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公开(公告)号:CN116408242A
公开(公告)日:2023-07-11
申请号:CN202310678624.8
申请日:2023-06-09
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本公开涉及电气元件生产设备技术领域,尤其涉及一种涂布设备及包括其的电气元件制作系统,涂布设备包括载台、模头组件和真空排气组件,模头组件包括涂头和密封件,涂头相对于载台可移动;涂头内形成有液体容纳腔,真空排气组件与液体容纳腔连通,用于对液体容纳腔抽真空;涂头上开设有连通液体容纳腔的出液口,密封件设置在出液口处,且相对于涂头可移动,以使密封件密封出液口,或者对出液口解除密封,从而能够通过真空压强将涂布材料内部的气泡脱出并排出液体容纳腔,实现了在通过涂头进行涂布之前在涂头中就对涂布材料进行了脱泡,因此大大减少了涂布过程中膜层内出现气泡的概率,进一步提升了涂布的效果,保证了成品率。
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公开(公告)号:CN116190295B
公开(公告)日:2023-07-11
申请号:CN202310480227.X
申请日:2023-04-28
Applicant: 季华实验室
IPC: H01L21/68 , H01L21/683 , H01L33/00
Abstract: 本发明涉及半导体加工技术领域,特别涉及一种半导体元器件转移装置及转移方法,在使用转移印章对半导体元器件进行转移时对转移印章的运动精度进行准确测量的目的,进而能够提升转移印章与半导体元器件之间的对准精度,保证了制备的产品的良品率,解决了相关技术中转移印章与临时载板或驱动电路背板对齐后,仅依靠导轨的大行程上下运动无法保证Micro LED芯片的精确拾取或者准确放置到驱动电路背板预定位置,从而导致转移的良率下降,影响后续相关制程的技术问题。
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公开(公告)号:CN116394657A
公开(公告)日:2023-07-07
申请号:CN202310663504.0
申请日:2023-06-06
Applicant: 季华实验室
IPC: B41J2/145
Abstract: 本申请属于打印技术领域,公开了一种多分辨率打印方法及装置,所述装置包括安装座,安装座能够绕z轴转动;至少两个喷头,每个喷头包括多个沿x轴方向以第一间隔等间隔排布的喷孔,各喷头沿y轴方向以第二间隔等间隔排布地设置在安装座上,且第二间隔可调;沿y轴方向,从第二个喷头起,各喷头的喷孔依次沿x轴的同一方向相对上一个喷头的喷孔偏移第一偏移距离,第一偏移距离与第一间隔满足关系:Of=No/M,其中Of为第一偏移距离,No为第一间隔,M为喷头的总数;从而能够实现多种分辨率的打印,且分辨率的调节范围大,适用性强。
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公开(公告)号:CN115373433B
公开(公告)日:2023-01-13
申请号:CN202211306426.0
申请日:2022-10-25
Applicant: 季华实验室(CN)
IPC: G05D3/12
Abstract: 本发明属于自动控制技术领域,公开了一种转台运动补偿方法、装置、设备及存储介质。该方法应用于曲柄滑块式转台,包括:确定初始条件参数,并根据初始条件参数构建转台控制函数;获取旋转组件对应的多个分段旋转角度;分别根据各个分段旋转角度驱动曲柄滑块式转台进行旋转,记录各分段对应的测量旋转角度;根据各分段对应的分段旋转角度和测量旋转角度计算转角偏差;根据转台控制函数将转角偏差转换为直线运动误差;根据直线运动误差对各分段下直线运动模块的直线运动位移进行补偿。通过上述方式,对转角进行校准,补偿直线运动模块的直线运动位移,提升了曲柄滑块式转台转角的控制精度。
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