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公开(公告)号：CN1904712A
公开(公告)日：2007-01-31
申请号：CN200610088982.X
申请日：2006-07-28
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 一种基于遗传算法的自适应校正激光器像差的装置，由主振荡激光器，光学隔离器，功率放大器，P方向偏振片，1/4波片，平行光管，变形镜，功率计，变密度衰减盘，分光镜，光电探测器，高压放大器，数据采集卡，聚焦透镜，小孔光阑，主控计算机以及基于遗传算法的控制软件系统组成。本发明能够自适应地校正激光器系统的动态和静态像差，尤其适合校正静态像差和变化不快的准静态像差；能在不降低激光器输出功率的情况下有效地改善激光器的输出光束质量，提高输出光束的远场光斑能量集中度，扩大这种由主振荡激光器加功率放大器(MOPA)的固体激光器的应用领域。
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公开(公告)号：CN112430805A
公开(公告)日：2021-03-02
申请号：CN202011320038.9
申请日：2020-11-23
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: C23C16/455 , C23C16/52
Abstract: 本发明公开了一种原子层沉积镀膜机的真空控制系统，涉及真空镀膜技术领域，该真空控制系统包括通过管道依次连接的A热阱、镀膜真空室、A控制组件、B热阱、B控制组件、分子泵，A热阱和分子泵均连接有前级真空泵；在所述A热阱与镀膜真空室之间设置有A阀门。本发明的真空控制系统和对应的控制方法一方面能够有效地提高原子层沉积镀膜机的本底真空度和镀膜真空度，从而减少残余物理吸附气体分子对原子层沉积薄膜性质的影响，另一方面通过B热阱、A控制组件以及前级真空泵的配合，使分子泵仅用于获得本底真空，从而提高分子泵的使用效率和使用寿命。
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公开(公告)号：CN111006854A
公开(公告)日：2020-04-14
申请号：CN201911351518.9
申请日：2019-12-25
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明提供了一种微纳结构透镜衍射效率测试装置与方法，包括：激光光束经过扩束准直系统形成平行光束；分光单元将平行光束分为两束，一束进入参考探测系统，一束垂直入射待测微纳结构透镜；测试探测系统设置在待测透镜焦面位置，采集衍射光能量；为提高测量精度，采用双光路方式，利用参考探测系统采集的信号实时修正测试光束的光能量，抑制光源功率波动的影响。将扩束准直系统、分束单元集成在电控二维运动机构的光学台面上，使出射光束随光学台面移动对待测微纳结构透镜进行扫描，满足对微纳结构透镜全口径范围的衍射效率测试。
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公开(公告)号：CN106569325B
公开(公告)日：2020-01-07
申请号：CN201610952630.8
申请日：2016-10-27
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明提供了一种基于可动光学元件的消像差薄膜望远系统，该系统按照光路依次包括薄膜主镜、视场光阑、目镜、倾斜镜、变形镜、成像物镜、成像CCD以及自适应光学控制系统。首先通过哈特曼传感器替代光路中的成像物镜、成像CCD，然后用理想的激光作为入射光,利用哈特曼传感器探测出薄膜望远系统的固有像差，之后通过探测到的像差，控制倾斜镜和变形镜，对望远镜系统进行面型补偿，达到消系统像差的目的，并记录此时的控制电压，最后，将成像物镜、成像CCD移入光路，通过加载记录的静态电压，即可完成对薄膜望远系统的像差补偿，本发明简单可靠、易于实现，可显著提高薄膜望远系统的成像质量。
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公开(公告)号：CN104176686B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201410357512.3
申请日：2014-07-25
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: B66F13/00
Abstract: 本发明涉及一种基于差动螺旋传动与摇杆滑块传动的连杆升降及翻转装置，差动螺杆中心穿过丝杆轴座，差动螺杆两端头与左右两个轴承组件配合装配，差动螺杆的左右两段螺纹分别旋入左驱动螺母、右驱动螺母，组成差动螺旋机构。升降滑动导轨的上台面与滑块的下台面配合装配。轴组件连接滑块与翻转架，翻转连杆一端与翻转架固定，另一端与支撑架用固定销轴及销卡板固定或解脱。连杆、滑块与支撑架组成摇杆滑块机构，摇杆摆动带动滑块沿着升降滑动导轨上下运动。滑块、翻转架、翻转连杆与支撑架组成摇杆滑块机构，滑块上下直线运动带动翻转架进行翻转运动。本发明同时实现升降与翻转两种功能，结构更紧凑，节省有限空间，操作方便，稳定性好。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105719704A
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201610229216.4
申请日：2016-04-13
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种空间大角度精密切换及锁定装置，铰链座固定在角度支座的斜面上，翻转螺杆中心穿过螺杆转轴座，与固定在连轴套上的螺纹套组成滑动螺旋机构。铰链座、上连杆A、上连杆B与支撑架及铰链座、下连杆A、下连杆B与支撑架组成两组平行铰链四杆机构。翻转螺杆螺旋运动带动上下连杆运动，而连杆运动带动支撑架进行张开或收缩翻转运动，实现装置角度位置的变换。弧形锁定座的定位基面安装在支撑架基面上，与支撑架一起绕轴线旋转，锁紧螺钉在弧形锁定座圆弧线上滑动，实现锁紧与解锁。本发明集成螺旋机构与铰链四杆机构实现空间角度切换功能，结构紧凑、角度范围大、精度高；运动到位后三重锁紧结构，稳定性好。
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公开(公告)号：CN105017534A
公开(公告)日：2015-11-04
申请号：CN201510494892.X
申请日：2015-08-13
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种可溶性无色透明低热膨胀系数的聚酰胺酰亚胺薄膜制备方法，所制备的薄膜以含氟二胺单体为二胺单体、以偏苯三酸酐酰氯为酸酐单体，利用三甲基氯硅烷活化机理在简易温和的合成条件下一步制备了聚酰胺酰亚胺薄膜。本发明制备的聚酰胺酰亚胺薄膜具有较高的尺寸稳定性(CTE约为5-15ppm/℃)，良好的耐温性能(Tg约为300℃)，在可见光波段透过率约为90％，且可以溶解在非质子极性溶剂中，便于加工处理，其综合性能满足微电子及光电子领域部分器件的材料性能要求。
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公开(公告)号：CN104650376A
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201510108830.0
申请日：2015-03-12
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种以耐高温聚合物薄膜为基底的菲涅尔透镜制作方法，结合光学薄膜制备工艺中所使用的成膜基板表面刻蚀有负向互补菲涅尔结构，在制备高玻璃化转变温度(Tg)光学级薄膜的同时，将菲涅尔图案结构转印到薄膜表面，实现一种以耐高温高分子薄膜为基底的菲涅尔透镜制作方法，大大简化了该类薄膜表面菲涅尔结构加工工艺，节省大量人力物力，降低制作成本；轮廓精度高；特别适合于一类耐高温的高Tg聚合物光学薄膜材料，是一种温和的菲涅尔结构成型方法。
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公开(公告)号：CN1769855B
公开(公告)日：2010-06-30
申请号：CN200510086321.9
申请日：2005-08-31
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 一种新颖的正支共焦非稳腔腔镜失调监测方法，特征在于：监测系统由He-Ne光源、非稳腔腔镜、分光镜、聚焦透镜、光束质心探测CCD、光束匹配望远镜、步进电机及其控制器、H-S波前传感器、图像采集卡、自准直仪和数据采集处理计算机组成，其中正支共焦非稳腔由45°反射镜组、耦合输出镜，凸面反射镜和凹面反射镜构成。采用本发明所述腔镜失调监测新方法能非常方便地判断究竟是腔内哪一类光学元件的失调，并准确计算出失调量。并且腔镜失调质心监测软件还具有实时性好、便于实施对腔内光学元件失调量进行准确探测的优点。
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公开(公告)号：CN1769855A
公开(公告)日：2006-05-10
申请号：CN200510086321.9
申请日：2005-08-31
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 一种新颖的正支共焦非稳腔腔镜失调监测方法，特征在于：监测系统由He－Ne光源、非稳腔腔镜、分光镜、聚焦透镜、光束质心探测CCD、光束匹配望远镜、步进电机及其控制器、H－S波前传感器、图像采集卡、自准直仪和数据采集处理计算机组成，其中正支共焦非稳腔由45°反射镜组、耦合输出镜，凸面反射镜和凹面反射镜构成。采用本发明所述腔镜失调监测新方法能非常方便地判断究竟是腔内哪一类光学元件的失调，并准确计算出失调量。并且腔镜失调质心监测软件还具有实时性好、便于实施对腔内光学元件失调量进行准确探测的优点。
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