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公开(公告)号：CN116299810A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202211103662.2
申请日：2022-09-09
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02B5/18
Abstract: 一种反射式弯曲叉形面光栅的制备方法，该方法制备出的光栅为纯相位光栅，可用于产生完美涡旋光(POV)。通过一束高阶贝塞尔高斯光束与高斯光干涉曝光，其中高阶贝塞尔高斯光束由反射式纯相位液晶空间光调制器(SLM)产生，将干涉条纹记录在基底上的光敏材料中，经显影、镀金属膜后，即可制备出反射式弯曲叉形面光栅。使用基模高斯光照射，可在1级衍射方向的远场或透镜焦平面上获得POV。这种利用反射式弯曲叉形面光栅获得POV的方法，相对于使用空间光调制器的传统方法，优势在于具有更高的损伤阈值、更宽的工作波长范围、以及更高的转换效率，且结构简单、成本低、可大批量生产，在产生高功率POV方面具有重要的前景，可用于光学操控、光学加工等领域。
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公开(公告)号：CN115332926A
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202210975142.4
申请日：2022-08-15
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种集成嵌入式非均匀微通道的反射式光栅结构，其特征在于整个结构由上而下依次是光栅层、嵌入式非均匀微通道层、带有冷却液进出口的密封层。其中，非均匀微通道冷却层直接嵌入在光栅层下方的光栅基板上，其结构是依据入射在光栅表面的激光强度空间分布、光栅基板材料/几何尺寸等参数设计，微通道的空间间隔、通道宽度均成线性分布，而刻蚀深度为线性或高斯分布。本发明面向高能激光光谱合束、超强超短激光脉冲压缩等领域中使用的反射式光栅均匀热控制需求，提出了一种集成嵌入式非均匀微通道的反射式光栅结构，解决了因入射激光强度空间分布不均匀、光栅基板表面热传导不均等因素引起的光栅表面局部温升过高，进而导致光栅衍射波前畸变大的难题，为强激光作用下光栅表面温升及由此引起的波前畸变调控提供了一种新思路。
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公开(公告)号：CN114859453A
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202210611634.5
申请日：2022-05-19
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 暨南大学
IPC: G02B5/18
Abstract: 一种基于连续界面全介质薄膜的随机偏振合束光栅，包括基底，在该基底上依次镀制的高反射膜层、剩余层和光栅刻蚀层，所述高反射膜层由高折射率薄膜层和低折射率薄膜层交替叠加构成，且所述高折射率薄膜层与低折射率薄膜层之间设有折射率连续界面层，该折射率连续界面层的折射率由高折射率薄膜层的折射率向低折射率薄膜层的折射率连续过渡而成。本发明随机偏振合束光栅利用连续界面激发泄露模共振，可以实现随机偏振入射光的‑1级衍射效率在40‑100纳米带宽内大于99％，最高可达99.95％，在高能光谱合束激光、超强超短激光脉冲压缩领域具有重要的应用价值。
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公开(公告)号：CN113639860A
公开(公告)日：2021-11-12
申请号：CN202110815100.X
申请日：2021-07-19
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01J1/42
Abstract: 本发明公开了一种基于高功率宽光谱激光器的啁啾体光栅频谱衍射曲线测量装置与测量方法，采用高功率宽光谱激光器作为测量光源，其输出光束聚焦到一根光纤的某个端面上，在光纤中耦合并传导至光谱分析仪中，得到放置啁啾体光栅前后的输入功率，经计算后得到其衍射效率、衍射带宽和中心波长等技术参数。在该测量装置中加入多维调节载物台以精准控制啁啾体光栅的方位。本发明光路搭建简单、计算方法清晰明了，对任意规格的啁啾体光栅的频谱衍射曲线测量具有普适性，提高了啁啾体光栅频谱衍射曲线测量的效率和精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112880978B
公开(公告)日：2021-11-05
申请号：CN202110054607.8
申请日：2021-01-15
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 一种基于不透明干板直边缘衍射的涡旋光轨道角动量数的测量装置包括涡旋光产生模块，生待测涡旋光；衍射模块，用于将待测涡旋光转换为边缘衍射光，挡住涡旋光场的一部分，未遮挡的部分经近场衍射后入射到成像装置；成像装置，用于接收垂直入射的边缘衍射光，并成像后传输至计算机。本发明能够实现涡旋光轨道角动量数的测量，检测元件的简便和易得，并且能够快速地检测所用涡旋光的轨道角动量数。
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公开(公告)号：CN112394436B
公开(公告)日：2021-07-06
申请号：CN202011336817.8
申请日：2020-11-25
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种用于1064纳米波段的非对称结构全介质反射式合束光栅，其特征在于该光栅由下而上依次分别是光栅基底、周期膜系、位相匹配层和倾斜矩形槽型剖面的顶部光栅。本发明适用于中心波长1064纳米波段，具有偏振不敏感、超宽带、高效率的特点，能满足小型化光谱合束系统对高线密度、宽带不敏感合束光栅的需求。特别适合于结构紧凑、对光源线宽要求较低的双光栅高能激光光谱合束系统。
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公开(公告)号：CN112596139A
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN202011502556.2
申请日：2020-12-18
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02B5/18
Abstract: 本发明提供了一种短波范围反射式体光栅的光栅结构写入方法。该方法包括棱镜耦合曝光法与对射曝光法。使用这种光栅结构写入方法制备的反射式体光栅的中心波长可达到325nm～650nm。该发明提出的方法为短波长反射式体光栅的发展提供了新思路，与现有的制备技术相比，拓宽了短波长的技术领域，使其在半导体激光器锁波、激光合束等领域具有极大地实际应用价值。
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公开(公告)号：CN112327398A
公开(公告)日：2021-02-05
申请号：CN202011311195.3
申请日：2020-11-20
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明提出了一种矢量补偿体布拉格光栅角度偏转器的制备方法。本发明根据入射光束锥角设计样品架，使用该样品架对样品进行曝光，曝光后使用马弗炉对样品进行热处理，热处理后将样品前后表面抛光，在样品前后表面镀制1064nm标准增透膜，制成矢量补偿体布拉格光栅角度偏转器。本发明方法可对记录在样品中的体布拉格光栅进行矢量补偿，使锥角入射光束满足布拉格条件，可以有效提高体布拉格光栅角度偏转器对于锥角入射光束的衍射效率，应用于二维光束扫描系统中可实现高效率的二维方向的光束扫描，具有制备方法简单，可大批量生产的优点，在二维激光光束扫描技术领域具有重要的实用前景。
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公开(公告)号：CN105891925A
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201610239620.X
申请日：2016-04-18
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02B5/18
CPC classification number: G02B5/1861
Abstract: 一种中心波长1064纳米偏振无关宽带高衍射效率双层反射型全介质光栅，包括由顶层光栅层、次层光栅层和次层光栅剩余层构成光栅顶部结构，以及由高折射率对比度全介质周期薄膜层和基底构成光栅底部结构，所述的顶层光栅层和次层光栅层为高折射率对比度材料，所述光栅的周期为833～1052纳米，占宽比为0.47～0.65。本发明的反射型全介质光栅在入射角度为?1级利特罗角时，在入射光1020～1100纳米范围内可同时使TE、TM偏振方向的?1级衍射效率高于95％，波段内最高衍射效率超过99％，且在较宽角谱(5°左右)和宽方位角谱(正负15°～正负20°)内具有高于95％的?1级衍射效率，实现对偏振无关入射光的高效率衍射。
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