一种用于扫描电镜真空环境的高温测试装置

    公开(公告)号:CN105043572B

    公开(公告)日:2018-03-16

    申请号:CN201510488027.4

    申请日:2015-08-10

    Abstract: 本文公开了一种用于模拟扫描电镜真空环境的高温测试装置,测试在高、低真空环境及大气环境(10‑5~105Pa)下,目标点的温度分布,并可测试施加热防护措施后对目标测试点温度降低的效果,测温范围为‑40~1600℃。该测温装置包括:真空室及真空装置,热电偶测温组件,电极法兰组件,支撑法兰组件,加热台装置,及热防护挡板。本装置结构设计简单,测温精度高,测温范围广,适用于测试不同类型扫描电镜及真空设备中的温度分布。

    一种硫系玻璃薄膜微纳波导结构的热膜气压印装置及使用方法

    公开(公告)号:CN103342075B

    公开(公告)日:2016-01-20

    申请号:CN201310218218.X

    申请日:2013-06-04

    Abstract: 一种硫系玻璃薄膜微纳波导结构的热膜气压印装置及使用方法,属于制膜装置技术领域。装置包括金属内罩和金属外罩,利用薄膜和微纳波导结构模板将密闭压印空间分为两部分,同时抽真空,加热硫系玻璃薄膜至软化温度,通入气氛,调节上下空间气压差值,完成硫系玻璃薄膜压制微纳波导结构。本发明方法简便,工艺简单,可操控性强,设备成本低廉,适用于工业化生产。

    一种透射电子显微镜用双轴倾转样品台

    公开(公告)号:CN104637765A

    公开(公告)日:2015-05-20

    申请号:CN201510081273.8

    申请日:2015-02-15

    CPC classification number: H01J37/20 H01J2237/20207 H01J2237/20214

    Abstract: 一种透射电子显微镜用双轴倾转样品载台,属于透射电子显微镜配件领域。包括样品杆杆身,驱动轴,连接轴,旋转轴和样品台,样品杆前端留有旋转轴孔,样品台末端有与其一体的运动导槽,样品台通过旋转轴与样品杆杆身前端相连接,通过连接轴在运动导槽位置处与驱动轴相连。通过直线步进电机使驱动轴在水平方向前进或后退,使样品台以旋转轴为中心进行旋转。采用不同形状轨迹的运动导槽可以实现双倾。根据样品载台尺寸的大小,可调节旋转轴距导槽初始水平方向的距离或者改变运动导槽与水平方向的夹角,进而调节可实现的双轴倾转角度。本装置可以与常规的透射电子显微镜配合使用,通用性广。本装置简单,装配方便,成本低,可精确控制倾转角度。

    一种多样化样品固定及多维调整架

    公开(公告)号:CN103331188B

    公开(公告)日:2015-01-14

    申请号:CN201310226494.0

    申请日:2013-06-07

    Abstract: 一种多样化样品固定及多维调整架.属于机械零部件和自动化仪器仪表应用领域。样品夹具中设置有样品槽,样品槽的两侧设置有用于将样品固定在样品槽中的样品顶丝,样品夹具外侧设置有外螺纹;所述的样品台上设置有装卡样品卡具的通孔,所述的通孔内设置有与样品夹具上的外螺纹相配合的内螺纹;在样品台上还设置有用于与底座连接的通孔;所述的底座设置有调高立柱,调高立柱插入样品台中的通孔内,通孔中设置有用于装卡固定样品台与底座连接的调高顶丝。本发明既丰富了样品的固定和调整方式,又弥补了市面上商业化仪器使用固定样品架的劣势,拓展了仪器的使用,同时也方便了测试者的使用。

    智能遥感微空间光学器件旋转定位系统

    公开(公告)号:CN103605196A

    公开(公告)日:2014-02-26

    申请号:CN201310533345.9

    申请日:2013-10-31

    Abstract: 一种普适于光学系统中用来放置光学器件的遥感定位系统,属于光学器件、机械零部件和自动化仪器仪表应用领域。本发明包括:装配和旋转光学元件1的光学元件旋转架2;用于固定光学元件1防止其滑出的光学元件固定胶圈3与光学元件固定套筒12;装配时用于固定支架的拧紧螺母4和拧紧螺钉11;光学元件旋转架转轴5及其固定件光学元件旋转架转轴支架14;实现平面微调节的二维微调平移台6和高度定位的系统支架9;实现低速旋转的减速齿轮组7及其固定件减速齿轮组固定支架10;提供旋转动力的电机8;遥控信号处理终端13和远程遥控端15。本发明针对不同仪器,经过合理的装配和放置可以实现光学元件按需插入的固定和转动,使用便捷、提高高效。

    扫描电镜薄样品透射过滤-反射接收式衬度分离成像方法

    公开(公告)号:CN103344789A

    公开(公告)日:2013-10-09

    申请号:CN201310280287.3

    申请日:2013-07-05

    Abstract: 扫描电镜薄样品透射过滤-反射接收式衬度分离成像方法属于扫描电镜成像技术领域,其特征在于,薄样品采用悬臂梁式单端固定状态,薄样品厚度在50~1000nm之间,透射成像方式减小了入射电子在样品中的多重非弹性散射,增强了低能真二次电子和高能弹性背散射电子的发射几率,分离了形貌衬度与通道衬度,形貌衬度与成分衬度,加速电压为5~15kV,入射电流为10-9~10-11A,工作距离为5~15mm,获得增强的单一衬度的二次电子像和背散射电子像,样品厚度控制在透射电镜观察用薄膜样品的二倍以上,使薄样品易于制备,适于各类扫描电镜及多种薄样品,如金属及合金,复合材料,半导体及外延层,陶瓷,有机物及纳米材料。

    一种硫系玻璃薄膜微纳波导结构的热膜气压印装置及使用方法

    公开(公告)号:CN103342075A

    公开(公告)日:2013-10-09

    申请号:CN201310218218.X

    申请日:2013-06-04

    Abstract: 一种硫系玻璃薄膜微纳波导结构的热膜气压印装置及使用方法,属于制膜装置技术领域。装置包括金属内罩和金属外罩,利用薄膜和微纳波导结构模板将密闭压印空间分为两部分,同时抽真空,加热硫系玻璃薄膜至软化温度,通入气氛,调节上下空间气压差值,完成硫系玻璃薄膜压制微纳波导结构。本发明方法简便,工艺简单,可操控性强,设备成本低廉,适用于工业化生产。

    一种多样化样品固定及多维调整架

    公开(公告)号:CN103331188A

    公开(公告)日:2013-10-02

    申请号:CN201310226494.0

    申请日:2013-06-07

    Abstract: 一种多样化样品固定及多维调整架。属于机械零部件和自动化仪器仪表应用领域。样品夹具中设置有样品槽,样品槽的两侧设置有用于将样品固定在样品槽中的样品顶丝,样品夹具外侧设置有外螺纹;所述的样品台上设置有装卡样品卡具的通孔,所述的通孔内设置有与样品夹具上的外螺纹相配合的内螺纹;在样品台上还设置有用于与底座连接的通孔;所述的底座设置有调高立柱,调高立柱插入样品台中的通孔内,通孔中设置有用于装卡固定样品台与底座连接的调高顶丝。本发明既丰富了样品的固定和调整方式,又弥补了市面上商业化仪器使用固定样品架的劣势,拓展了仪器的使用,同时也方便了测试者的使用。

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