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公开(公告)号:CN110783252A
公开(公告)日:2020-02-11
申请号:CN201910991678.3
申请日:2019-10-18
Applicant: 南京中电熊猫平板显示科技有限公司 , 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 , 南京华东电子信息科技股份有限公司
IPC: H01L21/683 , H01L33/48
Abstract: 本发明提出一种微型器件转移头及其制作方法、微型器件的转移方法,涉及微型发光二极管领域,所述微型器件转移头包括基础衬底、位于基础衬底上且阵列排布的多个高台以及位于每个高台上的金属固化转移层。本发明通过提供一种带有金属固化转移层的微型器件转移头,然后与带有金属固化层的显示背板结合,利用金属的附着力可以轻松实现微型发光二极管的巨量转移。
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公开(公告)号:CN109994417B
公开(公告)日:2019-08-27
申请号:CN201910459863.8
申请日:2019-05-30
Applicant: 南京中电熊猫平板显示科技有限公司 , 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 , 南京华东电子信息科技股份有限公司
IPC: H01L21/683 , H01L33/00
Abstract: 本发明提出一种静电转移头及其制作方法,属于Micro LED巨量转移的技术领域,包括基板、图案化的第一金属层和介电层,所述基板包括凹部和凸部,所述介电层包括与所述凹部对应的第一凹洞,所述第一金属层嵌入在基板中。本发明通过在基板或平坦层中嵌入金属,解决现有转移头出现的边缘凸起、匀胶均一性较差、边缘漏电导致吸力不足和工艺良率低的困扰,使巨量转移更好的完成的同时可以转移不同微元件且不受阻碍。
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公开(公告)号:CN109994417A
公开(公告)日:2019-07-09
申请号:CN201910459863.8
申请日:2019-05-30
Applicant: 南京中电熊猫平板显示科技有限公司 , 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 , 南京华东电子信息科技股份有限公司
IPC: H01L21/683 , H01L33/00
Abstract: 本发明提出一种静电转移头及其制作方法,属于Micro LED巨量转移的技术领域,包括基板、图案化的第一金属层和介电层,所述基板包括凹部和凸部,所述介电层包括与所述凹部对应的第一凹洞,所述第一金属层嵌入在基板中。本发明通过在基板或平坦层中嵌入金属,解决现有转移头出现的边缘凸起、匀胶均一性较差、边缘漏电导致吸力不足和工艺良率低的困扰,使巨量转移更好的完成的同时可以转移不同微元件且不受阻碍。
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公开(公告)号:CN110993509B
公开(公告)日:2021-07-13
申请号:CN201911178192.4
申请日:2019-11-27
Applicant: 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司
Abstract: 本发明提出一种微型发光二极管显示背板的制造方法,涉及微型发光二极管领域,制造方法包括以下步骤:S1:在暂态基板的外延层上形成阵列排布的倒梯形金属层;S2:在倒梯形金属层的下方形成微型发光二极管;S3:转移头将顶部带有倒梯形金属层的微型发光二极管转移至显示背板的第二电极上;S4:形成位于微型发光二极管顶部的第一开孔和位于显示背板上的第一电极顶部的第二开孔,在第一开孔和第二开孔覆盖金属氧化物层,微型发光二极管与第一电极导通。本发明通过事先制备一个位于微型发光二极管上方的倒梯形金属层,便于在制备微型发光二极管侧壁保护层的同时也能在微型发光二极管顶部形成开孔。
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公开(公告)号:CN111864016A
公开(公告)日:2020-10-30
申请号:CN202010614937.3
申请日:2020-06-30
Applicant: 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司
IPC: H01L33/00
Abstract: 本发明提出一种微型发光二极管的制造方法,涉及微型发光二极管领域,本发明通过对外延层先进行部分刻蚀,再去除外延层上的光阻,然后继续对外延层刻蚀形成微型发光二极管的方法,解决了微型发光二极管在制作过程中容易发生位置偏移的问题,提高了Micro LED制造完成后的位置准确性。
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公开(公告)号:CN110444648A
公开(公告)日:2019-11-12
申请号:CN201910687499.0
申请日:2019-07-29
Applicant: 南京中电熊猫平板显示科技有限公司 , 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 , 南京华东电子信息科技股份有限公司
Abstract: 本发明提出一种微型发光二极管阵列显示背板及其制造方法和修复方法,涉及微型发光二极管的技术领域,所述微型发光二极管阵列显示背板包括:显示背板衬底;位于显示背板衬底上且呈阵列排布的多个凹槽;阵列排布并经过凹槽的多条底部电极;经过凹槽并与底部电极接触的多条微型加热电阻丝;以及位于凹槽内的键合材料和位于键合材料上的微型发光二极管;其中,所述微型加热电阻丝至少部分位于凹槽内、部分位于显示背板衬底上,凹槽内的底部电极位于所述微型加热电阻丝的下方;当微型发光二极管损坏时,微型加热电阻丝对键合材料进行加热熔融后可以转移走损坏的微型发光二极管。
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公开(公告)号:CN112635355A
公开(公告)日:2021-04-09
申请号:CN202011370496.3
申请日:2020-11-30
Applicant: 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/683 , H01L27/15 , G09F9/33
Abstract: 本发明提供一种转移装置、显示背板、Micro LED器件及其制造方法,转移装置包括转移基板、位于转移基板上且阵列设置的转移勾臂基座以及固定在转移勾臂基座上且与转移基板平行设置的转移勾臂。本发明转移装置不需要重新加工,可以重复使用;在转移过程中不存在残胶风险,且转移装置受Micro LED器件的金属键合层和缓冲层的附着力的影响较小,转移成功率高。
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公开(公告)号:CN110444648B
公开(公告)日:2020-09-04
申请号:CN201910687499.0
申请日:2019-07-29
Applicant: 南京中电熊猫平板显示科技有限公司 , 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 , 南京华东电子信息科技股份有限公司
Abstract: 本发明提出一种微型发光二极管阵列显示背板及其制造方法和修复方法,涉及微型发光二极管的技术领域,所述微型发光二极管阵列显示背板包括:显示背板衬底;位于显示背板衬底上且呈阵列排布的多个凹槽;阵列排布并经过凹槽的多条底部电极;经过凹槽并与底部电极接触的多条微型加热电阻丝;以及位于凹槽内的键合材料和位于键合材料上的微型发光二极管;其中,所述微型加热电阻丝至少部分位于凹槽内、部分位于显示背板衬底上,凹槽内的底部电极位于所述微型加热电阻丝的下方;当微型发光二极管损坏时,微型加热电阻丝对键合材料进行加热熔融后可以转移走损坏的微型发光二极管。
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公开(公告)号:CN110416379A
公开(公告)日:2019-11-05
申请号:CN201910643177.6
申请日:2019-07-17
Applicant: 南京中电熊猫平板显示科技有限公司 , 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 , 南京华东电子信息科技股份有限公司
IPC: H01L33/44 , H01L25/075 , H01L21/683
Abstract: 本发明提供一种微型发光二极管器件、显示器及其制造方法,微型发光二极管器件包括暂态基板、覆盖所述暂态基板的黏着层、位于所述黏着层的保护层、位于所述保护层上的多个金属电极层以及位于每个金属电极层上的微型发光二极管。本发明通过在黏着层上增设一层保护层,保护层可以保护黏着层不会在微型发光二极管刻蚀、剥离、清洗等过程中被药液侵蚀,防止黏着层出现鼓起、失黏;此外,由于保护层与金属电极层之间的附着力小于微型发光二极管与金属电极层之间附着力,降低了对黏着层的要求,黏着层可以使用多种胶材质,省去了传统制造中黏着层解黏步骤。
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