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公开(公告)号：CN113526452A
公开(公告)日：2021-10-22
申请号：CN202110694517.5
申请日：2021-06-22
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种碳化硅MEMS温压复合式传感器芯片及其制备方法，传感器芯片包括外围压力测量单元和中心温度测量单元；压力测量单元由带凸起岛的碳化硅基底，背面刻蚀有圆形背腔形成压力敏感膜片，凸起岛和压力敏感膜片构成了膜岛结构，在凸起岛之外，压力敏感膜片之内，沿着压力敏感膜片根部圆周对称布置四个压阻条；温度测量单元包括基底凸起岛以及布置在其上的薄膜热电偶；当压力作用在芯片上时，压力测量单元通过半导体压阻效应及惠斯通电桥将压力转变成电信号输出，同时温度测量单元通过金属薄膜热电偶塞贝克效应将温度转换成热电势输出，以此完成高温下压力和温度的实时检测，具有耐高温、微型化、灵敏度高、稳定性好等优点。
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公开(公告)号：CN109900911A
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201910181945.0
申请日：2019-03-11
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N33/68 , G01N33/531 , G01N21/65
Abstract: 本发明公开了一种运用核壳结构纳米星检测肝癌肿瘤标志物AFP的方法，该方法基于表面增强拉曼散射原理，运用核壳结构纳米星作为基底检测肝癌肿瘤标志物甲胎蛋白。先运用种子生长法合成金纳米星，为了增强纳米星的SERS活性，在金纳米星的表面包裹银层形成金银双金属纳米颗粒。通过在其表面包裹硅层提高纳米颗粒的稳定性，然后在硅层表面修饰抗体形成免疫探针。将免疫探针与硝酸纤维素膜上的不同浓度的抗原通过特异性结合，形成三明治结构，从而进行拉曼光谱的检测，实现甲胎蛋白的高灵敏度特异性检测。该检测方法简单，检测的灵敏度较高、检测范围宽，具有较好的应用前景。
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公开(公告)号：CN119263203A
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN202411377951.0
申请日：2024-09-30
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种碳化硅微结构及其受压电阻变化测试平台和搭建方法，其微结构包括具有高掺杂浓度外延层的碳化硅微结构，高掺杂碳化硅微结构为通过N型或P型外延掺杂得到的多层碳化硅外延片，通过微纳工艺制备得到表层微型敏感电阻，每两个微型敏感电阻尺寸相同且其形状中心在碳化硅微结构上同一轴向位置，并且沿着横向呈现垂直分布；针对此高掺杂碳化硅微结构，搭建受压电阻变化测试平台，通过粘贴固定以及导线连接，实现实验室级低成本的碳化硅微结构受压电阻变化测试；本发明可以从实验的角度，定性及定量地研究不同掺杂类型及浓度下的碳化硅外延层受压后的电阻变化特征。
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公开(公告)号：CN115508594B
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202211213693.3
申请日：2022-09-30
Applicant: 西安交通大学 , 渭南木王智能科技股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种晶圆级测试用MEMS探针制备方法，采用微铸造工艺制备探针本体，之后在探针本体表面沉积绝缘隔离层，在绝缘隔离层表面制备屏蔽金属层来完成探针的制备。由于MEMS技术的良好微细加工能力，采用本技术方案可制备一致性好、精度高、抗干扰能力强的，适用于高针数并列测试的探针。
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公开(公告)号：CN109231157B
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN201811318987.6
申请日：2018-11-07
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种四梁圆膜与同轴圆柱结合的压力和位移集成式MEMS传感器，包括上部衬底和与之配合连接的下部衬底；下部衬底包括下部衬底基底层，下部衬底基底层上面设有下部衬底金属欧姆电路层，下部衬底基底层的中部设有下部实心圆柱，下部衬底基底层上方的四周边缘设有四周支承结构；上部衬底包括上部衬底基底层，上部衬底基底层上面设有上部衬底绝缘层，上部衬底绝缘层上设有上部衬底金属欧姆接触电路以及由四根梁和上部中心圆膜构成的上部四梁圆膜结构，梁上设有压阻条；上部中心圆膜下方连接有薄壁圆筒，薄壁圆筒套在下部实心圆柱外，四周支承结构和上部衬底基底层下方连接；本发明实现了压力和位移的集成测量，具有集成度好，测量灵敏度高等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116355457B
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202310112546.5
申请日：2023-02-14
IPC: C09D11/14 , G01B7/16 , B29C64/106 , B33Y10/00 , B33Y70/10 , B33Y80/00 , C09D11/03 , C09D11/033
Abstract: 本发明公开了基于3D打印的图案化互连柔性应变传感器及其制备方法，制备方法包括以下步骤：首先将聚二甲基硅氧烷和固化剂混合均匀后脱泡作为聚二甲基硅氧烷基底层打印油墨，将其打印为聚二甲基硅氧烷基底后加热固化作为聚二甲基硅氧烷基底层；随后将乙基纤维素、丙酮、松油醇和碳纳米管先后按一定比例加入无水乙醇中并混合均匀，将其作为敏感层打印油墨打印蛇形敏感结构和电极，加热后将其作为敏感层；最后通过导线，连接到信号采集设备将信号引出，所得到的柔性应变传感器的应变工作范围大，敏感层不易失效，具有优异的传感性能。
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公开(公告)号：CN117598696A
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202311352516.8
申请日：2023-10-18
Applicant: 西安交通大学
IPC: A61B5/113 , A61B5/11 , A61B5/00 , G06V10/82 , G06N3/0464 , G06N3/0455 , G06N3/09 , G06N3/088
Abstract: 本发明公开了一种基于多源信息融合的呼吸状态实时监测方法和系统，人体呼吸状态监测技术领域，所述方法包括以下步骤：获取呼吸运动信号；将呼吸运动信号转化为三维彩色图片；将所述三维彩色图片输入训练好的深度学习模型，监测呼吸状态。本发明提供的呼吸状态实时监测方法，将原始信号数据图片化，提出采用三维彩色图片表征融合后的呼吸信号数据，相比于单独使用某个信号表征呼吸运动，有利于提高呼吸状态监测的准确性与抗干扰能力，在呼吸状态的监测中具有优越性。
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公开(公告)号：CN113890023B
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202111156374.9
申请日：2021-09-29
Applicant: 西安交通大学 , 国网江苏省电力有限公司经济技术研究院
IPC: H02J3/00 , H02J3/28 , H02J3/46 , G06Q10/0631 , G06Q50/06
Abstract: 本发明公开了一种综合能源微网分布式经济调度优化方法及系统，分析氢储能系统的工作特性，得到电力能流、天然气能流、氢能流能量流动路径；根据氢储能系统的工作特性，建立以综合能源微网运行成本最小化为目标的经济调度优化模型；建立经济调度优化模型的约束条件，包括氢储能系统约束、电力系统约束、天然气系统约束和耦合元件约束；根据经济调度优化模型和约束条件，构建基于交替方向乘子法的分布式求解方法，电力系统经济调度优化子问题与天然气‑氢气经济调度优化子问题进行交替迭代求解后获得满足收敛性条件的最优解，优化经济调度。可以在有限信息交互的情况下实现全局优化。
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公开(公告)号：CN116355457A
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN202310112546.5
申请日：2023-02-14
IPC: C09D11/14 , G01B7/16 , B29C64/106 , B33Y10/00 , B33Y70/10 , B33Y80/00 , C09D11/03 , C09D11/033
Abstract: 本发明公开了基于3D打印的图案化互连柔性应变传感器及其制备方法，制备方法包括以下步骤：首先将聚二甲基硅氧烷和固化剂混合均匀后脱泡作为聚二甲基硅氧烷基底层打印油墨，将其打印为聚二甲基硅氧烷基底后加热固化作为聚二甲基硅氧烷基底层；随后将乙基纤维素、丙酮、松油醇和碳纳米管先后按一定比例加入无水乙醇中并混合均匀，将其作为敏感层打印油墨打印蛇形敏感结构和电极，加热后将其作为敏感层；最后通过导线，连接到信号采集设备将信号引出，所得到的柔性应变传感器的应变工作范围大，敏感层不易失效，具有优异的传感性能。
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公开(公告)号：CN114252838B
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN202111595372.X
申请日：2021-12-23
Applicant: 西安交通大学 , 渭南木王智能科技股份有限公司
IPC: G01R35/02
Abstract: 本发明公开了一种MEMS垂直探针综合测试平台及测试方法，测试平台主要由探针位移台及其驱动装置、测力传感器及模拟焊盘装配板、多路开关电源模块、测力传感器信号采集模块及测试平台整体支承架五个部分构成。该测试平台及方法可实现对探针载流能力、疲劳寿命、工作超程下接触力大小、能否与焊盘进行有效电接触四项性能测试，并可实现对多根探针同时测试。所诉测试平台及测试方法具有成本低、操作简单、测试结果可靠性高的特点。
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