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公开(公告)号：CN111725124A
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN202010460749.X
申请日：2020-05-27
Applicant: 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司
Abstract: 本发明提出一种微型发光二极管的转移方法，涉及微型发光二极管领域，本发明的转移方法包括以下步骤：在外延片上依次沉积金属电极材料层和键合材料层，外延片从下至上包括基板、缓冲层和外延层，金属电极材料层和键合材料层沉积在外延层上；在键合材料层上涂布第一光阻，采用湿刻对金属电极材料层和键合材料层刻蚀形成阵列分布的金属电极层和位于金属电极层上的键合层；对外延片的外延层干刻，形成阵列分布的微型发光二极管，并去除第一光阻；制作包括多个隔离柱和粘结柱的暂态基板；贴合外延片和暂态基板；激光剥除外延片的生长基板，之后干刻蚀掉外延片的缓冲层；微型发光二极管转移至驱动背板上进行键合。
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公开(公告)号：CN111490143B
公开(公告)日：2021-07-13
申请号：CN202010309479.2
申请日：2020-04-20
Applicant: 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司
Abstract: 本发明提出一种显示背板及其制造方法、微型发光二极管显示器，涉及微型发光二极管领域，所述制造方法包括：S1：形成多个位于背板衬底上阵列排布的键合电极，形成位于键合电极上方的磁流变液层；S2：电磁铁基板上的电磁铁对应贴合在背板衬底的背面，电磁铁位于背板衬底的下方且与键合电极对应设置；S3：控制电磁铁的磁场强度，在对应的磁流变液层上放置微型发光二极管；S4：对微型发光二极管进行光学检测，控制电磁铁的磁场强度对检测到的坏点进行移除，并转移新的微型发光二极管放置至坏点处；S5：微型发光二极管的底部电极与键合电极进行键合，键合完成后移除电磁铁基板。本发明实现显示背板制造过程中对微型发光二极管可选择的转移和修复。
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公开(公告)号：CN112635355A
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：CN202011370496.3
申请日：2020-11-30
Applicant: 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/683 , H01L27/15 , G09F9/33
Abstract: 本发明提供一种转移装置、显示背板、Micro LED器件及其制造方法，转移装置包括转移基板、位于转移基板上且阵列设置的转移勾臂基座以及固定在转移勾臂基座上且与转移基板平行设置的转移勾臂。本发明转移装置不需要重新加工，可以重复使用；在转移过程中不存在残胶风险，且转移装置受Micro LED器件的金属键合层和缓冲层的附着力的影响较小，转移成功率高。
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公开(公告)号：CN112490176A
公开(公告)日：2021-03-12
申请号：CN202011392019.7
申请日：2020-12-02
Applicant: 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司
IPC: H01L21/683 , H01L21/67 , H01L27/15
Abstract: 本发明提供一种微型发光二极管转移结构及其方法，包括转移头和待转移的微型发光二极管器件；转移头包括扰动模块、转移头衬底以及多个转移柱；待转移的微型发光二极管器件包括暂态基板、位于暂态基板上的缓冲层以及位于缓冲层上呈阵列分布的环状微型发光二极管；每个环状微型发光二极管的底部设有环状键合金属；所述环状微型发光二极管和环状键合金属的中心处设有贯通孔，转移时，转移头的转移柱可插入所述贯通孔内。本发明通过将转移头设置成扰动模块、转移头衬底以及多个转移柱，将微型发光二极管设置成环状，可以实现一次性拾取并转移多组微型发光二极管，且转移头可以重复使用，大大提升了微型发光二极管的转移效率，降低了生产成本。
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公开(公告)号：CN112466813A
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：CN202011337110.9
申请日：2020-11-25
Applicant: 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司
IPC: H01L21/78 , H01L21/683 , H01L27/15
Abstract: 本发明还提供一种Micro LED器件及其转移方法,Micro LED器件包括玻璃基板、位于玻璃基板上的胶缓冲层、位于胶缓冲层上的第二金属凸起、粘附层以及LED阵列，其中第二金属凸起呈凹凸状，粘附层位于第二金属凸起的凸状上，LED阵列包括位于第二金属凸起的凹状内的第一金属凸起和位于第一金属凸起上的外延层。本发明LED阵列的LED金属层放置在第二金属凸起的凹状内上且未直接与胶缓冲层接触，这样LED阵列转移时不会有胶残留；另一方面LED阵列底部没有设置胶，这样转移LED阵列时，拾取力需求小，提高了转移效率，避免了LED电性接触不良。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112259471A
公开(公告)日：2021-01-22
申请号：CN202011019483.1
申请日：2020-09-25
Applicant: 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L25/075 , G09F9/33
Abstract: 本发明提出一种微型发光二极管的显示背板和转移方法，涉及微型发光二极管领域，本发明提出一种可与盖板盖合的微型发光二极管的显示背板，用于在转移微型发光二极管时可修正显示背板上偏离键合层的微型发光二极管。显示背板与盖板盖合形成微通道，通过降温结露的方法在显示背板上形成均匀的水膜，然后在显示背板的两侧设置吸水材料从而驱动水膜形成水流通过微通道流动，并带动微型发光二极管的漂流至键合位置，从而有效解决微型发光二极管偏离显示背板的键合层的问题。
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公开(公告)号：CN112034675A
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN202010932192.5
申请日：2020-09-08
Applicant: 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司
Abstract: 本发明涉及一种掩膜版，包括掩膜基板、间隔设置在所述掩膜基板上的若干个遮光部以及位于各个所述遮光部之间的若干个开口区，其特征在于，至少一个所述开口区内设置有偏光膜，至少一个所述开口区内不设置偏光膜。本发明还涉及一种图形制作装置和方法，通过采用本发明的掩膜版，可以制作不同比例大小的图形，满足对不同客户的设计需求，缩短了产品的开发周期，降低了生产的成本。
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公开(公告)号：CN109817767B
公开(公告)日：2020-10-02
申请号：CN201811568350.2
申请日：2018-12-21
Applicant: 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司
Abstract: 本发明提出一种微型器件及其制作方法，在形成该微型器件的外延层之前，先形成牺牲层并且对牺牲层进行图形化的处理。制作方法包括：S1、衬底上形成图形化的牺牲层；S2、所述牺牲层上形成外延层，一部分所述外延层形成在牺牲层上，其余所述外延层形成在缓冲层上；S3、移除牺牲层以及位于牺牲层上的外延层；S4、所述外延层上形成图形化的金属层，形成LED；S5、转移位于衬底上的LED，形成微型器件。本发明通过外延生长的图形化，使外延直接形成分离的结构，减小或避免了应力的集中。
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公开(公告)号：CN112271156B
公开(公告)日：2022-09-13
申请号：CN202011037950.3
申请日：2020-09-28
Applicant: 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司
IPC: H01L21/683
Abstract: 本发明提供一种静电转移头及其制造方法，静电转移头包括基板、阵列设置在基板上的多个高台，还包括位于相邻高台之间且设置在基板上的沟槽、位于沟槽内的电极线和接地线、设置在每个高台上的凹槽、覆盖在高台上和侧边上的至少一个电极以及介电层；其中，所述电极覆盖至少部分凹槽，所述电极线连接相邻高台上的电极，所述介电层位于电极线和接地线之间和覆盖所述电极和所述凹槽。本发明静电转移头，通过在高台上形成凹槽以形成双极电极或单极电极，电极吸附和转移微型器件；凹槽很好的解决了静电转移头与微型器件之间的偏移问题，另外，本发明在电极线上方还添加了接地线很好的屏蔽了电极线产生的电场。
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公开(公告)号：CN112435942A
公开(公告)日：2021-03-02
申请号：CN202011369732.X
申请日：2020-11-30
Applicant: 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/683 , H01L27/15 , G09F9/33
Abstract: 本发明提供一种转移头结构及其转移微型发光二极管的方法，转移头结构包括转移头衬底、多个转移槽、注液模块及控温模块；所述转移头衬底上设有多个开孔；所述转移槽置于所述开孔的下方，与所述开孔一一对应，待转移微型发光二极管置于所述转移槽内；所述注液模块位于所述转移头衬底上方，注液模块通过开孔向转移槽内注入转移液体；所述控温模块用于控制所述转移槽内转移液体的温度。本发明通过将转移头设置成转移头衬底、多个转移槽、注液模块及控温模块的结构，不仅可以重复使用，降低了成本，而且不存在胶残的风险对样品不造成污染，转移良率高。
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