图形化应变的半导体衬底和器件

    公开(公告)号:CN100385615C

    公开(公告)日:2008-04-30

    申请号:CN200510008258.7

    申请日:2005-02-07

    CPC classification number: H01L29/1054 H01L21/823412 H01L29/739 H01L29/78687

    Abstract: 公开了一种方法,它包括在衬底上形成应变材料和弛豫材料的图形;在应变材料中形成应变器件;以及在弛豫材料中形成非应变器件。在一个实施方案中,应变材料是处于拉伸或压缩状态的硅(Si),而弛豫材料是处于正常状态的Si。硅锗(SiGe)、碳化硅(SiC)、或相似材料的缓冲层被形成在衬底上,且具有与衬底的晶格常数/结构失配。SiGe、SiC、或相似材料的弛豫层被形成在缓冲层上,并使应变材料处于拉伸或压缩状态。在另一实施方案中,掺碳的硅或掺锗的硅被用来形成应变材料。此结构包括其上图形化有应变材料和非应变材料的多层衬底。

    用于背侧功率输送网络的功率栅极虚设功率晶体管

    公开(公告)号:CN119998949A

    公开(公告)日:2025-05-13

    申请号:CN202380069672.5

    申请日:2023-09-22

    Abstract: 半导体芯片器件包括具有后端线层和背侧功率输送网络的衬底。输入功率线电耦合到背侧功率输送网络。虚设晶体管位于具有模拟或数字电路元件的电路中。功率选通晶体管位于虚设晶体管与模拟或数字电路元件之间的电路中。来自功率输入线的功率通过虚设晶体管从背侧功率输送网络提供,并且由功率选通晶体管控制以用于传递到模拟或数字电路元件。该器件使用到虚设晶体管的区域的背侧功率递送来将功率传递到模拟或数字电路元件中,这为功能器件留下更多的前侧占用面积。

Patent Agency Ranking