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公开(公告)号：CN112566485B
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202010978395.8
申请日：2020-09-17
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Abstract: 本发明提供一种电子零件的安装装置，即使在将各向异性导电膜粘附于显示面板侧、电子零件侧中的任一者的情况下，也能够抑制装置的大型化或复杂化并且灵活地应对。实施方式的电子零件的安装装置包括：粘接装置，将各向异性导电膜粘接于显示面板或电子零件；暂时压接装置，经由各向异性导电膜将粘接有各向异性导电膜的显示面板或电子零件与显示面板或电子零件中的另一者暂时压接；正式压接装置，将经暂时压接的显示面板及电子零件正式压接；显示面板搬送装置，将显示面板选择性地搬送至粘接装置及暂时压接装置；以及电子零件搬送装置，将电子零件选择性地搬送至粘接装置及暂时压接装置。
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公开(公告)号：CN114267620A
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN202110979256.1
申请日：2021-08-25
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Inventor： 古矢正明
IPC: H01L21/677
Abstract: 本发明提供一种可减少灰尘对基板的附着的基板搬送装置。实施方式的基板搬送装置(1)包括：基板搬送用的搬送臂(2)；支柱(32)，角度不动地立设于基体(31)；上链节(33)，一端支撑搬送臂(2)，以能够转动的方式连结于支柱(32)，并且随着转动使搬送臂(2)升降；下链节(34)，以能够以与上链节(33)的转动的轴平行的轴为中心转动的方式连结于支柱(32)中的较与上链节(33)的连结部分靠下方的位置；连接链节(35)，以使上链节(33)随着下链节(34)的转动而转动的方式，能够转动地连结于上链节(33)及下链节(34)；及驱动部(4)，使下链节(34)转动。
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公开(公告)号：CN110295350B
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN201910213184.2
申请日：2019-03-20
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Inventor： 川又由雄
Abstract: 本发明提供一种可抑制反应气体的泄漏的真空处理装置及托盘。本发明的真空处理装置包括：腔室(20)，可将内部设为真空；旋转平台(31)，设置于腔室(20)内，以将旋转平台(31)的旋转轴心设为中心的圆周的轨迹而循环搬送工件(W)；多个托盘(1)，搭载于旋转平台(31)，并载置工件(W)；以及处理部，将反应气体(G)导入至通过旋转平台(31)而搬送的工件(W)的周围，并利用等离子体进行规定处理；并且处理部具有:在和托盘(1)的与处理部相向的面之间，空开能够供载置于托盘(1)的工件(W)经过的间隔，并沿着旋转平台(31)的径方向配置的屏蔽构件(8)、屏蔽构件(58)，多个托盘(1)的相向于处理部的面具有沿圆周的轨迹连续且成为同一平面的部分。
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公开(公告)号：CN112571983A
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：CN202010993468.0
申请日：2020-09-21
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Abstract: 本发明提供一种片剂印刷装置、片剂印刷方法、片剂制造装置以及片剂制造方法，其中可使良品以外的片剂不会混入到回收作为良品的片剂的箱中。实施方式的片剂印刷装置包括：检查处理部，检查完成印刷的片剂是否为良品；良品回收装置，在判断为片剂为良品的情况下，自搬送带回收作为良品的片剂；不良品回收装置，在判断为片剂并非良品的情况下，自搬送带回收良品以外的片剂；排出确认传感器，检测是否由不良品回收装置回收了良品以外的片剂；以及再检查品回收装置，在由不良品回收装置执行了回收良品以外的片剂的回收动作、且由排出确认传感器检测到良品以外的片剂未被回收的情况下，自搬送带回收良品以外的片剂。
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公开(公告)号：CN112537142A
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：CN202010895545.9
申请日：2020-08-31
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Abstract: 本发明涉及一种溶液的涂布装置及片剂印刷装置。本发明的课题在于对印刷对象物进行品质良好的涂布或印刷。本发明的实施方式的溶液的涂布装置中，提供如下溶液的涂布装置，其中供给至喷出溶液的头(51)的油墨为包含荧光物质的溶液，所述荧光物质在受到具有紫外线区域的波长的光的照射时发出光，在对所述头(51)所具有的喷嘴(52)的喷出口(52a)照射具有紫外线区域的波长的光的状态下，对所述喷出口(52a)进行拍摄，由此对喷出不良喷嘴的有无进行检测。
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公开(公告)号：CN112447556A
公开(公告)日：2021-03-05
申请号：CN202010877547.5
申请日：2020-08-27
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Inventor： 大森圭悟
Abstract: 本发明提供一种液雾回收装置及基板处理装置，在抑制排气效率的下降的同时，可切实地回收液雾。实施方式的基板处理装置包括：处理室，向基板供给处理液，产生处理液的液雾；排气配管，形成用于从处理室排出气体的排气路；支撑轴，以延伸方向沿着排气路的延伸方向的方式设置于排气路；以及旋转鳍片，设置于支撑轴，通过在排气路中流动的气体以支撑轴为旋转中心进行自转，排气配管具有形成排气路的环状的壁部，壁部形成为冷却液在其内部空间中流动，旋转鳍片被供冷却液流动的壁部的内部空间包围。
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公开(公告)号：CN112447555A
公开(公告)日：2021-03-05
申请号：CN202010855310.7
申请日：2020-08-24
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Inventor： 宫川彻
Abstract: 本发明提供一种电子零件的安装装置，其可将电子零件无偏移且效率良好地安装到整个安装区域。安装装置(1)包括：平台移动机构(22)，使平台(21)移动，以便对支撑于平台(21)的基板(W)的位置进行识别的第一识别部及第二识别部能够识别共同的标记；识别误差修正数据算出部(54)，基于第一识别部及第二识别部所识别的共同的标记的位置，算出用于对第一识别部与第二识别部之间的识别误差进行修正的识别误差修正数据；以及修正部(55)，基于识别误差修正数据，对电子零件(t)相对于由第一安装头(43A)或第二安装头(43B)进行安装的安装位置(ap)的定位位置进行修正。
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公开(公告)号：CN112309933A
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN202010702618.8
申请日：2020-07-21
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/67
Abstract: 本发明提供一种可提高基板品质的基板搬送装置及基板处理装置。作为实施方式的基板搬送装置的搬送部(30)包括：多个搬送辊(31A)，搬送具有翘曲的基板(W)；以及多个按压辊(31B)，以分别与多个搬送辊(31A)相向而分离的方式设置，且对由多个搬送辊(31A)搬送的基板(W)进行按压，相向而分离的搬送辊(31A)及按压辊(31B)设为一组，且沿着基板(W)的搬送方向(A1)排列有多组，各组的搬送辊(31A)与按压辊(31B)的分离距离沿着基板(W)的搬送方向(A1)而变短。
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公开(公告)号：CN112218516A
公开(公告)日：2021-01-12
申请号：CN202010629211.7
申请日：2020-07-02
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Inventor： 原智之
IPC: H05K13/04
Abstract: 本发明提供一种能够在缩短时效作业的同时高精度地使温度稳定化的安装装置。作为在将电子零件(100)安装至带(300)的安装的正式操作之前的时效操作，接合头(2)与接合平台(3)移动至偏离带(300)的带外部位置(92)。然后，接合头(2)与接合平台(3)在带外部位置(92)相对地接触或靠近，同时利用头侧加热器(21)及平台侧加热器(31)等加热至温度稳定。
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公开(公告)号：CN111850471A
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN202010325508.4
申请日：2020-04-23
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Abstract: 本发明提供一种成膜装置以及成膜方法，其可低成本且高效率地形成氢化硅膜。所述成膜装置包括：搬送部(30)，具有循环搬送工件(10)的旋转台(31)；成膜处理部(40)，具有包含硅材料的靶(42)、及对被导入靶(42)与旋转台(31)之间的溅射气体(G1)进行等离子体化的等离子体产生器，通过溅射而在工件(10)形成硅膜；以及氢化处理部(50)，具有导入含有氢气的工艺气体(G2)的工艺气体导入部(58)、及对工艺气体(G2)进行等离子体化的等离子体产生器，对已形成在工件(10)的硅膜进行氢化，搬送部(30)以使工件(10)交替地穿过成膜处理部(40)与氢化处理部(50)的方式进行搬送。
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