公开(公告)号：CN108073042B

公开(公告)日：2024-01-23

申请号：CN201711098303.1

申请日：2017-11-09

Applicant: 株式会社东进世美肯

Inventor： 金东明 ,  尹赫敏 ,  吕泰勋 ,  金宣炯

IPC: G03F7/039

Abstract: 本发明涉及一种正型光敏树脂组合物。更具体地，本发明涉及一种具有优异的灵敏度、分辨率、图案轮廓、曝光后延迟裕度(PED margin)等，尤其是因为具有亲油性的巨大的发色团结构，对蚀刻液渗透的排斥力及耐热性优异，并且使用因含长烷基链的酸结构而容易控制酸扩散速度的光致产酸剂，从而湿法蚀刻粘合力及耐热性、分散度优异的正型光敏树脂组合物。因此，本发明的正型光敏树脂组合物能够用于显示器、半导体、微机电系统(MEMS)、电子纸(E‑paper)等伴有湿法蚀刻工艺的元件，尤其适用于薄膜晶体管液晶显示器(TFT‑LCD)、有机发光二极管(OLED)或有机薄膜晶体管(O‑TFT)等大面积高分辨率显示器。

公开(公告)号：CN108073042A

公开(公告)日：2018-05-25

申请号：CN201711098303.1

申请日：2017-11-09

Applicant: 株式会社东进世美肯

Inventor： 金东明 ,  尹赫敏 ,  吕泰勋 ,  金宣炯

IPC: G03F7/039

CPC classification number: G03F7/039

Abstract: 本发明涉及一种正型光敏树脂组合物。更具体地，本发明涉及一种具有优异的灵敏度、分辨率、图案轮廓、曝光后延迟裕度(PED margin)等，尤其是因为具有亲油性的巨大的发色团结构，对蚀刻液渗透的排斥力及耐热性优异，并且使用因含长烷基链的酸结构而容易控制酸扩散速度的光致产酸剂，从而湿法蚀刻粘合力及耐热性、分散度优异的正型光敏树脂组合物。因此，本发明的正型光敏树脂组合物能够用于显示器、半导体、微机电系统(MEMS)、电子纸(E-paper)等伴有湿法蚀刻工艺的元件，尤其适用于薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)、有机发光二极管(OLED)或有机薄膜晶体管(O-TFT)等大面积高分辨率显示器。