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公开(公告)号：CN103282543B
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201280004309.7
申请日：2012-03-02
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L51/5012 , C23C14/042 , C23C14/243 , C23C14/564 , H01L51/0011 , H01L51/56 , H05B33/10
Abstract: 从至少1个蒸镀源开口（61）放出的蒸镀颗粒（91），通过限制单元（80）的多个限制开口（82）和蒸镀掩模（70）的多个掩模开口（71），附着在沿第二方向（10a）相对移动的基板（10）上形成覆膜。限制单元包括叠层的多个板材。由此，能够高效率并且低成本地在大型基板上形成端缘的模糊被抑制的蒸镀覆膜。
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公开(公告)号：CN104037195A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201410083251.0
申请日：2014-03-07
Applicant: 株式会社半导体能源研究所 , 夏普株式会社
CPC classification number: H01L33/08 , H01L27/3246 , H01L33/58 , H01L51/5044
Abstract: 本发明抑制发光装置的串扰现象的发生。本发明的一个方式是一种发光装置，包括：绝缘层416；形成在所述绝缘层上的第一下部电极421a；形成在所述绝缘层上的第二下部电极421b；形成在所述绝缘层上且位于所述第一下部电极与所述第二下部电极之间的结构物419；形成在所述绝缘层上且位于所述结构物与所述第一下部电极之间的第一隔壁418a；形成在所述绝缘层上且位于所述结构物与所述第二下部电极之间的第二隔壁418b；形成在所述第一下部电极、所述第一隔壁、所述结构物、所述第二隔壁及所述第二下部电极上的第一发光单元423a；形成在所述第一发光单元上的中间层424；形成在所述中间层上的第二发光单元423b；以及形成在所述第二发光单元上的上部电极422。
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公开(公告)号：CN102834541B
公开(公告)日：2014-07-09
申请号：CN201180015261.5
申请日：2011-02-10
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H05B33/10 , C23C14/042 , C23C14/044 , C23C14/12 , C23C14/225 , C23C14/24 , H01L27/3211 , H01L51/0011 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供在有机EL显示器用的基板（10）上按规定的图案形成薄膜（3）的蒸镀装置（50）。在掩模（60）与放射蒸镀颗粒的蒸镀源（53）之间配置有第一校正板（81）和第二校正板（82）。各校正板（81、82）分别具有多个叶片板（83）和支承它们的框（84）。各叶片板（83）在相对于掩模（60）倾斜的状态下，以从与掩模（60）正交的方向来看，在与相邻的叶片板（83）之间隔着开口（86）相互平行地延伸的方式配置。
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公开(公告)号：CN103781215A
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201310487747.X
申请日：2013-10-17
Applicant: 株式会社半导体能源研究所 , 夏普株式会社
CPC classification number: H01L33/36 , H01L27/3209 , H01L27/3246 , H01L51/5044 , H01L51/525
Abstract: 本发明的课题是抑制具有串联元件的发光装置的串扰现象的发生。本发明的一个方式是一种发光装置，该发光装置包括：形成在绝缘层上的第一下部电极、第二下部电极；形成在所述绝缘层上并位于所述第一下部电极与所述第二下部电极之间的隔壁；形成在所述隔壁上的突起物；形成在所述第一下部电极、所述隔壁、所述突起物和所述第二下部电极的每一个上的第一发光单元；形成在所述第一发光单元上的中间层；形成在所述中间层上的第二发光单元；以及形成在所述第二发光单元上的上部电极，其中由所述突起物的侧面和所述隔壁的侧面形成凹处。
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公开(公告)号：CN103340012A
公开(公告)日：2013-10-02
申请号：CN201280005773.8
申请日：2012-01-13
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L27/3295 , C23C14/042 , C23C14/56 , H01L27/3211 , H01L27/3276 , H01L27/3283 , H01L51/56 , H01L2227/323
Abstract: 在利用蒸镀装置（50）形成有蒸镀部的TFT基板（10）中，蒸镀装置（50）包括具有射出口（86）的蒸镀源（85）和具有开口部（82）的蒸镀掩模（81），蒸镀颗粒经开口部（82）被蒸镀而形成蒸镀部，TFT基板（10）具有在像素区域（AG）二维排列的像素和与各像素电连接的配线（14），相互隔着间隙（X）地形成有多个蒸镀部（Q），配线（14）的各端子配置于间隙（X）。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103270186A
公开(公告)日：2013-08-28
申请号：CN201180060616.2
申请日：2011-12-16
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: B03C1/005 , B03C1/30 , B03C2201/20 , C23C14/12 , C23C14/564 , H01L51/0016
Abstract: 在腔室内构成物(70)的至少与成膜材料接触的部分，设置有包含能够被磁铁吸附的材料的层(71)。成膜材料的回收方法包括：剥离工序，将附着在腔室内构成物(70)的表面的附着物(22)剥离；和分离工序，使剥离工序中被剥离的包含能够被磁铁吸附的材料的层(71)的碎片吸附在磁铁(202a)上，从附着物(22)分离，从而回收附着物(22)。
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公开(公告)号：CN103189542A
公开(公告)日：2013-07-03
申请号：CN201180052599.8
申请日：2011-10-11
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L22/20 , C23C14/042 , C23C14/24 , C23C14/54 , H01L27/3211 , H01L51/001 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 在使基板(10)相对于蒸镀掩模(70)以隔开固定间隔的状态相对移动的同时，使从蒸镀源(60)的蒸镀源开口(61)放出的蒸镀颗粒(91)依次通过控制板单元(80)具有的多个控制板(81)间的空间和蒸镀掩模的掩模开口(71)并附着在基板上形成覆膜(90)。检测蒸镀源和控制板单元间的热膨胀量差并对该热膨胀量差进行校正。由此，能够在大型基板上的期望位置形成抑制了端缘的模糊及其偏差的覆膜。
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公开(公告)号：CN102834541A
公开(公告)日：2012-12-19
申请号：CN201180015261.5
申请日：2011-02-10
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H05B33/10 , C23C14/042 , C23C14/044 , C23C14/12 , C23C14/225 , C23C14/24 , H01L27/3211 , H01L51/0011 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供在有机EL显示器用的基板（10）上按规定的图案形成薄膜（3）的蒸镀装置（50）。在掩模（60）与放射蒸镀颗粒的蒸镀源（53）之间配置有第一校正板（81）和第二校正板（82）。各校正板（81、82）分别具有多个叶片板（83）和支承它们的框（84）。各叶片板（83）在相对于掩模（60）倾斜的状态下，以从与掩模（60）正交的方向来看，在与相邻的叶片板（83）之间隔着开口（86）相互平行地延伸的方式配置。
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公开(公告)号：CN109791998B
公开(公告)日：2021-02-05
申请号：CN201780060089.2
申请日：2017-09-25
Applicant: 夏普株式会社
Abstract: 绿色发光层(34G)在第一子像素(3B)、第二子像素(3G)、第三子像素(3R)中共用地设置，蓝色发光层(34B)仅设置在第一子像素，红色发光层(34R)仅设置在第三子像素，在第一子像素的蓝色发光层与绿色发光层之间设置有分隔层(35)。
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公开(公告)号：CN108026630B
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN201680054843.7
申请日：2016-09-20
Applicant: 夏普株式会社
Abstract: 本发明提供材料利用效率比以往高的蒸镀源。蒸镀源(10)包括：蒸镀颗粒射出单元(30)，其具有：各自具有至少1个蒸镀喷嘴(32、52)且在垂直方向上彼此隔开间隔地叠层的多段的喷嘴单元、和设置在各段的蒸镀喷嘴之间的至少1个空间部(43)；和与至少1个空间部(43)连接的真空排气单元(14)。
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