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公开(公告)号：CN108359942B
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN201810263024.4
申请日：2018-03-28
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种类金刚石涂层的制备方法，包括以下步骤：S1：利用气体离子源对基体表面进行高低能交替清洗；S2：以碳靶为阴极，利用磁过滤沉积技术在所述基体上进行类金刚石涂层的沉积；该方法沉积速率高，成本低，能实现大批量生产；S3：利用激光器对类金刚石涂层进行表面刻蚀，刻蚀间隔为2‑10微米；S4：利用气体离子源对图形化类金刚石膜进行表面处理。采用该方法制备的涂层为四面体非晶形碳高sp3和低sp3含量交替变化结构；该涂层具备高耐磨损性能，比含氢类金刚石、高sp3含量类金刚石以及低sp3含量类金刚石具备更高的抗裂纹生长能力以及抗摩擦磨损性能。
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公开(公告)号：CN110993886A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201911366423.4
申请日：2019-12-26
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明涉及一种锂电池集流体的制备装置，用于在聚合物表面制备集流体，包括：真空腔室上开设有第一法兰接口以及第二法兰接口；离子源模块设于第一法兰接口上；磁过滤模块设于第二法兰接口上；每个转轴均设于真空腔室中，每个转轴的形状均为中空圆环柱，每个转轴均与聚合物接触，每个转轴均用于传送聚合物通过真空腔室。本发明通过大幅降低集流体制备过程中对材料处理难度，在物体上覆盖沉积金属离子实现集流体的制备，大幅降低制成的集流体厚度，实现对6微米以下的集流体的制备，不需对铜箔进行压延处理，制备的集流体硬度与韧度均衡，所以不易撕裂、破损，由此，本发明制备的集流体可以批量生产，成品率高，在表面打孔时也不易破损。
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公开(公告)号：CN110923630A
公开(公告)日：2020-03-27
申请号：CN201911252427.X
申请日：2019-12-09
Applicant: 北京师范大学 , 稳力(广东)科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种超高速电机轴承表面处理方法，包括以下步骤：1)表面喷砂处理：对轴承进行干喷表面处理，处理后表面粗糙度Ra不大于0.5；2)高温下气体刻蚀：利用真空腔室对轴承进行进一步表面处理，真空腔室内温度为0-650℃；3)喷涂聚合物纳米颗粒涂层：对轴承基体表面喷涂纳米复合涂层；4)抛光处理；5)离子束沉积超硬超韧涂层：利用低能磁过滤沉积技术对轴承基体进行表面沉积，以TiSi靶为阴极材料，起弧电流为100-140A，沉积时通入乙炔和氮气，乙炔和氮气的比值大于4：1。本发明通过采用耦合气体离子源技术、离子注入技术、磁过滤沉积技术以及热喷涂技术对轴承进行表面处理，以提高超高速电机的起停次数等关键技术指标。
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公开(公告)号：CN109097744A
公开(公告)日：2018-12-28
申请号：CN201811090717.4
申请日：2018-09-19
Applicant: 北京师范大学
IPC: C23C14/32
Abstract: 本发明公开了一种脉冲磁过滤装置，包括，脉冲阴极弧头、引出电极、聚焦直管、磁过滤管、栅网以及射频四级杆过滤器。通过实施本发明，到达镀膜工件表面的离子方向性好，同时离子的电荷态相同，非常适合单晶或多晶膜层的精细化调控生长，同时通过控制四级杆过滤器射频频率可方便实现不同价态离子膜层的选择性精确镀制。本发明的脉冲磁过滤装置在超细、超微芯片或者晶圆种晶制备方面有着广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN109082635A
公开(公告)日：2018-12-25
申请号：CN201811091114.6
申请日：2018-09-19
Applicant: 北京师范大学
IPC: C23C14/32
Abstract: 本发明公开了一种大面积脉冲磁过滤装置，该装置包括：脉冲阴极弧头、引出电极、聚焦直管、磁过滤管道以及扩展管道。通过实施本发明，离子束斑的形状发生明显的改变，由原来的圆形束斑变成长条形束斑，束斑尺寸最大可为60mm×260mm，大大提高了离子束斑的纵向宽度，在长条形部件表面处理时有着非常明显的优势。同时本发明的大面积脉冲磁过滤装置能够实现导电性差点阴极材料膜层的镀制。通过引出电极和聚焦电极的配合使用能使引出束流大大增加，同时在扩散管道和磁过滤管道线包电流的配合下能大幅展开离子束斑尺寸，在相同束流强度下能够大大增加阴极靶材的寿命。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107249257A
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：CN201710638255.4
申请日：2017-07-31
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开了新型环保的IC载板制备方法，对基底清洗后在其表面进行离子注入表面金属化，通过两种方法进行用化学镀铜和电镀铜技术在注入层表面镀得铜层；在铜层上涂覆一层正/负性光刻胶，再利用掩模版并经过曝光、显影等处理得到电路图形；最后将芯片等元件装在载板上并封装，再把整个IC载板镶嵌在电路板上。本发明提供的方法中把电镀过程与电解过程组成一个循环，或者仅仅对电路图形部分注入和电镀，因此极大的减少了对环境的污染并提高了金属铜的利用率。同时高精密、小体积、超薄的IC载板的设计不仅优化了电路图形进一步提高了电路板整体性能，也由于陶瓷基板的平整光滑，从而很好的解决了芯片、电阻和电容等元件对基板平整性要求高的问题。
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公开(公告)号：CN107248490A
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：CN201710368331.4
申请日：2017-05-23
Applicant: 北京师范大学
IPC: H01J37/08 , H01J37/147 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/08 , H01J37/147 , H01J37/3171
Abstract: 本发明公开了一种新型的离子源引出‑加速电极结构，其中，引出电极由圆孔型引出设计为等宽的长条形引出形状，同时加速电极之间的距离不再恒定，设计为连续变化的引出间距，即加速电极之间的距离由5mm变为可变区间3‑7mm。通过实施本发明，离子束斑的形状发生明显的改变，由原来的圆形束斑变成长条形束斑，束斑尺寸可为(100‑200mm)×(300‑800mm)，大大提高了离子束斑的纵向宽度，在处理长条形工件时有着非常明显的优势。同时，通过引出‑加速电极的改变离子束流大大增加，在相同束流强度下能够大大增加阴极靶材的寿命。
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公开(公告)号：CN107142478A
公开(公告)日：2017-09-08
申请号：CN201710316678.4
申请日：2017-05-08
Applicant: 北京师范大学
CPC classification number: C23C28/343 , C23C14/16 , C23C14/325 , C23C14/48 , C23C16/278 , C23C28/321
Abstract: 本发明公开了一种机械设备关键部件表面耐腐蚀耐磨损涂层的方法，其中，制备该涂层方法包括：采用霍尔离子源在500℃以上环境下用氮离子进行轰击，产生表面强化效应提高基材致密度，紧接着采用金属真空蒸汽离子源方法(MEVVA)，在基材表面注入一层能提高膜基结合力的金属″钉扎层″；在所述的金属″钉扎层″之上，采用磁过滤阴极真空弧沉积方法(FCVA)，在进气口通入100‑250sccm的乙炔，基材表面沉积获得总厚度为1‑10微米的多种纳米晶混合层。通过实施本发明，在关键部件上沉积此类涂层能够很好的保护机械设备关键部件，因其多种纳米晶相互协同作用，能够有效的防止其因环境变化而带来摩擦损失和化学腐蚀损失，从而影响设备的稳定性、精度以及服役寿命。
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公开(公告)号：CN107130224A
公开(公告)日：2017-09-05
申请号：CN201710368145.0
申请日：2017-05-23
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种核聚变关键部件抗辐射涂层的方法，其中，制备该抗辐射涂层方法包括：采用考夫曼源对基材进行表面活化处理，随后利用金属真空蒸汽离子源方法(MEVVA)，在基材表面注入一层能提高膜基结合力的金属″钉扎层″；在所述的金属″钉扎层″之上，采用磁过滤阴极真空弧沉积方法(FCVA)沉积合金应力释放层，紧接着采用磁过滤阴极真空弧沉积方法(FCVA)以及金属真空蒸汽离子源同时工作，在进气口通入10‑30sccm的氮气和50‑100sccm的乙炔，在基材表面沉积总厚度为1‑50微米的多相镶嵌的合金/氮化物/碳化物碳基涂层。该发明中磁过滤沉积系统、金属真空蒸汽离子源系统所用阴极为一定配比的四元合金靶材。通过实施本发明，在关键部件上沉积多相镶嵌的合金/氮化物/碳化物碳基涂层具有很好的抗辐射能力，防止在聚变堆中其因氦离子轰击引起发泡和脱落带来严重的表面腐蚀，影响服役寿命。
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公开(公告)号：CN107130223A
公开(公告)日：2017-09-05
申请号：CN201710316783.8
申请日：2017-05-08
Applicant: 北京师范大学
CPC classification number: C23C14/48 , C23C14/0605 , C23C14/0688 , C23C14/16 , C23C14/325
Abstract: 本发明公开了一种机械设备关键部件表面结合力优越以及超抵摩擦系数、自适应环境的多相混合固体润滑涂层的方法，其中，制备该涂层方法包括：采用金属真空蒸汽离子源方法(MEVVA)，在基材表面注入一层能提高膜基结合力的金属″钉扎层″；在所述″钉扎层″之上，采用磁过滤阴极真空弧沉积方法(FCVA)沉积合金应力释放层，紧接着采用FCVA方法以及MEVVA同时工作，在进气口通入100‑250sccm的乙炔以及30‑80sccm的硫化氢气体，在基材表面沉积总厚度为1‑10微米的多相混合固体润滑涂层。通过实施本发明，在关键部件上沉积多相混合固体润滑涂层能够很好的保护机械设备的关键部件，防止其因环境变化而带来摩擦系数急剧变化从而影响设备的稳定性、精度以及服役寿命。
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