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公开(公告)号：CN102392237A
公开(公告)日：2012-03-28
申请号：CN201110329169.8
申请日：2011-10-26
Applicant: 东北大学
IPC: C23C20/08
Abstract: 本发明属于半导体材料与器件领域，具体涉及一种Ag-Li共掺杂氧化锌薄膜的制备方法。实现本发明技术方案的要点是：将Zn(CH3COO)2·2H2O溶于无水乙醇中，加入与Zn(CH3COO)2·2H2O等摩尔的二乙醇胺，在水浴条件下搅拌后，再按比例加入AgNO3和LiCl继续搅拌，得到Ag-Li共掺杂的氧化锌溶胶，用匀胶机将得到的Ag-Li共掺杂氧化锌溶胶在基片上进行旋转涂膜，然后加热烘干，进行热处理，得到Ag-Li共掺杂氧化锌薄膜。本发明制备的Ag-Li共掺杂ZnO薄膜不仅结晶性好、表面形貌好，而且透射比较高、导电性较好。
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