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公开(公告)号：CN118507413B
公开(公告)日：2024-11-19
申请号：CN202410949016.0
申请日：2024-07-16
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
IPC: H01L21/68 , H01L21/687
Abstract: 本发明提供了一种用于晶圆精密定位的三自由度平面柔性机构及微动台，属于半导体制造装备技术领域，包括：动子，动子包括转动部以及平动部，转动部的内部设置有第一中空区域，平动部的内部设置有第二中空区域，平动部设置于第一中空区域内；定子设置于第二中空区域内；平动驱动单元设置于定子的外缘并与平动部的内缘连接，平动驱动单元的数量为四个并且呈中心对称设置；转动驱动单元，转动驱动单元设置于平动部并与转动部连接，转动驱动单元的数量为两个并且呈对称设置；本发明的有益效果为：提供了一种三轴运动解耦的平面柔性机构，且本机构采用了外动子设计可以承载大尺寸晶圆进行定位作业。
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公开(公告)号：CN118952067A
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202410889076.8
申请日：2024-07-04
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
IPC: B25B11/00
Abstract: 本发明提供了一种扁平式六自由度微动装置，属于纳米定位技术领域，包括：上运动平台，其上设置有与上运动平台呈一体设置的第一柔性组件；第一压电陶瓷堆叠致动器，与第一柔性组件的输入端对应相连；下运动平台，其上设置有与下运动平台呈一体设置的第二柔性组件第二柔性组件的输出端通过紧固件与上运动平台相连；第二压电陶瓷堆叠致动器，与第二柔性组件的输入端对应相连；第一传感组件，一端连接于下运动平台上，另一端朝向上运动平台的边缘；第二传感组件，一端连接于下运动平台上，另一端朝向上运动平台。本发明实现全柔性检测，无需装配，且结构紧凑，体积小。
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公开(公告)号：CN118707812A
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202410889075.3
申请日：2024-07-04
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供了一种具有多工位的光刻机工件台交换装置，属于半导体制造装备技术领域，包括：下底座、第一滑移结构、第二滑移结构、第一直线电机、第二直线电机以及两个微动台，且微动台与第一滑移结构中的第一滑块、第二滑移结构中的第二滑块相连，其中，通过第一直线电机带动微动台沿X轴方向移动，第二直线电机带动微动台沿Y轴方向移动，通过微动台能够抵消第一直线电机、第二直线电机在运行过程中所产生的相应误差。本发明实现了X轴方向和Y轴方向的运动误差解耦，避免误差累加，提高位置调节的精准性，而且实现了多工位下晶圆能够同步曝光和校准，提高了工作效率，且具有扩展性。
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公开(公告)号：CN118700207A
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202411171003.1
申请日：2024-08-26
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
IPC: B25J17/02 , B25J19/00 , G01M13/00 , G01M13/027
Abstract: 本发明公开了一种人形机器人的线性关节及其性能测试平台，所述线性关节包括壳体组件、电机、反向式行星滚柱丝杆和拉扭复合力传感器，电机位于壳体组件内，用于产生径向的旋转运动；反向式行星滚柱丝杆设置于电机的内侧，用于将电机的旋转运动转换为轴向的直线运动；拉扭复合力传感器用于实时测量反向式行星滚柱丝杆输出端的推拉力和输入端的扭矩，从而实时计算出丝杆传动的效率。本发明提供的人形机器人的线性关节通过测量反作用力的方式，采用一个拉扭复合力传感器既能检测出丝杆输出端的推拉力，又能检测出丝杆输入端的扭矩，从而能够实时计算出线性关节的丝杆传动效率，对于人形机器人最佳步态的优化具有重要意义。
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公开(公告)号：CN107959367B
公开(公告)日：2024-09-17
申请号：CN201610906193.6
申请日：2016-10-18
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明提供一种双定子混合励磁涡流阻尼装置，该装置呈中空结构，包括外定子、转子与内定子；外定子固定在外支撑座上，包括数个铁芯齿以及绕行在各铁芯齿上的励磁绕组，彼此相邻的铁芯齿之间的槽口由第一永磁体密封；内定子固定在内支撑座上，包括数个铁芯齿以及绕行在各铁芯齿上的励磁绕组，彼此相邻的铁芯齿之间的槽口由第二永磁体密封。该涡流阻尼装置质量轻，气隙磁场由励磁绕组和永磁体共同产生，因此能提供的气隙磁场幅值大、可调节、效率高。当转子优选采用铜‑钢‑铜结构排布时，能够进一步提高径向气隙磁密和电导率，产生更大的阻尼转矩。
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公开(公告)号：CN118404623A
公开(公告)日：2024-07-30
申请号：CN202410452249.X
申请日：2024-04-15
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于柔性几何约束的机器人标定系统及方法，所述系统包括末端标定装置和立体相机，末端标定装置安装于机器人末端，随机器人可以任意拖曳移动；立体相机固定设置，且其使用时固定在机器人的工作空间内；标定时，多次拖曳机器人，获得末端标定装置相对于立体相机的多个位姿关系，融合这些多个位姿关系以获得末端标定装置相对于立体相机的位姿。本发明提供了一种新型的利用非接触式的柔性几何约束对协作机器人进行误差标定与补偿的方案。
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公开(公告)号：CN118386276A
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202311810820.2
申请日：2023-12-26
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明提供了一种用于水下机器人的软体抓取系统及控制方法，属于水下机器人技术领域。它解决了现有的水下机器人的抓取系统容易损伤被抓取物且无法适用于狭窄区域的问题。本发明中的一种用于水下机器人的软体抓取系统包括机器人、柔性机构、抓取组件、柔性单元以及绳索。本发明的柔性机构是通过驱动件拉动对应的绳索，以使得绳索带动对应的柔性单元发生变形，如此，该柔性机构能够在狭窄环境内进行弯曲或者变形，从而使得该柔性机构能够在狭窄环境内进行工作；其次，在本发明中，抓取组件是柔性的，使得抓取组件在抓取待抓取物时，抓取组件不会损坏待抓取物。
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公开(公告)号：CN115008344B
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202210651727.0
申请日：2022-06-08
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种机器人末端恒力浮动装置及打磨系统。所述机器人末端恒力浮动装置包括：固定底座、第一移动平台、第二移动平台以及第三导向机构、第一驱动机构和第二驱动机构，所述第一移动平台与所述固定底座活动配合，且与所述第一驱动机构传动连接；所述第二移动平台与所述第一移动平台活动配合，并能够与所述第一移动平台一起沿第一方向运动，所述第三导向机构分别与所述第二移动平台、第二驱动机构连接，所述第三导向机构能够使所述第二移动平台与所述第二驱动机构沿第一方向产生相对运动。本发明提供的机器人末端恒力浮动装置，降低了机器人轨迹规划的难度，提高了打磨效率；降低了运动部件的重量，提高了响应速度。
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公开(公告)号：CN117856479A
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202311677927.4
申请日：2023-12-08
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明提供了一种模块化永磁同步电机，包括：转子铁芯，其外周壁上沿周向均匀设有多个永磁体；六个定子模块，各定子模块均包括圆环形轭部，各圆环形轭部沿转子铁芯的周向围绕于各永磁体的外部，相邻的两个圆环形轭部的侧壁之间固定连接以使各圆环形轭部拼合为圆环，每个圆环形轭部朝向转子铁芯的一端均沿径向向内延伸有多个定子齿，各定子齿上缠绕有定子绕组；各圆环形轭部的两个侧壁沿所述转子铁芯径向分别延伸出虚拟线并相交形成夹角，夹角为60°，各定子齿的数量和各永磁体的极数的最大公因数为2。有益效果是本发明能够实现永磁同步电机模块化低数量，降低制造难度。
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公开(公告)号：CN107070062B
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN201710373524.9
申请日：2017-05-24
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种水冷电机的冷却管路结构及其水冷电机，包括水冷壳体，水冷壳体的内部制有水冷流道，水冷流道的表面具有间隔设置的球形凸胞状的丁胞结构。本发明可以在传统的各种冷却流道上应用球形凸胞状的丁胞结构，通过规律放置的丁胞结构让流体通过时产生涡流，破坏了流道边界层，增大了流道的散热系数、努塞尔数和湍动能，大大提高散热效率。
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