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公开(公告)号：CN116021048A
公开(公告)日：2023-04-28
申请号：CN202310059204.1
申请日：2023-01-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23B19/02
Abstract: 本发明公开了一种低风阻高速主轴转子结构，所述高速主轴转子结构包括主轴转子和沙丘状形体，所述主轴转子的外侧壁加工有若干个沙丘状形体，沙丘状形体在主轴转子的外侧壁沿圆周方向均匀分布，沙丘状形体为“C”形齿，“C”形齿上表面与左侧面一体设置有一向上凸起的弧形面a，所述弧形面a为凸坡，“C”形齿右侧面设置有一凹向左侧的弧形面b，所述弧形面b为凹坡。本发明在主轴转子的侧面加工出沿圆周均匀分布的沙丘状形体，降低了主轴转子在高速运动下的风阻，减小了主轴噪声。传统高速主轴转子风阻较大，主轴转子与其周围流体间存在着较大的摩擦阻力与摩擦功耗，而本发明中主轴转子风阻较低，所需摩擦功耗较低，能够降低电机的功率损耗。
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公开(公告)号：CN115875366A
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN202310072871.3
申请日：2023-01-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种气雾润滑超精密气体静压轴承，属于超精密加工装备技术领域。用于解决气体静压轴承以气体作为润滑剂容易出现轴承抱死的现象以及容易出现锈蚀的现象。气体静压轴承本体内开设有气道，油雾润滑系统与气体静压轴承本体的气道连通，压缩空气通过油雾润滑系统产生油雾状压缩空气，再通过气道通入气体静压主轴中，为气体静压主轴提供润滑剂。由于压缩空气中油雾的存在可以减小气体静压轴承的气隙厚度，增加气体静压轴承挤压模阻尼，但由于油雾的不连续，不显著增加轴承发热，大大提高了气浮轴承在工作时的稳定性，由于压缩空气中油雾的存在，可以防止气体静压轴承出现抱死的现象，可以防止轴承各零部件的锈蚀。
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公开(公告)号：CN115596767A
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN202211219452.X
申请日：2022-09-30
Applicant: 哈尔滨工业大学(CN)
Abstract: 一种带有磁流体阻尼器的气体静压转台，属于超精密装备制造技术领域。为了提高气体静压转台的抗干扰能力。所述轴套上设置有气路总成，所述气路总成供气后，使上辐板下表面与轴套的上表面之间形成了上止推轴承，所述轴套的下表面与下辐板的上表面之间形成了下止推轴承，所述轴套内圆柱表面与主轴转子的外圆柱表面形成了径向轴承。本发明通过在下部增添磁流变阻尼器从而达到了对所设计气体静压转台的阻尼可控，可使转台实现快速启动与停止、高速旋转以及配合位置反馈元件实现超高精度定位等多种优良功能，大大提高了整体气体静压转台的抗干扰能力。
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公开(公告)号：CN115586707A
公开(公告)日：2023-01-10
申请号：CN202211215632.0
申请日：2022-09-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种高回转精度的开式平面静压气浮转台，属于超精密加工装备领域，具体方案如下：一种高回转精度的开式平面静压气浮转台，包括主轴转子、轴套和底座，轴套固定在底座上，主轴转子包括平台和设置在平台下表面中部的半球结构，轴套的上表面中部设置有容纳半球结构的凹槽Ⅰ，半球结构与凹槽Ⅰ形成半球轴承，轴套的上表面与平台的下表面形成止推轴承，从而形成一开式气浮轴承结构，配合表面节流的形式，使得本发明整体结构简单，加工制造方便，容易达到较高的精度。通过调节主轴转子及其负载的重力配合调节真空气路中的真空度来对气浮轴承施加一定预载，使得两个轴承面在气膜间隙合适的情况下达到一个最优刚度与承载的匹配，并具有较好的鲁棒性。
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公开(公告)号：CN115539511A
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202211229764.9
申请日：2022-10-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16C32/06
Abstract: 本发明属于静压滑动轴承领域，具体方案如下：一种带有人字槽微结构的多孔质气体静压轴承，包括轴套、转子芯轴、上止推板和下止推板，轴套套设在转子芯轴上，上止推板和下止推板分别位于轴套的上方和下方并均固定在转子芯轴上，轴套的内侧壁上设置有径向多孔质材料，轴套的上表面和下表面均设置有止推多孔质材料，转子芯轴的侧壁上、上止推板的下表面和下止推板的上表面均均布设置有若干个人字槽结构，轴套上设置有供气管道和泄气管道，供气管道通至径向多孔质材料和止推多孔质材料，泄气管道通至转子芯轴、上止推板和下止推板的表面。本发明的多孔质气体静压轴承承载力更大、刚度更高、高转速下动态性能更好。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115431047A
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN202211261158.5
申请日：2022-10-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种复合式超精密加工机床，所述机床包括X轴组件、C轴组件、Z1轴组件、Z2轴组件、B轴组件、C轴组件、机床基座以及隔振支承部件，其中：所述机床基座布置在隔振支承部件上；所述机床基座上设置有X轴组件、Z1轴组件以及Z2轴组件；所述Z1轴与Z2轴平行布置，与X轴垂直；所述C轴安装在X轴上，呈卧式布置；所述B轴安装在Z1轴上，呈立式布置。该超精密加工机床整体结构较为紧凑，通过不同轴之间的联动可实现多种形式的加工，在大大减小制造成本的同时大大增加了其应用范围。
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公开(公告)号：CN113913877B
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202111193036.2
申请日：2021-10-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 大尺寸薄壁X射线聚焦镜复制方法，属于X射线聚焦镜加工技术领域。该复制方法；用于保证大批量复制工艺的一致性，提高生产效率。包括以下步骤：S1.调试脱模装置；安装带有镜壳的芯轴模具，并调试脱模装置；S2.注入高纯氮气；向脱模装置的密封罩内注入氮气；S3.注入液氮；向芯轴模具内部注入液氮；S4.监测传感器示数；此过程中注意监测力传感器、热电偶仪表、环境温度、湿度的显示值，并做好记录；S5.开始脱模；通过脱模装置将镜片从芯轴模具上脱离下来；S6.吊取镜片；通过升调装置吊取镜片；S7.卸芯轴。本发明只需要垂直轴的运动即可满足复制过程的需求，避免了复杂的运动控制，可实现自动化控制，节省人力，提高整体复制效率，实现批量复制。
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公开(公告)号：CN111577764B
公开(公告)日：2021-12-17
申请号：CN202010421847.2
申请日：2020-05-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 为了提供一种结构简单、加工方便、稳定性好、回转精度高的流体静压轴承，本发明记载一种流体静压轴承，包括主轴和轴套，主轴为中部设置有环状凸缘的圆柱状结构，轴套为中部设置有环状凹槽的圆柱筒状结构，轴套套设在主轴上，环状凸缘位于环状凹槽内部，位于环状凸缘上方的圆柱状结构与轴套之间设置有环形孔缝Ⅰ，位于环状凸缘下方的圆柱状结构与轴套之间设置有环形孔缝Ⅱ，环状凸缘的上表面与轴套之间设置有环形孔缝Ⅲ，所述环状凸缘的下表面与轴套之间设置有环形孔缝Ⅳ，环形孔缝Ⅰ、环形孔缝Ⅱ、环形孔缝Ⅲ和环形孔缝Ⅳ的纵剖面均呈阶梯状结构。本发明零件数量少，加工简单，装配方便，无需额外安装节流器，工作时更加稳定，可靠度更高。
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公开(公告)号：CN104802044B
公开(公告)日：2017-10-24
申请号：CN201510215537.4
申请日：2015-04-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B24B1/00
Abstract: 一种挠性接头细筋底部电蚀层去除方法，它属于机械加工的研抛加工技术领域。它是为了解决现有常规的机械加工不能去除挠性接头的细筋底部缝隙上的电蚀层，而存在影响挠性接头性能的问题。它的方法步骤一：搅拌总成不断搅拌容器槽中的流体磨料加工液；步骤二：使磨料流注插头上的第一圆管端口上的缺口槽和第二圆管端口上的缺口槽都与挠性接头的细筋底部的缝隙相对连通；步骤三：流体磨料加工液充满活塞气缸总成的气缸中的腔体；步骤四：实现推动流体磨料加工液在挠性接头的细筋底部的缝隙中往复高速运动，达到去除电蚀层的目的；步骤五：断电，清洗挠性接头。本发明能对挠性接头的盲孔底部难加工的部位进行非接触式加工，达到电蚀层去除目的。
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公开(公告)号：CN105269449B
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201510822889.6
申请日：2015-11-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于力反馈的挠性接头细颈研磨及测量一体化装置，涉及微细加工技术领域。解决了挠性接头零件难加工，且不能在加工过程中测量力的问题。研磨主轴及测力模块、垂直运动轴、XY正交精密位移台、直驱分度模块中的电机运转，共实现5个运动自由度，XY正交精密位移台实现水平方向上的两个自由度的运动，垂直运动轴完成上下运动，直驱分度模块完成高精度的分度回转运动，完成研磨。在研磨时产生的研磨力和接触力通过研磨主轴及测力模块中检测出来，工业控制计算机根据该研磨力信号和接触力信号的大小实时调整研磨主轴及测力模块、垂直运动轴、XY正交精密位移台、直驱分度模块的位置。它适用于其他研磨及测量。
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