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公开(公告)号：CN109965868A
公开(公告)日：2019-07-05
申请号：CN201910277771.8
申请日：2019-04-08
Applicant: 清华大学
IPC: A61B5/0408 , A61B5/0478 , A61B5/0492
Abstract: 本发明公开了一种基于多层石墨烯纹身式电极制备方法及装置，其中，该方法包括以下步骤：配制石墨烯氧化物溶液；将石墨烯氧化物溶液滴加到纹身衬底上，以使石墨烯氧化物溶液在纹身衬底挥发后形成石墨烯氧化物薄膜；通过激光还原石墨烯氧化物薄膜，形成石墨烯电极图案；通过水溶液剥离未还原的石墨烯氧化物薄膜，生成纹身式电极。该方法采用纹身式方案，电极图案可以进行定制化设计，佩戴美观且几乎没有感觉，不会影响日常生活，并且可以通过使用心电、脑电、肌电等模块可实时观测用户的心电、脑电、肌电等信号。
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公开(公告)号：CN105391412B
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201510885765.2
申请日：2015-12-04
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种石墨烯分布式放大器，包括：栅传输线，其第一端为石墨烯分布式放大器的输入端，其第二端接栅极直流偏压；漏传输线，其第一端接漏极直流偏压，其第二端为石墨烯分布式放大器的输出端；以及多个相同的、顺次排列的石墨烯场效应管，其中，所有石墨烯场效应管的源极分别接地，栅极分别连接到栅传输线上，相邻两个石墨烯场效应管的两个栅极之间设有栅传输线电感，漏极分别连接到漏传输线上然后分别经过漏侧线电容接地，相邻两个石墨烯场效应管的两个漏极之间设有漏传输线电感。本发明具有如下优点：不采用外部电容，从而提升栅极人工传输线特征阻抗，特征阻抗增加引起增益成二次方增加，相比现有技术具有更高的增益效果。
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公开(公告)号：CN105571727B
公开(公告)日：2018-10-02
申请号：CN201510938308.5
申请日：2015-12-15
Applicant: 清华大学
IPC: G01J5/14
Abstract: 本发明公开了一种石墨烯热电堆器件的信号读出方法和读出系统，方法包括对第一、第二调制电极分别施加互为反相的第一、第二控制信号，其中，第一、第二控制信号组合用于调制石墨烯层的Seebeck系数以消除1/f噪声；通过获取第一电压引出端的第一电压值和获取第二电压引出端的第二电压值得到热源的温度信息。本发明具有如下优点：用相互反相的控制信号直接调制石墨烯层的Seebeck系数，使石墨烯热电堆的输出由传统的直流或低频信号改为高频交流信号，从而取消了传统热电堆放大器电路前端的斩波部分，不仅简化了信号处理电路，还消除了斩波开关引入的1/f噪声，极大地降低了石墨烯热电堆传感器系统的噪声。
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公开(公告)号：CN105336808B
公开(公告)日：2017-06-23
申请号：CN201510857640.9
申请日：2015-11-30
Applicant: 清华大学
IPC: H01L31/09 , H01L31/028 , H01L31/0352
Abstract: 本发明公开了一种石墨烯量子阱光探测器，包括：第一压电层和第二压电层，所述第一压电层和所述第二压电层均由压电材料构成；量子阱层，所述量子阱层位于所述第一压电层和所述第二压电层之间，所述量子阱层包括两个半导体子层和位于两个半导体子层之间的石墨烯纳米带。本发明具有如下优点：利用量子阱的最优偏置电压，使得量子阱中的最高能级与导带边界对准形成最大的输出光电流，从而达到最大的探测灵敏度；利用压电电势，调节量子阱的偏置电压，从而提高单个量子阱的量子效率。
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公开(公告)号：CN103580530B
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201310508572.6
申请日：2013-10-24
Applicant: 清华大学
IPC: H02N1/04
Abstract: 本发明公开了属于微能源和微机械加工技术领域的一种基于摩擦微结构的静电式摆动运动能量收集器。此能量收集器由为外壳和内部收集器件组成，所述内部收集器件包括感应电极、绝缘层、摩擦层和滑块；在感应电极上依次设置绝缘层、摩擦层，摩擦层上具有滑块，滑块与摩擦层的接触面粗糙；感应电极固定在外壳底部上，在外力带动下外壳运动，使内部的滑块依靠自身惯性作用与摩擦层之间产生相对运动，诱发摩擦起电机，然后通过感应电极输出电能，收集摆动运动能量。本发明的运动能量收集器采用非谐振的结构以获得宽响应频带，覆盖了低频响应区。通过插入绝缘层在两感应电极间获得极大的绝缘电阻，使器件输出特性近似于理想电流源，具有很大的带载能力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102983178B
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201210331609.8
申请日：2012-09-07
Applicant: 清华大学
IPC: H01L31/0224 , H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明公开了一种石墨烯光探测器及其制备方法，其中，石墨烯光探测器包括：基板；基板上形成有第一金属电极图形；第一金属电极图形上形成有第二金属电极图形；且任两个相邻的第一金属电极中：一第一金属电极上形成有第二金属电极，另一第一金属电极上没有第二金属电极；第一金属电极图形和第二金属电极图形上形成有石墨烯，石墨烯的功函数介于第一金属电极的功函数和第二金属电极的功函数之间，石墨烯上还形成有金属接触层图形，各金属接触电极与第一金属电极和第二金属电极对应。本发明降低了器件制备过程中对石墨烯迁移率等特性的影响，提高所制备的探测器的性能，可形成良好的电极接触，增大光电感应的频率范围。
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公开(公告)号：CN102862949B
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN201210331661.3
申请日：2012-09-07
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种基于倒置工艺的双臂梁MEMS器件及其形成方法，该方法包括：提供衬底；依次在衬底上形成过渡层、底层电极和层间介质层；在层间介质层上形成上层电极层；刻蚀上层电极层和层间介质层以形成开口，露出底层电极的一部分，并且将上层电极层形成第一上层电极与第二上层电极；在第一上层电极与第二上层电极之上形成二维材料薄膜，其中，二维材料薄膜跨过开口；以及分别在二维材料薄膜两端上方形成第一金属接触和第二金属接触，其中，第一金属接触与第一上层电极的至少一部分相连，第二金属接触与第二上层电极的至少一部分相连。本发明的方法工艺成熟、易于实现，器件接触电阻小、稳定可靠。
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公开(公告)号：CN103794524A
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：CN201410006782.X
申请日：2014-01-07
Applicant: 清华大学
IPC: H01L21/64
CPC classification number: H01G7/028
Abstract: 本发明公开了属于微电子技术领域的一种在驻极体上图形化驻极的方法。本发明的方法为在驻极体表面生长一层具有掩蔽作用的、易于图形化的材料。驻极体表面被这一种材料遮盖的地方无法被驻极，进而通过图形化掩蔽材料达到图形化驻极的目的；驻极体材料的表面电位通过掩模材料层图案被图形化，从而简化了模式的过程。掩模材料层图案图案的线宽由光刻工艺的能力确定。
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公开(公告)号：CN102867754A
公开(公告)日：2013-01-09
申请号：CN201210331608.3
申请日：2012-09-07
Applicant: 清华大学
IPC: H01L21/336 , H01L29/78 , H01L29/49
Abstract: 本发明公开了一种基于倒置工艺的二维材料纳米器件及其形成方法，其中形成方法包括：提供衬底；在衬底之上形成过渡层；在过渡层之上形成金属走线层，并在金属走线层中填充层间介质以形成层间介质层；在层间介质层之上形成连接线，其中，连接线的至少一部分与金属走线层相连；在层间介质层之上形成金属接触层，金属接触层与连接线相连；刻蚀金属接触层以分别形成源极、漏极和栅极，其中，源极和漏极分别通过金属接触层与连接线相连；在栅极之上形成栅极介质层；以及在源极、漏极、和栅极的栅极介质层之上形成石墨烯薄膜作为沟道层。本发明的方法采用倒置工艺，易于实现、稳定可靠；本发明的器件具有倒置结构，源漏接触小、栅控能力强。
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公开(公告)号：CN101714834B
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN200910238145.4
申请日：2009-11-16
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种碰撞式压电振动能量收集装置，属于压电材料能量转化与收集装置技术领域。装置包括支撑基片(2)、垫片(3)、振动块(4)、固定块(6)等；支撑基片(2)固定在垫片(3)上，垫片(3)固定在振动块(4)上，振动块(4)在环境振动或冲击的作用下与固定块之间产生相对运动，与固定块(6)发生碰撞，碰撞后支撑基片带动压电层以其自振频率振动。所述支撑基片为压电材料或固定有压电层(1)。所述支撑基片上有质量块(7)。本发明可以有效收集低频、高强度冲击能量，解决了因环境固有振动频率与振动结构谐振频率不易匹配、能量转换效率低等问题，适用于低频、冲击能量高、非连续振动环境，可应用于传感器或其他低功耗系统中自供电。
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