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公开(公告)号：CN107533293B
公开(公告)日：2021-06-22
申请号：CN201680023800.2
申请日：2016-05-02
Applicant: 株式会社东进世美肯
Abstract: 根据本发明的一实施例的正型感光性树脂组合物包含a)下述化学式1所表示的共聚物、b‑1)肟系光产酸剂、b‑2)三嗪系光产酸剂、c)有机碱、及d)溶剂。下述化学式1中，下述R1为缩醛和缩酮中的任一种，下述x+y+z＝1。
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公开(公告)号：CN108073042A
公开(公告)日：2018-05-25
申请号：CN201711098303.1
申请日：2017-11-09
Applicant: 株式会社东进世美肯
IPC: G03F7/039
CPC classification number: G03F7/039
Abstract: 本发明涉及一种正型光敏树脂组合物。更具体地，本发明涉及一种具有优异的灵敏度、分辨率、图案轮廓、曝光后延迟裕度(PED margin)等，尤其是因为具有亲油性的巨大的发色团结构，对蚀刻液渗透的排斥力及耐热性优异，并且使用因含长烷基链的酸结构而容易控制酸扩散速度的光致产酸剂，从而湿法蚀刻粘合力及耐热性、分散度优异的正型光敏树脂组合物。因此，本发明的正型光敏树脂组合物能够用于显示器、半导体、微机电系统(MEMS)、电子纸(E-paper)等伴有湿法蚀刻工艺的元件，尤其适用于薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)、有机发光二极管(OLED)或有机薄膜晶体管(O-TFT)等大面积高分辨率显示器。
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公开(公告)号：CN105759568A
公开(公告)日：2016-07-13
申请号：CN201510940417.0
申请日：2015-12-16
CPC classification number: G03F7/039 , C08K5/23 , C08K5/42 , G03F7/0233 , G03F7/038 , H01L27/3246 , H01L27/3248 , H01L51/0043 , H01L51/0094 , C08L83/04 , G03F7/0757
Abstract: 阳性光敏硅氧烷树脂组合物包括：a)通过在催化剂下进行i)至少一种由下列化学式1表示的反应性硅烷和ii)至少一种由下列化学式2表示的4-官能反应性硅烷的水解和缩合聚合而获得的硅氧烷类共聚物，所述共聚物具有1,000至20,000的聚苯乙烯转换的重均分子量Mw；b)1,2-二叠氮醌化合物；和c)溶剂，(R1)nSi(R2)4-n [化学式1]Si(R3)4 [化学式2]其中R1可各自独立地为具有1至10个碳原子的烷基和具有6至15个碳原子的芳基中的任一种，R2可以各自独立地为具有1至4个碳原子的烷氧基、苯氧基和乙酰氧基中的任一种，R3可各自独立地为具有1至4个碳原子的烷氧基、苯氧基和乙酰氧基中的任一种，且n可以为1至3的自然数。
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公开(公告)号：CN103052916B
公开(公告)日：2015-08-12
申请号：CN201180037435.8
申请日：2011-07-15
Applicant: 株式会社东进世美肯
CPC classification number: G03F7/032 , G03F7/031 , G03F7/033 , G03F7/037 , G03F7/0757
Abstract: 本发明涉及一种感应长波长UV的负型感光性树脂组合物，尤其涉及一种包含a）i)丙烯酸类共聚物、ii）聚酰亚胺类共聚物、iii)硅氧烷类共聚物中的单独或者混合共聚物；b）光引发剂；c）特定结构的吖啶类光敏剂（Photosensitizer）的负型感光性树脂组合物。根据本发明的负型感光性树脂组合物，其分辨率、透射率、耐热变色性、粘接力等优秀，尤其在405nm～435nm的UV长波长中敏感度优秀，因而适用于GH-line专用曝光机或者下一代数码曝光机。
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公开(公告)号：CN101334587B
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN200810127247.4
申请日：2008-06-30
Applicant: 株式会社东进世美肯
Abstract: 本发明提供有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物，该组合物应用于如有机薄膜晶体管、利用了有机薄膜晶体管的柔性显示屏和OLED这样的需要低温固化工序的显示屏的层间绝缘膜和保护膜时，能够在热处理工序时将残余溶剂的量降至最少，同时因固化度高而确保耐热性和耐化学稳定性。本发明涉及的有机薄膜晶体管用感光性树脂组合物的特征在于，所述组合物含有：a)玻璃化转变温度(Tg)或熔融温度为90℃～140℃的丙烯酸系共聚物、线型酚醛树脂或聚酰亚胺树脂；b)1，2-醌二叠氮化合物；和c)溶剂，该溶剂的沸点为90℃～150℃，且将n-BA(乙酸正丁酯)的蒸发速率定设为1时，该溶剂的蒸发速率为0.3～1.0。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101355056B
公开(公告)日：2014-02-26
申请号：CN200810134043.3
申请日：2008-07-22
CPC classification number: H01L27/1288 , H01L27/1214
Abstract: 本发明涉及制造薄膜晶体管基板的方法和用在该基板中的感光组合物。公开了一种制造具有高的感光度、耐热性、抗冲击性的薄膜晶体管基板的方法以及为其所用的感光组合物，该方法包括在绝缘基板上形成数据线路，通过涂布感光组合物而在数据线路上形成有机绝缘膜，该感光组合物包含三元共聚物，其中该三元共聚物得自以下单体：不饱和羧酸、不饱和羧酸酐、或其混合物，不饱和的含有环氧基团的化合物、以及烯属化合物。
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公开(公告)号：CN101825843B
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201010122249.1
申请日：2010-03-02
Applicant: 株式会社东进世美肯
CPC classification number: G03F7/031 , G02F1/133345
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物，其用于TFT-LCD的层间有机绝缘膜的形成，在光取向用液晶工序中进行过曝光时能够改善液晶偏置现象，而且容易调节图案的分辨率，特别适合层间有机绝缘膜的平坦化膜的形成。本发明的感光性树脂组合物的特征是，是用于TFT-LCD用层间有机绝缘膜的形成的感光性树脂组合物，含有0.01至20重量％的UV稳定剂或者自由基清除剂。
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公开(公告)号：CN101034260B
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN200710086075.6
申请日：2007-03-08
Applicant: 株式会社东进世美肯
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物，该感光性树脂组合物的灵敏度、绝缘性等各种性能优异，特别是具有优异的耐热性，因而可以增加后工序中的可靠性和寿命；此外，可以利用本发明所涉及的一种感光性树脂组合物同时形成绝缘体和隔离体这2种方式的图案，可以缩短工序时间，同时还显著地提高面板上的开口率，使其适用于PM-OLED、AM-OLED、AM-LCD、PDP基板的制造工序。本发明所涉及的感光性树脂组合物的特征在于，其含有a)多羟基苯乙烯类树脂、b)1，2-二叠氮醌化合物、c)光酸发生剂、d)三聚氰胺交联剂、和e)溶剂。
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公开(公告)号：CN102246095A
公开(公告)日：2011-11-16
申请号：CN200980149593.5
申请日：2009-12-09
Applicant: 株式会社东进世美肯
IPC: G03F7/039
CPC classification number: G03F7/0757 , G03F7/0233 , G03F7/40
Abstract: 本发明涉及正型感光性有机-无机混合绝缘膜组合物，具体涉及含有低聚硅氧烷化合物的正型感光性有机-无机混合绝缘膜组合物，所述低聚硅氧烷化合物是使i)由化学式1表示的含有1-3个苯基的反应性硅烷和ii)由化学式2表示的4官能反应性硅烷的硅烷单体在催化剂存在下进行水解和缩聚而得到，所述低聚硅氧烷化合物的聚苯乙烯换算重均分子量(Mw)为1,000至2,0000。根据本发明的正型感光性有机-无机混合绝缘膜组合物，可以将现有的SiNx钝化/丙烯酸系感光性有机绝缘膜的双重结构形成为一层(layer)，从而能够带来工序的简化和生产费用的节约，不仅灵敏度、分辨率、工艺裕度、透明性、耐热变色性等性能优异，特别是使低介电常数绝缘膜成为可能，从而能够降低耗电，并消除残像、串扰、以及阈值电压的漂移现象。另外，使优异的耐热性带来的低释气成为可能，从而能够确保优异的面板可靠性。由此可以在各种显示器中不仅能够有用地适用于钝化绝缘膜、栅绝缘膜，而且还能够有用地适用于平坦化膜等。
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公开(公告)号：CN1900821B
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN200610106321.5
申请日：2006-07-19
Applicant: 株式会社东进世美肯
Abstract: 本发明提供了一种有机无机复合感光性树脂组合物，该组合物的粘附力、耐热性、绝缘性、平整性、耐化学性等性能优异，适用于液晶显示元件的成像用材料。本发明的有机无机复合感光性树脂组合物含有：A)选自由周期表内第3、4、5、13族金属氧化物组成的组中的金属氧化物或由类似二元素金属氧化物组成的组中的金属氧化物；B)a)丙烯酸系共聚物；b)光引发剂；c)具有乙烯性不饱和键的多官能性单体；d)含有环氧基或氨基的硅系化合物；e)溶剂。
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