公开(公告)号：CN105891925B

公开(公告)日：2019-04-19

申请号：CN201610239620.X

申请日：2016-04-18

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 晋云霞 ,  陈俊明 ,  邵建达 ,  孔钒宇 ,  黄昊鹏 ,  张洪 ,  王磊磊 ,  李林欣

IPC: G02B5/18

Abstract: 一种中心波长1064纳米偏振无关宽带高衍射效率双层反射型全介质光栅，包括由顶层光栅层、次层光栅层和次层光栅剩余层构成光栅顶部结构，以及由高折射率对比度全介质周期薄膜层和基底构成光栅底部结构，所述的顶层光栅层和次层光栅层为高折射率对比度材料，所述光栅的周期为833～1052纳米，占宽比为0.47～0.65。本发明的反射型全介质光栅在入射角度为‑1级利特罗角时，在入射光1020～1100纳米范围内可同时使TE、TM偏振方向的‑1级衍射效率高于95％，波段内最高衍射效率超过99％，且在较宽角谱(5°左右)和宽方位角谱(正负15°～正负20°)内具有高于95％的‑1级衍射效率，实现对偏振无关入射光的高效率衍射。

公开(公告)号：CN106772734A

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201710000720.1

申请日：2017-01-03

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 晋云霞 ,  陈俊明 ,  邵建达 ,  孔钒宇 ,  黄昊鹏 ,  陈鹏 ,  王磊磊 ,  李林欣 ,  徐姣

IPC: G02B5/18

CPC classification number: G02B5/1809 ,  G02B5/1861

Abstract: 一种宽带高衍射效率非对称形貌反射型光栅，其特点在于由顶部光栅脊结构、中间高反射率薄膜层和底部基底构成光栅结构，其中顶部光栅脊结构为非对称形貌，所述的非对称形貌为四边形的底角α和β不相等。本发明的非对称形貌反射型光栅在入射角度为‑1级利特罗角时，在80纳米带宽范围内可获得‑1级衍射效率高于95％，波段内最高衍射效率超过99％，且在较宽角谱内具有高于95％的‑1级衍射效率，实现在较宽的带宽和较宽的入射角范围内工作。本发明性能优越，结构简单，可大批量生产，在高功率激光领域具有重要的实用前景。

公开(公告)号：CN105891925A

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：CN201610239620.X

申请日：2016-04-18

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 晋云霞 ,  陈俊明 ,  邵建达 ,  孔钒宇 ,  黄昊鹏 ,  张洪 ,  王磊磊 ,  李林欣

IPC: G02B5/18

CPC classification number: G02B5/1861

Abstract: 一种中心波长1064纳米偏振无关宽带高衍射效率双层反射型全介质光栅，包括由顶层光栅层、次层光栅层和次层光栅剩余层构成光栅顶部结构，以及由高折射率对比度全介质周期薄膜层和基底构成光栅底部结构，所述的顶层光栅层和次层光栅层为高折射率对比度材料，所述光栅的周期为833～1052纳米，占宽比为0.47～0.65。本发明的反射型全介质光栅在入射角度为?1级利特罗角时，在入射光1020～1100纳米范围内可同时使TE、TM偏振方向的?1级衍射效率高于95％，波段内最高衍射效率超过99％，且在较宽角谱(5°左右)和宽方位角谱(正负15°～正负20°)内具有高于95％的?1级衍射效率，实现对偏振无关入射光的高效率衍射。