利用同步辐射大面积快速制备颜色滤波器的方法及装置

    公开(公告)号:CN104880914A

    公开(公告)日:2015-09-02

    申请号:CN201510259584.9

    申请日:2015-05-21

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种利用同步辐射大面积快速制备颜色滤波器的方法及装置。本发明利用同步辐射软X射线照射四光栅组,通过挡板滤去其他衍射级次,只保留一级衍射条纹形成干涉图样,对玻璃基底上的光刻胶曝光形成周期性二维孔状微纳结构,通过精确控制样品台的二维平移,实现快速大面积拼接曝光。后续用电子束蒸镀技术将金属蒸镀于孔中,并通过超声清洗机剥离光刻胶实现玻璃基底上二维金属圆柱微纳结构阵列的颜色滤波器制备。本发明具有精度高、速度快、装置结构简单、易于操作等优点。制备出的滤波器具有大面积、偏振无关、超高透射率等特点,在色彩合成图像显示、图像传感器、数码摄像机、投影仪等领域的实际应用中具有重要作用。

    基于无序金属圆柱阵列的大角度的光学调色装置及其方法

    公开(公告)号:CN104965253B

    公开(公告)日:2017-04-26

    申请号:CN201510399273.2

    申请日:2015-07-09

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了基于无序金属圆柱阵列的大角度的光学调色装置及其方法。装置包括白光光源、第一准直透镜、偏振片、玻璃基底、圆柱阵列、第二准直透镜、聚焦透镜、单模光纤、光谱仪;在玻璃基底上设有圆柱阵列,在玻璃基底下方顺次设有偏振片、第一准直透镜、白光光源,在玻璃基底上方顺次设有第二准直透镜、聚焦透镜、单模光纤、光谱仪。利用单圆柱内形成的局域表面等离子共振效应使得入射光在某一波长处的吸收增强,透射光在对应波长处的透射率受到抑制,从而实现颜色调制。本发明具有结构简单,尺寸小易于集成,耐高温辐射,对入射光偏振无关和角度不敏感等优点,在未来的集成数字式显示、投影、成像设备和生物医学检测设备中有良好的应用前景。

    基于相变作用力的金属微驱动器、驱动装置及其驱动方法

    公开(公告)号:CN103030092B

    公开(公告)日:2015-05-27

    申请号:CN201310008735.4

    申请日:2013-01-10

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于相变作用力的金属微驱动器、驱动装置及其驱动方法。利用LIGA技术加工出具有高深宽比的金属微驱动器,利用脉冲激光照射微驱动器使微驱动器迅速升温,微驱动器局部微结构内的液体受热发生气化相变,气泡将液体向外排产生反作用力驱动微驱动器转动。通过调整激光的功率和占空比来控制局部微结构中的气泡产生速率和大小变化,从而产生脉冲式的驱动力实现微驱动器的步进运动。本发明原理巧妙,能够通过简单结构将光能转换为热能再转换为动能,实现远程非接触式控制,可望在MOEMS器件等领域获得广泛应用。

    基于相变作用力的金属微驱动器、驱动装置及其驱动方法

    公开(公告)号:CN103030092A

    公开(公告)日:2013-04-10

    申请号:CN201310008735.4

    申请日:2013-01-10

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于相变作用力的金属微驱动器、驱动装置及其驱动方法。利用LIGA技术加工出具有高深宽比的金属微驱动器,利用脉冲激光照射微驱动器使微驱动器迅速升温,微驱动器局部微结构内的液体受热发生气化相变,气泡将液体向外排产生反作用力驱动微驱动器转动。通过调整激光的功率和占空比来控制局部微结构中的气泡产生速率和大小变化,从而产生脉冲式的驱动力实现微驱动器的步进运动。本发明原理巧妙,能够通过简单结构将光能转换为热能再转换为动能,实现远程非接触式控制,可望在MOEMS器件等领域获得广泛应用。

    基于无序金属圆柱阵列的大角度的光学调色装置及其方法

    公开(公告)号:CN104965253A

    公开(公告)日:2015-10-07

    申请号:CN201510399273.2

    申请日:2015-07-09

    Applicant: 浙江大学

    CPC classification number: G02B27/28

    Abstract: 本发明公开了基于无序金属圆柱阵列的大角度的光学调色装置及其方法。装置包括白光光源、第一准直透镜、偏振片、玻璃基底、圆柱阵列、第二准直透镜、聚焦透镜、单模光纤、光谱仪;在玻璃基底上设有圆柱阵列,在玻璃基底下方顺次设有偏振片、第一准直透镜、白光光源,在玻璃基底上方顺次设有第二准直透镜、聚焦透镜、单模光纤、光谱仪。利用单圆柱内形成的局域表面等离子共振效应使得入射光在某一波长处的吸收增强,透射光在对应波长处的透射率受到抑制,从而实现颜色调制。本发明具有结构简单,尺寸小易于集成,耐高温辐射,对入射光偏振无关和角度不敏感等优点,在未来的集成数字式显示、投影、成像设备和生物医学检测设备中有良好的应用前景。

    利用同步辐射大面积快速制备颜色滤波器的方法及装置

    公开(公告)号:CN104880914B

    公开(公告)日:2017-03-01

    申请号:CN201510259584.9

    申请日:2015-05-21

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种利用同步辐射大面积快速制备颜色滤波器的方法及装置。本发明利用同步辐射软X射线照射四光栅组,通过挡板滤去其他衍射级次,只保留一级衍射条纹形成干涉图样,对玻璃基底上的光刻胶曝光形成周期性二维孔状微纳结构,通过精确控制样品台的二维平移,实现快速大面积拼接曝光。后续用电子束蒸镀技术将金属蒸镀于孔中,并通过超声清洗机剥离光刻胶实现玻璃基底上二维金属圆柱微纳结构阵列的颜色滤波器制备。本发明具有精度高、速度快、装置结构简单、易于操作等优点。制备出的滤波器具有大面积、偏振无关、超高透射率等特点,在色彩合成图像显示、图像传感器、数码摄像机、投影仪等领域的实际应用中具有重要作用。

    用于塑性变形加工的金属玻璃薄膜及其微器件的制备方法

    公开(公告)号:CN103805920A

    公开(公告)日:2014-05-21

    申请号:CN201410030511.8

    申请日:2014-01-23

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种用于塑性变形加工的金属玻璃薄膜及其微器件的制备方法。一种热塑性强、玻璃转变温度低、平整度高、耐腐蚀的镧基金属玻璃薄膜,该系合金的结构式为La100-x-yCoxAly,其中x为Co元素的原子百分数,y为Al元素的原子百分数,5≤x≤35,5≤y≤35,25≤x+y≤50在锆吸附的氩气电弧中电弧熔炼四次以上,获得混合均匀的合金块体,最后利用线切割得到符合镀膜要求的靶材,利用直流磁控溅射,获得所需厚度的金属玻璃薄膜。用于塑性变形加工的金属玻璃薄膜微器件,获得的具有偏振不敏感特性的二维亚波长透射光栅滤波片,光栅单元为凸起正方形阵列,高度200nm,正方形阵列周期240nm,正方形边长120nm,具有对入射光偏振不敏感特性,可以提高入射光的透射率,实现对蓝光的筛选。

    一种适用于任意光的超高透射率减色滤波器及其制备方法

    公开(公告)号:CN103777264A

    公开(公告)日:2014-05-07

    申请号:CN201410029125.7

    申请日:2014-01-22

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种适用于任意光的超高透射率减色滤波器及其制备方法。通过理论仿真和推导,设计了超薄金属膜厚系列、亚波长尺寸的圆形微孔阵列,利用光与金属表面微型阵列相互作用产生的等离子体激元效应,任意光照射到微结构阵列上,在可见光某个波段会产生透射率极小值,相应的会呈现出该极小值波长所对应颜色的补色,而对该波长以外的光具有超高的透射率。本发明利用磁控溅射在玻璃基片上蒸镀了超薄银膜,再用电子束曝光(EBL)技术在Ag膜表面成功制作出亚波长尺寸圆形小孔结构阵列的滤波器。本发明制备的滤波器不依赖于光源的偏振特性,具有很高的透射效率,易于制造和设备集成,在高温、高湿度和长期的辐射暴露下具有更高的可靠性。

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