公开(公告)号：CN111725124A

公开(公告)日：2020-09-29

申请号：CN202010460749.X

申请日：2020-05-27

Applicant: 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司

Inventor： 张良玉 ,  朱充沛 ,  高威 ,  张有为 ,  朱煜

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67 ,  H01L27/15 ,  H01L33/00 ,  H01L33/48 ,  H01L33/62

Abstract: 本发明提出一种微型发光二极管的转移方法，涉及微型发光二极管领域，本发明的转移方法包括以下步骤：在外延片上依次沉积金属电极材料层和键合材料层，外延片从下至上包括基板、缓冲层和外延层，金属电极材料层和键合材料层沉积在外延层上；在键合材料层上涂布第一光阻，采用湿刻对金属电极材料层和键合材料层刻蚀形成阵列分布的金属电极层和位于金属电极层上的键合层；对外延片的外延层干刻，形成阵列分布的微型发光二极管，并去除第一光阻；制作包括多个隔离柱和粘结柱的暂态基板；贴合外延片和暂态基板；激光剥除外延片的生长基板，之后干刻蚀掉外延片的缓冲层；微型发光二极管转移至驱动背板上进行键合。

公开(公告)号：CN111146136A

公开(公告)日：2020-05-12

申请号：CN201911344026.7

申请日：2019-12-24

Applicant: 南京中电熊猫平板显示科技有限公司 ,  南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 ,  南京华东电子信息科技股份有限公司

Inventor： 张良玉 ,  朱充沛 ,  高威 ,  朱煜 ,  张有为

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/677 ,  H01L33/00 ,  H01L25/16

Abstract: 本发明提出一种微型器件转移头及其制造方法，涉及微型发光二极管领域，微型器件转移头包括：基础衬底；位于基础衬底上且阵列排布的多个支撑台；位于每个支撑台上的第一电极和与第一电极具有间隙的第二电极；以及覆盖第一电极和第二电极上和第一电极和第二电极之间的介电层，其中，当第一电极和第二电极用于吸附微型器件时，第一电极和第二电极分别连接相反极性的电压。本发明制作出的微型器件转移头具有较大的吸力，且释放速度快，具有很高的转移效率。

公开(公告)号：CN112259471A

公开(公告)日：2021-01-22

申请号：CN202011019483.1

申请日：2020-09-25

Applicant: 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司

Inventor： 张良玉 ,  朱充沛 ,  高威 ,  周宇 ,  朱煜

IPC: H01L21/67 ,  H01L25/075 ,  G09F9/33

Abstract: 本发明提出一种微型发光二极管的显示背板和转移方法，涉及微型发光二极管领域，本发明提出一种可与盖板盖合的微型发光二极管的显示背板，用于在转移微型发光二极管时可修正显示背板上偏离键合层的微型发光二极管。显示背板与盖板盖合形成微通道，通过降温结露的方法在显示背板上形成均匀的水膜，然后在显示背板的两侧设置吸水材料从而驱动水膜形成水流通过微通道流动，并带动微型发光二极管的漂流至键合位置，从而有效解决微型发光二极管偏离显示背板的键合层的问题。