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公开(公告)号：CN104880914A
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201510259584.9
申请日：2015-05-21
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种利用同步辐射大面积快速制备颜色滤波器的方法及装置。本发明利用同步辐射软X射线照射四光栅组，通过挡板滤去其他衍射级次，只保留一级衍射条纹形成干涉图样，对玻璃基底上的光刻胶曝光形成周期性二维孔状微纳结构，通过精确控制样品台的二维平移，实现快速大面积拼接曝光。后续用电子束蒸镀技术将金属蒸镀于孔中，并通过超声清洗机剥离光刻胶实现玻璃基底上二维金属圆柱微纳结构阵列的颜色滤波器制备。本发明具有精度高、速度快、装置结构简单、易于操作等优点。制备出的滤波器具有大面积、偏振无关、超高透射率等特点，在色彩合成图像显示、图像传感器、数码摄像机、投影仪等领域的实际应用中具有重要作用。
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公开(公告)号：CN104614935A
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201510062823.1
申请日：2015-02-06
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种普适高精度微结构制备系统及应用方法。本系统采用独特的气体循环系统和散热系统，结合加热系统、位移系统和监控系统，对样品表面进行高精度微结构制备。编制程序由电脑控制压电陶瓷伸缩的位移系统，精度高；监控系统可对加工过程中的各参数进行全程监控；惰性气体循环系统保证了加工过程中样品表面不易被氧化，大幅度提高样品的制备质量；水冷散热系统使得样品的加工可以在高温下进行，从而提高了样品材料选择的普适性。本系统具有成本低，效率高，速度快，精度高和普适性强等优点，在微结构制备领域具有很大的推广和应用前景。
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公开(公告)号：CN102730624B
公开(公告)日：2014-11-12
申请号：CN201210209387.2
申请日：2012-06-25
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种实时颜色动态调控微器件及其制备和调控方法。利用同步辐射光源在铂层上制备高深宽比的PMMA二维微结构阵列，利用直流磁控溅射在微结构内部沉积锆钛酸铅薄膜层，在微结构的顶部沉积高反射率纳米金属铬层，形成有高度差的上下两层反射层，通过改变铂、铬之间的电压，实时控制两反射层之间的高度差，使器件在自然光条件下呈现出不同的颜色，实现颜色的动态调控。本发明突破了传统微结构阵列深度方向尺寸固定的限制，利用压电薄膜材料的逆压电效应，只需改变外部电压，即可实时控制微结构的深度变化，从而实现无颜料多种色彩的实时动态调控，符合绿色环保的主题，可望在光学、材料学及印刷业、建筑业等领域获得广泛应用。
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公开(公告)号：CN102355158B
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201110295658.6
申请日：2011-09-28
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种激光诱导表面波马达及其驱动方法。基底上设有压电晶片定子，压电晶片定子两端分别固定有第一固定块、第二固定块，压电晶片定子上从上到下顺次设有配重块、第二动子、不锈钢微珠，第二动子中间穿有两根平行的导向杆，导向杆两端分别固定在第一固定块和第二固定块上，压电晶片定子一端上方从上到下顺次设有脉冲激光、聚焦透镜，脉冲激光通过聚焦透镜照射到压电晶片定子上，构成直线型马达。本发明的激光诱导表面波马达实现了真正意义上的激光直接驱动新方法，具有结构简洁、速度快、步距小、推动力（矩）大、无需叉指电极、无需导线连接、不受电磁干扰、可实现非接触控制和遥控、马达主体可微小化等优点。
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公开(公告)号：CN102721833A
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN201210192154.6
申请日：2012-06-12
Applicant: 浙江大学
IPC: G01Q60/24
Abstract: 本发明公开了一种显微监控型可选区原子力显微成像方法及装置。采用将光学显微监控与原子力显微镜（AFM）显微成像相结合以及将AFM扫描器与二维步进微动台相结合的方法，实现AFM扫描区域的显微监控及可选区AFM成像。它具有由激光器、半透半反棱镜、微探针、位置敏感元件、样品、样品台、扫描器、显微物镜、CCD、二维步进微动台等组成的AFM探头，以及由前置放大器、XY扫描与Z反馈控制单元、XYZ高压放大模块、步进控制模块、视频采集模块、计算机及硬件接口等组成的AFM成像与控制系统。本发明的优点是：实现微纳米样品扫描区域的实时监控与选区，可监控光路的调节与对准以及样品与微探针的逼近过程，克服了常规AFM技术在这些方面的随机性、盲目性和局限性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102033308B
公开(公告)日：2012-08-29
申请号：CN201010516545.X
申请日：2010-10-22
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种超高分辨率的光学显微成像方法及装置。采用窄带滤光、环形孔径及暗视场照明相结合的特种照明及显微成像方法，同时设计了不同数值孔径、透过率和滤色特性的环形透光孔径，实现对微纳米尺寸物质的超高分辨率和高对比度的显微成像。它具有LED照明光源、挡光板、环形透光孔、聚光镜、样品台、遮光圆片及显微物镜组成的高分辨率光学显微系统和CCD图像传感器、图像采集卡及计算机组成的显微图像采集、处理系统。本发明的优点是既保持常规光学显微镜的实时、直接、无扫描的成像观测方式，同时具有出色的分辨率和图像对比度。
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公开(公告)号：CN102096190A
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN201110022876.2
申请日：2011-01-20
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种金属光热驱动微开关及其制作方法。本发明采用同步辐射LIGA技术制备了这种金属光热驱动微开关，采用化学溅射法对金属光热驱动微开关的表面进行了发黑处理以减小其对光的反射、增加其对光的吸收。采用激光作为驱动源，将激光束进行准直聚焦后照射到金属光热驱动微开关的驱动臂上，利用金属的光热膨胀效应使金属微开关发生形变，从而实现开关功能。系统包括激光器、聚焦透镜、基底、膨胀臂、触点等部分。本发明的优点是采用LIGA技术制备，微开关精度高，可进行批量生产；可以利用激光直接对微开关进行非接触控制；微开关导电性良好，可直接应用于电路。
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公开(公告)号：CN102033308A
公开(公告)日：2011-04-27
申请号：CN201010516545.X
申请日：2010-10-22
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种超高分辨率的光学显微成像方法及装置。采用窄带滤光、环形孔径及暗视场照明相结合的特种照明及显微成像方法，同时设计了不同数值孔径、透过率和滤色特性的环形透光孔径，实现对微纳米尺寸物质的超高分辨率和高对比度的显微成像。它具有LED照明光源、挡光板、环形透光孔、聚光镜、样品台、遮光圆片及显微物镜组成的高分辨率光学显微系统和CCD图像传感器、图像采集卡及计算机组成的显微图像采集、处理系统。本发明的优点是既保持常规光学显微镜的实时、直接、无扫描的成像观测方式，同时具有出色的分辨率和图像对比度。
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公开(公告)号：CN100587548C
公开(公告)日：2010-02-03
申请号：CN200810059499.8
申请日：2008-01-24
Applicant: 浙江大学
IPC: G02B26/08 , G05B19/048 , G05B11/26
Abstract: 本发明公开了一种微型光热驱动的控制方法及装置。采用激光束照射金属或聚乙烯材料的浅表面产生热区温度分布，使金属或聚乙烯材料产生伸缩，控制激光参数，直接实现对光热驱动机构的驱动。它具有激光控制器，激光束与微型驱动机构的对准定位装置以及光热驱动机构的静态和动态监控装置。本发明的优点是提出一种直接用激光实现机构驱动的新方法，驱动源与驱动机构相互独立，不需导线连接，易于微驱动机构的微小化和集成，调节激光控制器，可输出不同占空比、不同频率、不同功率的激光，从而无线控制驱动器产生不同频率的振动和输出不同大小的驱动力或偏转量，整个过程可通过显微监控系统实时在线观察研究，在方法和技术上均是对微型驱动技术的拓展。
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公开(公告)号：CN100482574C
公开(公告)日：2009-04-29
申请号：CN200610050674.8
申请日：2006-05-11
Applicant: 浙江大学
IPC: B82B3/00
Abstract: 本发明公开了一种三维微结构制备成型方法及系统。三维微结构制备成型系统具有相连接的计算机、D/A接口、低压放大器、高压放大器、微结构加工核心单元，激光器、电源及控制电路。微结构加工核心单元，激光器具有透明有机玻璃平台，液体容器，热塑性材料，液体进口，液体出口，蒸馏水，XY移动平台。本发明可对各种热塑性材料制备微点阵、微柱阵、微线阵、微光学元件、微机械元件、微流体学元件等三维微结构，制备的结构线宽在1～100um量级内可调、纵横比可控(最大6∶1)。可望在微光学技术、微机械、微电子技术、MOEMS及微纳米技术等领域得到广泛应用。
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