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公开(公告)号：CN105201825A
公开(公告)日：2015-12-30
申请号：CN201510579035.X
申请日：2015-09-11
Applicant: 东北大学
Abstract: 本发明涉及一种多腔涡旋式真空泵，打破传统设计思路，首次提出了多腔结构设计方案，对突破压缩比、抽速和极限真空度方面的限制提供了有效手段。本发明的并联式多腔涡旋真空泵，其改变了现有的双侧、多头等结构形式，通过并联式的多腔结构实现同时抽气，有效提高了抽速和工作效率，且使泵体结构更加紧凑。本发明的串联式多腔涡旋真空泵，其改变了现有的双级、多涡等结构形式，采用现有双级、多涡等结构形式的真空泵，其对于实现更低的极限真空度和更高的压缩比已难以达到，为此也只能设计具有更多级数的涡旋真空泵，但也导致泄漏率更高，而本发明的泵体结构不但简单紧凑，且同样可以具有更多级数的涡旋真空泵的性能，同时泄漏率也低的多。
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公开(公告)号：CN103572192B
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201310561019.9
申请日：2013-11-13
Applicant: 东北大学
Abstract: 一种在旋转机械薄壳构件表面制备陶瓷阻尼涂层的方法，属于材料技术领域，按以下步骤进行：（1）将MgO和Al2O3混合球磨制成混合粉末，筛选60~80目的部分，干燥去除水分，制成陶瓷涂层材料；装入大气等离子喷涂机的送粉装置中；（2）采用旋转机械薄壳构件作为基体，将油污和杂质去除，置于大气等离子喷涂机的工作台上；（3）启动大气等离子喷涂机，向喷枪内通入氩气和氢气，开启大气等离子喷涂机的电源，起辉产生等离子体；（4）通过送粉装置送粉并开始喷涂，在基体上喷涂形成陶瓷阻尼涂层。本发明适用于提高旋转机械薄壳构件的阻尼能力，改善零件的动态特性，降低振动损伤故障发生的可能性。
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公开(公告)号：CN103602955B
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201310561895.1
申请日：2013-11-13
Applicant: 东北大学
Abstract: 一种在旋转机械叶片表面制备多孔合金阻尼涂层的方法，属于材料技术领域，按以下步骤进行：（1）采用旋转机械叶片为基体，清洗去除基体表面的油污和杂质，然后置于过滤电弧离子镀膜机的真空室内；（2）将真空室抽真空，将基体预热；（3）通入氩气，开启过滤电弧离子镀膜机，向基体表面沉积钛涂层，在基体表面沉积形成钛涂层；（4）向钛涂层表面沉积镁铝合金涂层，在基体表面为沉积形成镁铝合金涂层；（5）随炉冷却。采用本发明的方法基底预处理不破坏叶片表面结构；预热温度低对叶片材料结构特性影响小；涂层选用材料普遍，不受采购等条件制约。
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公开(公告)号：CN103590003B
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201310561018.4
申请日：2013-11-13
Applicant: 东北大学
Abstract: 一种物理气相沉积在旋转机械叶片表面制备硬阻尼涂层的方法，属于材料技术领域，按以下步骤进行：（1）采用旋转机械叶片作为基体，采用超声波清洗；（2）用空气吹干后用氮气冲洗；（3）将氮基体置于过滤电弧离子镀膜机的真空室内，抽真空；（4）通入氩气，对基体施加负偏压，利用电极间辉光放电产生的离子清洗基体表面；（5）抽真空后通入氩气，将基体预热至100~150℃；开启过滤电弧离子镀膜机，向基体表面沉积钛涂层；（6）对称开启多阴极磁过滤真空电弧，沉积Ni60Cr33.7Al4.5Y1.8合金涂层；在基体表面制成硬阻尼涂层。本发明的方法具有适用叶片范围广，涂层材料丰富多样，制备过程温度低，涂层均匀，粉尘、废气等无环境污染物，设备成本低，生产效率高等特点。
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公开(公告)号：CN103572221B
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201310562024.1
申请日：2013-11-13
Applicant: 东北大学
Abstract: 一种在旋转机械薄壳构件表面制备阻尼减振复合涂层的方法，属于材料技术领域，按以下步骤进行：（1）以旋转机械薄壳构件作为基体，置于过滤电弧离子镀膜机的真空室内；（2）抽真空后将基体预热；（3）通入氩气，开启过滤电弧离子镀膜机，向基体表面沉积钛涂层；（4）向钛涂层表面沉积Ni60Cr33.7Al4.5Y1.8合金涂层；（5）向Ni60Cr33.7Al4.5Y1.8涂层表面沉积镁铝合金涂层，在基体表面制成阻尼减振复合涂层。本发明的方法制备阻尼减振复合涂层还具备以下特点：基底预处理不破坏叶片表面结构；预热温度低对叶片材料结构特性影响小；涂层选用材料普遍，不受采购等条件制约，工艺简单稳定性高，清洁无粉尘废气等污染物产生。
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公开(公告)号：CN101985937B
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201010565664.4
申请日：2010-11-30
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种真空泵，具体涉及一种三轴爪型真空泵。包括电机、主轴和从动轴，主轴上装配有主动齿轮，与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在从动轴上，在主轴和从动轴上装有相互啮合的爪型转子，爪型转子组之间用隔板隔开，所述的主轴两侧均设有一根装配爪型转子和从动齿轮的从动轴。不仅提高了泵的工作效率和抽气效率，还增强了泵工作的稳定性。
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公开(公告)号：CN101392749B
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN200810228429.0
申请日：2008-10-31
Applicant: 东北大学 , 成都南光机器有限公司
Abstract: 一种旋涡式真空泵，涉及真空技术领域，包括底座、电机、转子和定子，转子为多级转子，多级转子由多层单级转子形成，单级转子由三层圆盘叠加形成，转子外侧有凸台、进气道和排气道；定子为多级定子，每一级定子内侧设有径向叶片，每一级转子与对应的一级定子组成一级抽气压缩单元；相邻的两个抽气压缩单元之间设有排气道。该泵采用旋涡加速的原理，可以单独使用，也可以作为干式真空泵机组中的前级泵使用，泵结构简单，零部件少，易于加工，维修简单，同时该泵内运动件与泵腔无摩擦，故几乎无磨损，所以该泵振动小，噪声低。
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公开(公告)号：CN102392237A
公开(公告)日：2012-03-28
申请号：CN201110329169.8
申请日：2011-10-26
Applicant: 东北大学
IPC: C23C20/08
Abstract: 本发明属于半导体材料与器件领域，具体涉及一种Ag-Li共掺杂氧化锌薄膜的制备方法。实现本发明技术方案的要点是：将Zn(CH3COO)2·2H2O溶于无水乙醇中，加入与Zn(CH3COO)2·2H2O等摩尔的二乙醇胺，在水浴条件下搅拌后，再按比例加入AgNO3和LiCl继续搅拌，得到Ag-Li共掺杂的氧化锌溶胶，用匀胶机将得到的Ag-Li共掺杂氧化锌溶胶在基片上进行旋转涂膜，然后加热烘干，进行热处理，得到Ag-Li共掺杂氧化锌薄膜。本发明制备的Ag-Li共掺杂ZnO薄膜不仅结晶性好、表面形貌好，而且透射比较高、导电性较好。
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公开(公告)号：CN101985939A
公开(公告)日：2011-03-16
申请号：CN201010565680.3
申请日：2010-11-30
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司
Abstract: 本发明涉及干式真空泵，具体涉及一种具有轴端动密封结构的干式真空泵。包括电机、主轴和从动轴，主轴上装配有主动齿轮，与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在从动轴上，在主轴和从动轴上装有至少三组转子，转子组之间用隔板隔开，在主轴和从动轴两端分别装配有轴承，所述的轴承与轴肩接触面一侧的台阶上依次设置有骨架密封和迷宫密封，骨架密封和迷宫密封之间的空间又形成气体密封,在一级腔体顶部的泵壳上开有一进气口，在两端最外侧腔体底部的泵壳上各开有一排气孔，两个排气孔通过排气流道与排气口相通。工作时，各泵腔内的工作压力沿轴向呈V型分布，提高泵的极限压力、缩短抽气时间，又可防止有害气体及颗粒对轴承的腐蚀或损坏。
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