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公开(公告)号：CN104880914A
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201510259584.9
申请日：2015-05-21
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种利用同步辐射大面积快速制备颜色滤波器的方法及装置。本发明利用同步辐射软X射线照射四光栅组，通过挡板滤去其他衍射级次，只保留一级衍射条纹形成干涉图样，对玻璃基底上的光刻胶曝光形成周期性二维孔状微纳结构，通过精确控制样品台的二维平移，实现快速大面积拼接曝光。后续用电子束蒸镀技术将金属蒸镀于孔中，并通过超声清洗机剥离光刻胶实现玻璃基底上二维金属圆柱微纳结构阵列的颜色滤波器制备。本发明具有精度高、速度快、装置结构简单、易于操作等优点。制备出的滤波器具有大面积、偏振无关、超高透射率等特点，在色彩合成图像显示、图像传感器、数码摄像机、投影仪等领域的实际应用中具有重要作用。
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公开(公告)号：CN104614935A
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201510062823.1
申请日：2015-02-06
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种普适高精度微结构制备系统及应用方法。本系统采用独特的气体循环系统和散热系统，结合加热系统、位移系统和监控系统，对样品表面进行高精度微结构制备。编制程序由电脑控制压电陶瓷伸缩的位移系统，精度高；监控系统可对加工过程中的各参数进行全程监控；惰性气体循环系统保证了加工过程中样品表面不易被氧化，大幅度提高样品的制备质量；水冷散热系统使得样品的加工可以在高温下进行，从而提高了样品材料选择的普适性。本系统具有成本低，效率高，速度快，精度高和普适性强等优点，在微结构制备领域具有很大的推广和应用前景。
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公开(公告)号：CN104880914B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201510259584.9
申请日：2015-05-21
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种利用同步辐射大面积快速制备颜色滤波器的方法及装置。本发明利用同步辐射软X射线照射四光栅组，通过挡板滤去其他衍射级次，只保留一级衍射条纹形成干涉图样，对玻璃基底上的光刻胶曝光形成周期性二维孔状微纳结构，通过精确控制样品台的二维平移，实现快速大面积拼接曝光。后续用电子束蒸镀技术将金属蒸镀于孔中，并通过超声清洗机剥离光刻胶实现玻璃基底上二维金属圆柱微纳结构阵列的颜色滤波器制备。本发明具有精度高、速度快、装置结构简单、易于操作等优点。制备出的滤波器具有大面积、偏振无关、超高透射率等特点，在色彩合成图像显示、图像传感器、数码摄像机、投影仪等领域的实际应用中具有重要作用。
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公开(公告)号：CN103805920A
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：CN201410030511.8
申请日：2014-01-23
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种用于塑性变形加工的金属玻璃薄膜及其微器件的制备方法。一种热塑性强、玻璃转变温度低、平整度高、耐腐蚀的镧基金属玻璃薄膜，该系合金的结构式为La100-x-yCoxAly，其中x为Co元素的原子百分数，y为Al元素的原子百分数，5≤x≤35，5≤y≤35，25≤x+y≤50在锆吸附的氩气电弧中电弧熔炼四次以上，获得混合均匀的合金块体，最后利用线切割得到符合镀膜要求的靶材，利用直流磁控溅射，获得所需厚度的金属玻璃薄膜。用于塑性变形加工的金属玻璃薄膜微器件，获得的具有偏振不敏感特性的二维亚波长透射光栅滤波片，光栅单元为凸起正方形阵列，高度200nm，正方形阵列周期240nm，正方形边长120nm，具有对入射光偏振不敏感特性，可以提高入射光的透射率，实现对蓝光的筛选。
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公开(公告)号：CN103777264A
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201410029125.7
申请日：2014-01-22
Applicant: 浙江大学
IPC: G02B5/20
Abstract: 本发明公开了一种适用于任意光的超高透射率减色滤波器及其制备方法。通过理论仿真和推导，设计了超薄金属膜厚系列、亚波长尺寸的圆形微孔阵列，利用光与金属表面微型阵列相互作用产生的等离子体激元效应，任意光照射到微结构阵列上，在可见光某个波段会产生透射率极小值，相应的会呈现出该极小值波长所对应颜色的补色，而对该波长以外的光具有超高的透射率。本发明利用磁控溅射在玻璃基片上蒸镀了超薄银膜，再用电子束曝光（EBL）技术在Ag膜表面成功制作出亚波长尺寸圆形小孔结构阵列的滤波器。本发明制备的滤波器不依赖于光源的偏振特性，具有很高的透射效率，易于制造和设备集成，在高温、高湿度和长期的辐射暴露下具有更高的可靠性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112630966A
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：CN202011489173.6
申请日：2020-12-16
Applicant: 浙江大学 , 舜宇光学(浙江)研究院有限公司 , 宁波舜宇奥来技术有限公司
Abstract: 本发明公开了一种超表面微纳结构单片全色彩波导镜片及AR显示装置。该超表面微纳结构全色彩波导镜片包括波导衬底、耦入光栅和耦出光栅；其中，耦入和耦出光栅均为一维多条矩形微纳结构超表面光栅，位于波导衬底表面，且分布在所述波导衬底的两端；在每个周期内，耦入和耦出光栅均有多条亚波长宽度矩形微纳超表面结构。相比传统光栅，超表面光栅存在不同波长的共振效应，可在大入射角的下对红绿蓝三色光具有高且均衡的1级透射衍射效率。镜片视场角大，视觉体验感强，仅单片波导镜片即可实现全彩色显示，采用该波导镜片的AR显示装置重量轻，可穿戴性佳。相比普通光栅，多条矩形微纳结构超表面光栅的设计变量多，设计灵活，更易加工。
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公开(公告)号：CN104965253A
公开(公告)日：2015-10-07
申请号：CN201510399273.2
申请日：2015-07-09
Applicant: 浙江大学
CPC classification number: G02B27/28
Abstract: 本发明公开了基于无序金属圆柱阵列的大角度的光学调色装置及其方法。装置包括白光光源、第一准直透镜、偏振片、玻璃基底、圆柱阵列、第二准直透镜、聚焦透镜、单模光纤、光谱仪；在玻璃基底上设有圆柱阵列，在玻璃基底下方顺次设有偏振片、第一准直透镜、白光光源，在玻璃基底上方顺次设有第二准直透镜、聚焦透镜、单模光纤、光谱仪。利用单圆柱内形成的局域表面等离子共振效应使得入射光在某一波长处的吸收增强，透射光在对应波长处的透射率受到抑制，从而实现颜色调制。本发明具有结构简单，尺寸小易于集成，耐高温辐射，对入射光偏振无关和角度不敏感等优点，在未来的集成数字式显示、投影、成像设备和生物医学检测设备中有良好的应用前景。
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公开(公告)号：CN112630966B
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN202011489173.6
申请日：2020-12-16
Applicant: 浙江大学 , 舜宇光学(浙江)研究院有限公司 , 宁波舜宇奥来技术有限公司
Abstract: 本发明公开了一种超表面微纳结构单片全色彩波导镜片及AR显示装置。该超表面微纳结构全色彩波导镜片包括波导衬底、耦入光栅和耦出光栅；其中，耦入和耦出光栅均为一维多条矩形微纳结构超表面光栅，位于波导衬底表面，且分布在所述波导衬底的两端；在每个周期内，耦入和耦出光栅均有多条亚波长宽度矩形微纳超表面结构。相比传统光栅，超表面光栅存在不同波长的共振效应，可在大入射角的下对红绿蓝三色光具有高且均衡的1级透射衍射效率。镜片视场角大，视觉体验感强，仅单片波导镜片即可实现全彩色显示，采用该波导镜片的AR显示装置重量轻，可穿戴性佳。相比普通光栅，多条矩形微纳结构超表面光栅的设计变量多，设计灵活，更易加工。
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公开(公告)号：CN104965253B
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201510399273.2
申请日：2015-07-09
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了基于无序金属圆柱阵列的大角度的光学调色装置及其方法。装置包括白光光源、第一准直透镜、偏振片、玻璃基底、圆柱阵列、第二准直透镜、聚焦透镜、单模光纤、光谱仪；在玻璃基底上设有圆柱阵列，在玻璃基底下方顺次设有偏振片、第一准直透镜、白光光源，在玻璃基底上方顺次设有第二准直透镜、聚焦透镜、单模光纤、光谱仪。利用单圆柱内形成的局域表面等离子共振效应使得入射光在某一波长处的吸收增强，透射光在对应波长处的透射率受到抑制，从而实现颜色调制。本发明具有结构简单，尺寸小易于集成，耐高温辐射，对入射光偏振无关和角度不敏感等优点，在未来的集成数字式显示、投影、成像设备和生物医学检测设备中有良好的应用前景。
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公开(公告)号：CN204631441U
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201520327790.4
申请日：2015-05-21
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本实用新型公开了一种利用同步辐射大面积快速制备颜色滤波器的装置。本实用新型利用同步辐射软X射线照射四光栅组，通过挡板滤去其他衍射级次，只保留一级衍射条纹形成干涉图样，对玻璃基底上的光刻胶曝光形成周期性二维孔状微纳结构，通过精确控制样品台的二维平移，实现快速大面积拼接曝光。后续用电子束蒸镀技术将金属蒸镀于孔中，并通过超声清洗机剥离光刻胶实现玻璃基底上二维金属圆柱微纳结构阵列的颜色滤波器制备。本实用新型具有精度高、速度快、装置结构简单、易于操作等优点。制备出的滤波器具有大面积、偏振无关、超高透射率等特点，在色彩合成图像显示、图像传感器、数码摄像机、投影仪等领域的实际应用中具有重要作用。
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