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公开(公告)号:CN112987501A
公开(公告)日:2021-06-18
申请号:CN201911303595.7
申请日:2019-12-17
Applicant: 苏州苏大维格科技集团股份有限公司 , 苏州大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种直写光刻系统和直写光刻方法,其中直写光刻系统包括直写光源、运动机构、中央控制器、光斑图形输入装置以及投影光学装置;运动机构用于带动投影光学装置沿预设路径扫描,并用于发出参考点的位置数据;中央控制器用于根据位置数据读取光斑图形文件序列中对应的光斑图像数据;光斑图形输入装置用于根据光斑图像数据将直写光源提供的起始光束调制生成图形光;投影光学装置用于根据图形光向光刻件的表面投影出变形光斑,并在运动机构的带动下沿预设路径扫描,在扫描过程中光斑图像数据随位置数据而变化,形成预设的可控变形光斑。本发明的直写光刻系统和直写光刻方法实现了复杂表面三维形貌结构的无掩模灰度光刻,并提高了光刻精度和光刻效率。
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公开(公告)号:CN111844735B
公开(公告)日:2024-11-19
申请号:CN201910339444.0
申请日:2019-04-25
Applicant: 苏州苏大维格科技集团股份有限公司 , 苏州大学
IPC: B29C64/135 , B29C64/223 , B29C64/30 , B29C64/321 , G03F7/20 , B33Y10/00 , B33Y30/00 , B33Y40/00 , B33Y40/20
Abstract: 本发明提供一种激光直写和三维打印复合系统及其使用方法,所述复合系统包括传送机构、上料机构、透明支撑板、载物机构和成像机构。所述传送机构用于输送透明薄膜传送带,所述上料机构包括设置于所述透明薄膜传送带的上方的至少一个上料装置,所述透明支撑板可拆卸的设置于机台的投影窗口上方且位于所述透明薄膜传送带的下方,所述透明支撑板设置于机台的投影窗口上时,所述系统运行在三维打印模式,所述透明支撑板移除后,所述系统运行在激光直写模式。所述成像机构位于所述机台的投影窗口下方,用于产生预定投影图案。这样,所述复合系统其既可以实现三维打印,可满足生物医药领域对打印精度的要求,也可以支持激光直写。
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公开(公告)号:CN115527467A
公开(公告)日:2022-12-27
申请号:CN202211148156.5
申请日:2022-05-20
Applicant: 苏州苏大维格科技集团股份有限公司
IPC: G09F19/12
Abstract: 本发明公开一种烫印膜、转移膜、复合纸及转移纸。烫印膜、转移膜、复合纸及转移纸均包含精密微结构层,精密微结构层的表面上设置有精密微结构;烫印膜包括基膜层、精密微结构层、介质层以及热熔胶层;转移膜包括基膜层、精密微结构层以及介质层;复合纸基膜层、精密微结构层、介质层、热熔胶层以及底纸层;转移纸包括精密微结构层、介质层、热熔胶层以及底纸层。本发明设置有精密微结构,精密微结构呈现彩色、立体浮雕、动态光学效果;凹槽的宽度小于30μm,在凹槽中填充微纳级的油墨,更为精细,呈现的图像更为细腻。油墨只是填充在凹槽内,减少了油墨的使用;并且不需要后续再进行印刷,减少了工艺步骤,降低了成本。
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公开(公告)号:CN109407479B
公开(公告)日:2022-12-02
申请号:CN201710713385.X
申请日:2017-08-18
Applicant: 苏州苏大维格科技集团股份有限公司 , 苏州大学
Abstract: 一种激光直写对焦装置,包括微调机构、承载平台和成像系统,微调机构与承载平台相对设置,微调机构包括微调驱动器、活动架和位移传感器,成像系统包括直写镜头,微调驱动器、位移传感器、直写镜头分别与活动架连接。本发明的激光直写对焦装置能保证直写镜头与光刻板的距离在直写镜头的焦深范围内,能解决光刻板厚度变化较大的情况下无法自动对焦的问题。本发明还涉及一种激光直写对焦方法。
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公开(公告)号:CN109521506B
公开(公告)日:2022-08-12
申请号:CN201710850232.X
申请日:2017-09-20
Applicant: 苏州苏大维格科技集团股份有限公司 , 苏州大学
Abstract: 本发明涉及纳米镜片、近眼显示方法及近眼显示装置。所述纳米镜片包括:纳米结构;以及作为所述纳米结构的载体的镜片基底,其中,所述纳米结构呈排布在所述镜片基底上的纳米光栅的形式,所述纳米光栅成夹角分布并且包括用于接收来自微投影系统的图像的入射纳米光栅以及用于向人眼前方出射耦合图像的出射纳米光栅。
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公开(公告)号:CN114639326A
公开(公告)日:2022-06-17
申请号:CN202210548852.9
申请日:2022-05-20
Applicant: 苏州苏大维格科技集团股份有限公司
IPC: G09F19/12
Abstract: 本发明公开一种呈现立体浮雕图像的精密微结构及其制备方法与应用。本发明提供的精密微结构包括:复数个微纳子结构,复数个所述微纳子结构的周期按预设规律排布,用于呈现立体浮雕效果;所述微纳子结构上设置有至少一个凹槽,所述凹槽包含至少两个相对的侧壁和一个底部,所述凹槽内设置有油墨,用于呈现颜色效果。这样,所述精密微结构可以呈现立体浮雕效果和呈现颜色效果。本发明提供了一种精密微结构的制备方法,通过转印固化、填充油墨和清洗的方法,使用的油墨量少。本发明还提供了另一种制备方法,通过网纹辊将油墨附着在模版上,在转印微纳子结构的同时,将油墨一并填充在凹槽中,该方法步骤更为简便,使用的油墨量更少,低碳环保。
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公开(公告)号:CN114147959A
公开(公告)日:2022-03-08
申请号:CN202010931321.9
申请日:2020-09-07
Applicant: 苏州苏大维格科技集团股份有限公司 , 苏州大学
IPC: B29C64/20 , B29C64/386 , B29C64/393 , B29C64/124 , B29C64/268 , G06T17/00 , B33Y30/00 , B33Y50/00 , B33Y50/02
Abstract: 本发明公开了一种连续生长的3D打印方法,该方法包括下列步骤:建模;生成切片,将三维模型在Z轴方向进行切片;转换,将每一切片模型图转换为切片位图;初次数据上传,数据处理模块将前N*M个位图文件上传至N个子内存中;打印,控制模块控制载物台持续匀速移动,同时控制模块根据实际情况控制子内存不断刷新切片位图进行连续打印,每完成前一个子内存中的M个切片位图的打印,控制模块控制下一个子内存刷新切片位图进行打印,同时控制数据传输模块向前一个子内存上传新的M个位图,重复直至K幅切片位图完成打印。本发明还公开了一种3D打印设备,采用上述的连续生长的3D打印方法实现连续打印。通过上述方法,实现连续打印,节省了打印时间。
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公开(公告)号:CN114114477A
公开(公告)日:2022-03-01
申请号:CN202010897334.9
申请日:2020-08-31
Applicant: 苏州苏大维格科技集团股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种微型微透镜阵列匀光结构及其制作方法、TOF镜头及设备,包括基底层,以及形成于所述基底层表面的匀光层,所述匀光层背离所述基底层的表面形成有透镜阵列组,若干个微透镜错位排布形成所述透镜阵列组,所述透镜阵列组在所述匀光层的表面形成连续的面,所述若干个微透镜多组相邻排列,相邻两组形成一个间隔组,相邻两组中的一组的微透镜的曲率半径按照从中间向两端逐渐变大的规律排布,相邻两组中的另一组的微透镜的曲率半径按照从中间向两端逐渐变小的规律排布。本发明所述的匀光结构由不同口径及形状的微透镜组成,破坏微透镜阵列的周期性,使激光阵列通过该匀光结构匀光后消除干涉现象,同时降低纳米压印的加工难度。
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公开(公告)号:CN113552772A
公开(公告)日:2021-10-26
申请号:CN202010325531.3
申请日:2020-04-23
Applicant: 苏州苏大维格科技集团股份有限公司
Abstract: 本申请涉及一种变光阑数据处理方法,如下步骤:获取三维模型;沿三维模型的竖直方向将三维模型分切成M层;将分切后的每一层再沿竖直方向分切成N层,以获取若干层二维图像数据;将N层中的每层二维图像数据转换为单色位图并将其分割成若干等份单元格图像;每个单元格图像的宽度为UnitX,高度为UnitY;对N层中的若干等份单元格图像进行错位重组以形成若干个基础长条带图像数据;将M层中的若干个基础长条带图像数据拼接后形成新的长条带图像数据,并将新的长条带图像数据上载至成像设备进行逐条带扫描光刻;其中,M及N为正整数。本申请的方法在光刻胶曝光成三维模型的过程中,图形不受限,方向不受限,被打印的三维模型的形状也不受限,方便快捷。
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公开(公告)号:CN113515021A
公开(公告)日:2021-10-19
申请号:CN202110667771.6
申请日:2021-03-12
Applicant: 苏州苏大维格科技集团股份有限公司 , 苏州大学
Abstract: 本发明提供一种激光直写光刻机制作的三维微纳形貌结构。所述三维微纳形貌结构包括:基体;形成于所述基体上的至少一个三维微纳形貌单元,其中每个三维微纳形貌单元包括至少一个视觉高点,所述每个三维微纳形貌单元包括复数个从视觉高点开始斜坡形貌斜率按预设规律变化的环带。所述三维微纳形貌结构具有非常逼真的立体视觉。
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