一种多腔涡旋式真空泵

    公开(公告)号:CN105201825A

    公开(公告)日:2015-12-30

    申请号:CN201510579035.X

    申请日:2015-09-11

    Applicant: 东北大学

    Abstract: 本发明涉及一种多腔涡旋式真空泵,打破传统设计思路,首次提出了多腔结构设计方案,对突破压缩比、抽速和极限真空度方面的限制提供了有效手段。本发明的并联式多腔涡旋真空泵,其改变了现有的双侧、多头等结构形式,通过并联式的多腔结构实现同时抽气,有效提高了抽速和工作效率,且使泵体结构更加紧凑。本发明的串联式多腔涡旋真空泵,其改变了现有的双级、多涡等结构形式,采用现有双级、多涡等结构形式的真空泵,其对于实现更低的极限真空度和更高的压缩比已难以达到,为此也只能设计具有更多级数的涡旋真空泵,但也导致泄漏率更高,而本发明的泵体结构不但简单紧凑,且同样可以具有更多级数的涡旋真空泵的性能,同时泄漏率也低的多。

    一种多腔涡旋式真空泵

    公开(公告)号:CN105201825B

    公开(公告)日:2018-05-04

    申请号:CN201510579035.X

    申请日:2015-09-11

    Applicant: 东北大学

    Abstract: 本发明涉及一种多腔涡旋式真空泵,打破传统设计思路,首次提出了多腔结构设计方案,对突破压缩比、抽速和极限真空度方面的限制提供了有效手段。本发明的并联式多腔涡旋真空泵,其改变了现有的双侧、多头等结构形式,通过并联式的多腔结构实现同时抽气,有效提高了抽速和工作效率,且使泵体结构更加紧凑。本发明的串联式多腔涡旋真空泵,其改变了现有的双级、多涡等结构形式,采用现有双级、多涡等结构形式的真空泵,其对于实现更低的极限真空度和更高的压缩比已难以达到,为此也只能设计具有更多级数的涡旋真空泵,但也导致泄漏率更高,而本发明的泵体结构不但简单紧凑,且同样可以具有更多级数的涡旋真空泵的性能,同时泄漏率也低的多。

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