周，离散电极组件包括检测电极、校正电极、驱动电极以及驱动检测电极。本发明外本发明是全对称结构，能够实现全解耦，有利于提高检测精度和灵敏度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105562650A
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201610034055.3
申请日：2016-01-19
Applicant: 东南大学
IPC: B22D17/20
CPC classification number: B22D17/20
Abstract: 本发明公开一种基于PLC控制的电机转子压铸自动化模具库，包括底层转动结构和安装于底层传动结构上的模具库主结构；所述模具库主结构包括中心转轴和若干层模具放置腔室，中心转轴固定于底层传动结构上表面的中心位置，所述模具放置腔室沿着中心轴轴向位置设置，模具放置腔室中均放置有若干模具定位结构；所述底层传动结构的下表面配置有齿轮，该齿轮与步进电机相配合进而驱动中心转轴的转动，所述步进电机通过PLC控制器对步进电机的驱动脉冲进行控制。本发明的模具库利用PLC进行控制，有利于电机转子压铸工艺的全自动化，提高压铸工艺的生产效率和质量，降低人力成本。
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公开(公告)号：CN105115486A
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201510423409.9
申请日：2015-07-17
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5691
CPC classification number: G01C19/5691
Abstract: 本发明公开一种静电悬浮三轴球壳谐振微陀螺仪，包括主单元结构、刻有信号引线的玻璃层和硅衬底，玻璃层包括依次上下叠放的上层玻璃基底和下层玻璃基底，硅衬底包括上层硅衬底和下层硅衬底，主单元结构设置于玻璃层的中心位置，包括球壳振子和电极球壳，球壳振子呈球体状悬浮于主单元结构的中心位置，电极球壳均匀地包覆于球壳振子的外周表层；电极球壳上设置有环绕于球壳振子的三个球面电极组件。本发明中主单元结构中的球壳振子由光刻胶SU8采用3-DLaser技术制成，为MEMS的加工提供了一种新的思路；球壳振子使用静电悬浮结构悬浮于主单元结构中心位置可以消除谐振时机械摩擦的影响,同时提高抗冲击能力。
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公开(公告)号：CN103398707B
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201310177008.0
申请日：2013-05-14
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开一种三片组装式硅基超薄微半球谐振陀螺仪，包括第一硅片、第二硅片、第三硅片、微半球壳、驱动电极和检测电极，第一硅片设在第二硅片的上方、第三硅片设在第二硅片的下方；微半球壳设在第一硅片和第二硅片之间，微半球壳壳底与第二硅片固定连接，上边缘与第一硅片的下表面接触；驱动电极设在微半球壳的外围，一端与第三硅片固定连接，另一端穿过第二硅片与第一硅片活动连接；检测电极一端与第一硅片固定连接，另一端与微半球壳内壁活动连接。本发明三片组装式硅基超薄微半球谐振陀螺仪体积小，重量轻，成本低，可靠性高，功耗小，可批量生产，用于航空、汽车、医疗、摄影、电子消费等领域，具有极为广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN104807454A
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201510213185.9
申请日：2015-04-29
Applicant: 东南大学
Inventor： 夏敦柱
IPC: G01C19/5733 , G01C19/5769 , G01P15/125 , G01P15/18
CPC classification number: G01C19/5733 , G01C19/5769 , G01P15/125 , G01P15/18
Abstract: 本发明公开一种单片集成六自由度微惯性测量单元及其加工方法，包括键合安装于玻璃基底中心位置的主单元结构，主单元结构呈正方形，包括三轴加速度计单元和三轴陀螺仪单元；三轴陀螺仪单元包括四个结构相同的正方形框架，正方形框架内侧边上连接有Z轴检测结构、驱动结构、Y轴检测结构和X轴检测结构；三轴加速度计单元包括位于主单元结构中心位置的中心质量块，以及分别安装于主单元结构四个顶角处的扭摆式质量块。本发明具有测量精度高、可靠性强、面板利用率高、全解耦、质量小成本低以及体积结构精简巧妙等优点，并且能够同时测量三个方向的加速度和角速度，适用性强，具有广阔的市场前景。
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公开(公告)号：CN103144427B
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201310065468.4
申请日：2013-03-01
Applicant: 东南大学
IPC: B41F23/08
Abstract: 本发明公开一种温度可调式双回路多通道宽幅膜压机用版辊，包括主轴体、油路轴、水路轴、油路通道、水路通道、油路出管、水路进管、水路出管和隔离板，主轴体为中空结构，包括内腔和轴壁；油路通道和水路通道设在主轴体的轴壁内，油路轴和水路轴分别对称设在主轴体的两端，油路轴与主轴体的内腔相通，主轴体的轴壁内侧设有使主轴体的内腔与油路通道相通的连通孔，形成依次从油路轴、主轴体的内腔、连通孔、油路通道、油路出管到油路轴的油路回路，水路通道分别和水路进管和水路出管相通，形成依次从水路轴、水路进管、水路通道、水路出管到水路轴的水路回路；隔离板设在主轴体的内腔和水路轴之间。本发明应用范围广泛，可满足不同的性能指标要求。
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