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公开(公告)号：CN111621744B
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN202010198939.9
申请日：2020-03-20
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种刀具涂层及其沉积方法，其中，刀具涂层的沉积方法包括以下步骤：在惰性气体中，在刀具基体上沉积金属离子形成金属过渡层；在金属过渡层上依次沉积金属离子、金属碳化物、碳离子形成单元涂层；循环步骤2S若干次；在所述单元循环涂层表层沉积SP3键渐变的碳离子形成渐变碳膜层。本发明对在微型刀具上沉积超厚碳膜的沉积方法进行优化，在刀具表面沉积金属过渡层、单元循环沉积、sp3键不断升高的渐变碳膜层，涂层与刀具结合力大于30N，膜层厚度可高至15微米，硬度大于50Gpa。
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公开(公告)号：CN111575669B
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：CN202010417649.9
申请日：2020-05-18
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明涉及一种防高速冲击涂层方法，包括：对基体进行表面初步离子清洗；在表面清洗后的基体进行激光亚表面微结构化；对结构化表面深度清洗后进行离子注入，并退火形成伪扩散层；在所述伪扩散层之上，利用蒸发法沉积聚合物吸能膜层；利用高能离子注入对聚合物层进行金属化；利用磁过滤沉积设备在金属化层上沉积超硬金刚石涂层；循环制备聚合物层、金属化层以及超硬类金刚石层3‑5次。本发明实施例提供的方法，通过基体微结构、离子注入和沉积镀膜的相结合的方式，明显提高了基体的抗高速运动物体的冲击能力。因其方法简单、易操作，且成本低、效率高，非常适合批量化生产。
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公开(公告)号：CN111424243B
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：CN202010417846.0
申请日：2020-05-18
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明涉及一种散热涂层的制备方法，包括：对基体进行表面清洗；随后对基体进行多弧技术表面沉积Al，紧接着进行400‑600℃加热真空保温1‑4h，形成渗铝层；随后进行磁过滤沉积Al或Zn等；随后在氧气气氛下进行200‑800℃下充分氧化；随后通过磁过滤沉积AlN涂层；最后在表面沉积铜层形成覆铜板。本发明实施例提供的方法，通过多弧沉积、磁过滤沉积以及高温渗铝、高温氧化等过程相结合的方法制备的致密的高绝缘高导热涂层，明显提高了基体作为覆铜板的散热性能。因其方法简单、易操作，且成本低、效率高，非常适合工业化大批量生产。
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公开(公告)号：CN111020479B
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：CN201911355671.9
申请日：2019-12-25
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明提供了一种高遮挡件抗腐蚀多元涂层及其制备方法以及制备方法所用的装置，属于薄膜沉积技术领域。本发明提供的高遮挡件抗腐蚀多元涂层的制备方法，包括以下步骤：以碳硅靶和碳硅钛靶为阴极，利用磁过滤沉积法、多弧沉积法和第一高功率脉冲磁控法在高遮挡件基体交替循环沉积TiSiN膜层和TiSiCN膜层，得到TiSiN/TiSiCN复合交替层；利用第二高功率脉冲磁控法在所述TiSiN/TiSiCN复合交替层表面沉积Al2O3膜层，得到高遮挡件抗腐蚀多元涂层。本发明利用磁过滤沉积、多弧沉积和高功率脉冲磁控三种方法配合使用，制备的高遮挡件抗腐蚀多元涂层抗冲蚀性能、抗盐雾、抗酸碱腐蚀等特性优异。
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公开(公告)号：CN109881143B
公开(公告)日：2020-11-20
申请号：CN201910174803.1
申请日：2019-03-08
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种疏水亲油材料的制备方法，包括以下步骤：1S：对多孔铜网进行超声波清洗；2S：利用真空设备高温氧化制备氧化铜纳米线；3S：利用金属离子源对纳米线表面进行离子注入；4S：利用磁过滤沉积技术对氧化铜纳米线进行包覆。该方法基于高温氧化、离子注入和磁过滤沉积方法能够方便形成类荷叶的超纳米凹凸结构。通过该方法制备的材料，具有疏水性能好、自清洁以及不湿润的特点，同时对油具备极小的亲水角；本发明的材料在油水分离方面有着重要的应用前景。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111607772A
公开(公告)日：2020-09-01
申请号：CN202010610496.X
申请日：2020-06-29
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种5G陶瓷滤波器膜层材料及其制备方法，属于陶瓷材料制备技术领域。所述膜层材料为四层复合结构，基体为陶瓷，中间过渡层依次为合金层和连接层，表层为银层；其中，合金层为以合金金属为阴极，利用多弧靶对陶瓷基体进行磁控溅射沉积而得；连接层为以Mo、Cu或Cr为阴极，利用圆柱多弧靶在合金层上沉积而得；表面银层以银为阴极，利用多弧靶和圆柱靶在连接层上进行银金属沉积而得。本发明选用磁控溅射和多弧离子镀组合制备膜层材料，以解决金属与陶瓷结合强度低、处理成本高及化学镀/电镀环境污染的问题，不仅制备工艺简便，而且所制得的5G陶瓷滤波器膜层材料具有结构致密、无明显缺陷及插入损耗低的优点。
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公开(公告)号：CN110957287A
公开(公告)日：2020-04-03
申请号：CN201911301282.8
申请日：2019-12-17
Applicant: 北京师范大学
IPC: H01L23/367 , H01L23/373 , H01L21/48
Abstract: 本发明涉及一种大功率散热器及其制备方法，通过在所述铝基板上生长所述氧化层，在所述氧化层上生长所述致密层，在所述致密层上生长所述绝缘层。并且，所述氧化层中包括多个用于增大所述散热器的体电阻值的纳米颗粒。本发明提供的大功率散热器及其制备方法，具有器件散热性能好、制备步骤简单的特点。
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公开(公告)号：CN108677142B
公开(公告)日：2019-10-01
申请号：CN201810358030.8
申请日：2018-04-20
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种疏水DLC涂层的制备方法，包括以下步骤：1S：利用气体离子源对基体表面进行高低能交替清洗；2S：以碳靶为阴极，利用凯赛奥弧磁过滤沉积方法在所述基体上进行疏水DLC涂层的沉积。该方法基于凯赛奥弧磁过滤沉积方法在沉积过程中可自形成碳纳米团簇，同时形成纳米凹凸结构，大大降低了制备成本，纳米颗粒本身的结合力也大大提高。通过该方法生产的疏水DLC涂层，具有疏水性能好、不湿润的特点，生产出的高频手术刀耐磨、不粘肉、血液分散不团聚，改善了血液团聚影响手术时医生视线的关键问题，从而改善医务人员的工作条件。
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公开(公告)号：CN109913823A
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201910269731.9
申请日：2019-04-04
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明提出一种轻水反应堆锆管涂层的方法，主要包括：利用高功率脉冲技术和磁过滤沉积技术交替沉积CrAlSi和MoNbZr循环纳米涂层，单元周期内CrAlSi和MoNbZr纳米涂层厚度为0-15nm，涂层总厚度为0-15μm。沉积纳米交替涂层后锆管在高压釜内高温高压下的抗氧化性能明显增强，通过实施本发明，在锆管上沉积交替纳米循环复合结构(特别是Al、Cr和Si元素的加入)很好的保护高温下氧元素的向内扩散，因其多种元素的相互协同作用，能够有效的防止高温高压下膜层的脱落、开裂以及氧原子的扩散行为，提高容错燃料的安全和可靠性。
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公开(公告)号：CN109295414A
公开(公告)日：2019-02-01
申请号：CN201811507016.6
申请日：2018-12-11
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种深孔内镀膜的技术和设备，包括两个阴极靶系统、两个磁过滤系统、真空室、翻转系统、陶瓷螺线管、工件系统、辅助阳极等。弯管为直流磁场、圆柱形真空室为强脉冲聚焦磁场、真空室内陶瓷管上缠绕的也为脉冲聚焦磁场。阴极靶工作时为可推进靶材，圆筒内壁镀膜前真空室内通入惰性气体Ar和氢气，通过辅助阳极和镀件内壁之间电晕放电进行表面清洗，清洗完后进行电弧沉积镀膜。本发明可镀膜的圆筒长径比可大于20∶1，其中孔的直径不小于20mm，膜层的厚度均匀性好于±15％，弥补了国内外在内壁镀膜的均匀性差，长径比受限的关键技术瓶颈。
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