精密气浮位移平台
    51.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105252505B

    公开(公告)日:2017-04-26

    申请号:CN201510851125.X

    申请日:2015-11-30

    Abstract: 一种精密气浮位移平台,在基座上固定有相互平行的两根纵向导轨,两根横向导轨的两端通过纵向滑块滑动连接在纵向导轨上;矩形移动框架的两端各通过一横向滑块滑动连接在横向导轨上;一侧的两个纵向滑块的外侧通过封板相互连接,在封板的外侧装有摩擦轮横向驱动装置,通过横向推杆与该矩形移动框架对应的边连接;在该基座的上面装有摩擦轮纵向驱动装置,通过纵向推杆与一根横向导轨的外侧中部连接;在横向滑块的下面与基座之间设有卸载气浮装置。本发明的优点是:运动机构采用井字形高精度气浮导轨实现XY轴精密导向,在平台负载主体与大理石之间设置卸载气浮装置,减小导轨负载,增大平台的承载能力;同时加入摩擦轮驱动机构,提高驱动平稳性。

    一种纳米步进样品扫描计量型扫描电子显微镜

    公开(公告)号:CN105353170A

    公开(公告)日:2016-02-24

    申请号:CN201510873126.4

    申请日:2015-12-04

    CPC classification number: G01Q30/20 G01Q30/02

    Abstract: 本发明涉及一种纳米步进样品扫描计量型扫描电子显微镜,二维激光干涉仪包括两个干涉仪,干涉仪分别位于测量样品在X方向和Y方向的位置,干涉仪的光源通过光纤从激光器引入,穿过玻璃窗的真空窗口片,在电镜内分成两束,分别入射到两个干涉镜;超声电机粗调位移台做扫描运动时,一个出射干涉光经真空窗入射到光电探测器作为位移台X轴位移数据信号;另一束干涉光经平面反射镜反射后入射靠近舱门的干涉仪,出射干涉光由另一个探测器接收作为位移台Y轴位移数据信号;所述X、Y轴位移数据配合电镜采集样品表面由电子束激发的二次电子信号,得到经过激光干涉仪溯源的测量数据。提供一种能够将其测量值直接溯源到米定义国家基准的标准的电子显微镜。

    远程检测监控系统及方法

    公开(公告)号:CN117579609A

    公开(公告)日:2024-02-20

    申请号:CN202311585462.X

    申请日:2023-11-24

    Abstract: 本发明提供远程检测监控系统及方法,包括云平台、第一智能终端、第二智能终端、至少一个第三智能终端,第一智能终端和第二智能终端与云平台的通信协议头域不同,第一智能终端和第二智能终端独占访问云平台,第二智能终端和第三智能终端全角度监控远程检测,第一智能终端与检测仪器连接并显示云平台发送的动态图形化信息,第二智能终端扫描上述动态图形化信息、拍摄检测人员的人脸信息和实时将定位信息发送给云平台,第三智能终端实时监控检测仪器、第一智能终端显示的动态图形化信息和检测人员的人脸信息,本发明通过检测人员、检测仪器、检测地点的多维横向绑定和纵向交叉验证,保证远程检测过程中检测人员、检测仪器和检测地点的一致性。

    颗粒粒径测量方法、装置、计算机设备和存储介质

    公开(公告)号:CN111721677B

    公开(公告)日:2023-06-13

    申请号:CN202010460736.2

    申请日:2020-05-27

    Abstract: 本申请涉及一种颗粒粒径测量方法、装置、计算机设备和存储介质。基于多个角度与多个角度颗粒粒径、多个样品浓度与多个第一颗粒粒径,分别对多个角度颗粒粒径、多浓度条件下颗粒粒径采用多项式拟合的数学方法进行拟合,获得颗粒粒径随角度、浓度变化的趋势,进行回归分析预测,可以根据实际样本数据建立自变量与因变量的关系,进而预测出0°散射角和0样品浓度条件下对应的颗粒粒径。通过所述颗粒粒径测量方法可以消除颗粒间长程作用力、大颗粒自身散射信号互相干涉带来的粒径测量误差,解决了单一角度测量无法分析和消除误差的问题,并且解决了不同仪器、不同浓度和类型样品测量结果偏差大的问题。

    一种切换式干涉零光程定位装置及方法

    公开(公告)号:CN115031857A

    公开(公告)日:2022-09-09

    申请号:CN202210821158.X

    申请日:2022-07-13

    Abstract: 本发明公开了一种切换式干涉零光程定位装置,涉及光学用机械装置技术领域,包括光源、分束镜、静止反射镜、运动反射镜和光电探测器,所述光源能够产生准直的红外光,在所述光源和所述分束镜之间设置有滤波片切换机构,所述滤波片切换机构用于将不同带宽的红外带通滤波片、可见光截止滤波片或红外光源切换至红外光路位置,还提供了一种切换式干涉零光程定位方法,利用红外带通滤波片改变透过光谱的范围,截止滤波片作用在于通过红外光同时排除可见光在干涉图中的干扰,通过改变透过滤波片的光谱宽度,可以实现更改干涉相干长度的范围,由于零光程差位置在相干长度范围内,可以快速寻找和定位干涉零光程差位置。

Patent Agency Ranking