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公开(公告)号:CN100482574C
公开(公告)日:2009-04-29
申请号:CN200610050674.8
申请日:2006-05-11
Applicant: 浙江大学
IPC: B82B3/00
Abstract: 本发明公开了一种三维微结构制备成型方法及系统。三维微结构制备成型系统具有相连接的计算机、D/A接口、低压放大器、高压放大器、微结构加工核心单元,激光器、电源及控制电路。微结构加工核心单元,激光器具有透明有机玻璃平台,液体容器,热塑性材料,液体进口,液体出口,蒸馏水,XY移动平台。本发明可对各种热塑性材料制备微点阵、微柱阵、微线阵、微光学元件、微机械元件、微流体学元件等三维微结构,制备的结构线宽在1~100um量级内可调、纵横比可控(最大6∶1)。可望在微光学技术、微机械、微电子技术、MOEMS及微纳米技术等领域得到广泛应用。
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公开(公告)号:CN1777013A
公开(公告)日:2006-05-24
申请号:CN200510061900.8
申请日:2005-12-08
Applicant: 浙江大学
IPC: H02N10/00
Abstract: 本发明涉及一种光热驱动微马达。它具有脉冲光源系统和转动系统,脉冲光源系统具有依次设置的激光器、电光晶体、偏振盘,电光晶体由脉冲信号发生模块和放大回路控制,转动系统具有和膨胀臂、摩擦片、同轴转子和压簧片,膨胀臂一端固定,另一端与摩擦片相粘合,压簧片一端固定,另一端和一弹簧相连,转子与压簧片、摩擦片相接。本发明的优点是马达输出步距小、速度高,直接由激光驱动,不需导线连接,因而结构相对独立,易于马达的微小化,便于将驱动器置于封闭空间(如真空腔),并可实现较远距的自由控制。可望在众多科技与工业领域得到广泛应用。
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公开(公告)号:CN1850581A
公开(公告)日:2006-10-25
申请号:CN200610050674.8
申请日:2006-05-11
Applicant: 浙江大学
IPC: B82B3/00
Abstract: 本发明公开了一种三维微结构制备成型方法及系统。三维微结构制备成型系统具有相连接的计算机、D/A接口、低压放大器、高压放大器、微结构加工核心单元,激光器、电源及控制电路。微结构加工核心单元,激光器具有透明有机玻璃平台,液体容器,热塑性材料,液体进口,液体出口,蒸馏水,XY移动平台。本发明可对各种热塑性材料制备微点阵、微柱阵、微线阵、微光学元件、微机械元件、微流体学元件等三维微结构,制备的结构线宽在1~100um量级内可调、纵横比可控(最大6∶1)。可望在微光学技术、微机械、微电子技术、MOEMS及微纳米技术等领域得到广泛应用。
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公开(公告)号:CN100483920C
公开(公告)日:2009-04-29
申请号:CN200510061900.8
申请日:2005-12-08
Applicant: 浙江大学
IPC: H02N10/00
Abstract: 本发明涉及一种光热驱动微马达。它具有脉冲光源系统和转动系统,脉冲光源系统具有依次设置的激光器、电光晶体、偏振盘,电光晶体由脉冲信号发生模块和放大回路控制,转动系统具有和膨胀臂、摩擦片、同轴转子和压簧片,膨胀臂一端固定,另一端与摩擦片相粘合,压簧片一端固定,另一端和一弹簧相连,转子与压簧片、摩擦片相接。本发明的优点是马达输出步距小、速度高,直接由激光驱动,不需导线连接,因而结构相对独立,易于马达的微小化,便于将驱动器置于封闭空间(如真空腔),并可实现较远距的自由控制。可望在众多科技与工业领域得到广泛应用。
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公开(公告)号:CN2934204Y
公开(公告)日:2007-08-15
申请号:CN200620103468.4
申请日:2006-05-11
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本实用新型公开了一种三维微结构制备成型系统。三维微结构制备成型系统具有相连接的计算机、D/A接口、低压放大器、高压放大器、微结构加工核心单元,激光器、电源及控制电路。微结构加工核心单元,激光器具有透明有机玻璃平台,液体容器,热塑性材料,液体进口,液体出口,蒸馏水,XY移动平台。本实用新型可对各种热塑性材料制备微点阵、微柱阵、微线阵、微光学元件、微机械元件、微流体学元件等三维微结构,制备的结构线宽在1~100um量级内可调、纵横比可控(最大6∶1)。可望在微光学技术、微机械、微电子技术、MOEMS及微纳米技术等领域得到广泛应用。
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公开(公告)号:CN2896689Y
公开(公告)日:2007-05-02
申请号:CN200520117069.9
申请日:2005-12-08
Applicant: 浙江大学
IPC: H02N10/00
Abstract: 本实用新型涉及一种光热驱动微马达。它具有脉冲光源系统和转动系统,脉冲光源系统具有依次设置的激光器、电光晶体、偏振盘,电光晶体由脉冲信号发生模块和放大回路控制,转动系统具有和膨胀臂、摩擦片、同轴转子和压簧片,膨胀臂一端固定,另一端与摩擦片相粘合,压簧片一端固定,另一端和一弹簧相连,转子与压簧片、摩擦片相接。本实用新型的优点是马达输出步距小、速度高,直接由激光驱动,不需导线连接,因而结构相对独立,易于马达的微小化,便于将驱动器置于封闭空间(如真空腔),并可实现较远距的自由控制。可望在众多科技与工业领域得到广泛应用。
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