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公开(公告)号：CN101846529A
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：CN201010177476.4
申请日：2010-05-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01D3/028
Abstract: 基于DSP的星载绝对式光电轴角编码器译码电路，涉及一种译码电路，解决了由于空间环境温度变化引起光电轴角编码器输出的光电流改变造成译码结果出现跳码的问题。所述译码电路由采样模块、微处理器模块和模式选择模块组成，采样模块用于获得外部编码器的粗码信号、中精码信号和精码信号；在参数获取模式，微处理器模块通过运算获得译码算法参数；在译码模式，微处理器模块根据编码方式对粗码数据进行译码；利用获得的译码算法参数，计算获得ESIN、ECOS、GSIN、GCOS的值；采用查表法对中精码数据和精码数据进行细分，然后通过两次校正获得最终的位置数据信息。本发明适用于航天领域使用高精度位置传感器的场合。
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公开(公告)号：CN104935218B
公开(公告)日：2017-06-16
申请号：CN201510405399.6
申请日：2015-07-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02P5/56
Abstract: 一种双旋转电机系统的主从控制方法。本发明涉及一种双旋转电机系统的主从控制方法。所述双旋转电机系统包括定旋转电机、动旋转电机、旋转电机连接杆及台体，所述定旋转电机固定在台体上，所述定旋转电机的转子通过旋转电机连接杆与动旋转电机的转子刚性连接；所述控制方法包括七个步骤，步骤一：将运动控制卡系统初始化；步骤二：向初始化后的运动控制卡系统内输入用来控制定旋转电机的旋转角度参数；步骤三：利用双速旋转变压器及其角位变送器来采集定旋转电机的旋转角度数据，将传感器采集的旋转角度数据通过运动控制卡系统进行数据转换，并实时读取定旋转电机旋转角度数据。本发明用于双旋转电机系统的主从控制。
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公开(公告)号：CN104019749B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201410277186.5
申请日：2014-06-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种用于高精度垂向伺服机构的游标式测量装置及测量方法，属于全物理仿真测量领域。所述测量装置由气路部分、垂向运动部分、测量部分和测量补偿部分构成。本发明气路部分通过调整气压补偿垂向重力，垂向运动部分通过控制运动直线电机带动伺服机构垂向运动，测量部分通过直线光栅测得未补偿前的位移，测量补偿部分通过控制补偿直线电机带动电容传感器基板运动到未补偿前的位移附近，通过使用激光干涉仪标定后的直线光栅，使电容传感器补偿直线光栅的测量误差。从而提高了测量装置的分辨率。相比于现有技术，本发明具有结构简单、控制方便的优点。
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公开(公告)号：CN103268381B
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201310203935.5
申请日：2013-05-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06F17/50
Abstract: 一种基于虚拟现实技术的双工件台半物理仿真方法，涉及一种双工件台半物理仿真方法。它是为了适应对双工件台半物理仿真的需求。它的方法为：用户向上位机操作系统中输入位置指令；上位机操作系统通过以太网将位置指令发送给VME工控机并进行解算；采用控制模型控制参数的整定，并控制电机模型工作和工作台数学模型运动；并同步将电机模型工作和工作台数学模型运动过程通过以太网发送回上位机操作系统；上位机操作系统通过动态链路库将电机模型工作和工作台数学模型运动过程发送给三维仿真模型；三维仿真模型将电机模型工作和工作台数学模型运动过程进行实时同步演示。本发明适用于双工件台半物理仿真。
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公开(公告)号：CN103389947B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201310339761.5
申请日：2013-08-06
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于VxWorks的光刻机双工件台控制系统的内存管理器及管理方法，属于光刻机工作台控制系统的内存管理技术领域。本发明为了解决现有基于VxWorks的光刻机双工件台控制系统的内存管理方法由于会产生大量的碎片，而影响系统正常运行的问题。它包括：用于初始化光刻机双工件台控制系统内存的初始化装置；用于对光刻机双工件台控制系统内存进行分配的内存分配装置；用于对光刻机双工件台控制系统内存进行管理的内存释放装置。本发明用于管理光刻机双工件台控制系统的内存。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105182906A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201510615768.4
申请日：2015-09-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/19
CPC classification number: G05B19/19
Abstract: 基于高阶S型运动轨迹的位置与速度控制方法，属于精密运动控制领域。为了解决利用传统的轨迹规划算法的位置与速度控制方法的可移植性差的问题。所述控制方法包括：一：根据第N阶S曲线的限定值求取第N阶S曲线在各分段点的值S(N)[k]；二：求取第k个分段点对应的时间值T[k]和第n阶S曲线在第k个分段点的值S(n)[k]；三：对确定T[k]和S(n)[k]的S曲线进行采样，获得规划后的N阶S型运动轨迹；四：根据规划后的N阶S型运动轨迹，利用位置的采样值、位置的第1阶导数的采样值分别对位置与速度进行控制。本发明用于运动机构位置与速度的控制。
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公开(公告)号：CN105137717A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201510474801.6
申请日：2015-08-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 基于Compact Differential Evolution算法的光刻机掩模台微动台的机械参数软测量方法，属于半导体制造装备技术领域及机械参数测量领域。为了解决现有工件台微动部分机械参数估计算法精度差的问题。所述方法包括如下步骤：步骤一：根据掩模台微动台的机械机构及其理论设计，建立微动台的理想运动学模型，确定待测机械参数，建立掩模台微动台含差模型；步骤二：给定位置输入，驱动微动台运动产生位移，将实际输出位移与通过建立的掩模台微动台含差模型计算出的输出位移值做差，作为导优的目标函数；步骤三：根据目标函数，利用Compact Differential Evolution优化学习算法确定待辨识的机械参数。它用于微动台的机械参数求取。
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公开(公告)号：CN105116843A
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201510405398.1
申请日：2015-07-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/414
CPC classification number: G05B19/414
Abstract: 一种直线电机与两个旋转电机的同步控制方法。本发明涉及一种直线电机与两个旋转电机的同步控制方法。所述控制方法包括以下六个步骤，步骤一：将运动控制卡系统初始化；步骤二：向初始化后的运动控制卡系统内输入用来控制两个旋转电机的旋转角度参数；所述两个旋转电机分别是定旋转电机与动旋转电机，所述定旋转电机固定在台体上，定旋转电机的转子通过旋转电机连接杆与动旋转电机的转子刚性连接，所述动旋转电机的转子通过水平方向可伸缩线缆与直线电机连接，所述直线电机在直线电机导轨上运动，所述直线电机导轨安装在台体的左侧边。本发明用于直线电机与旋转电机的同步控制。
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公开(公告)号：CN105068383A
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201510474811.X
申请日：2015-08-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种微动台机械参数误差辨识方法，属于超精密制造领域。为了解决传统间接测量方法受固定参数和固定输入输出维数的限制的问题。本发明通过对微动台的建模，描述方程的建立，通过方程和近似解得一部分机械参数误差，最后引入紧凑式教学优化算法得到剩余其他的参数误差。使参数的测量不受测量的参数和需求参数的维数所限制，不受传统方法解算方程时参数矩阵不能为奇异矩阵的限制，误差参数的个数和需要测量的参数的个数不受限制，同时能满足控制所需的高精度。本发明用于光刻机。
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公开(公告)号：CN105048864A
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201510523170.2
申请日：2015-08-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 新型误差放大式压电陶瓷驱动电路，涉及APT系统中的精瞄技术领域，具体涉及精瞄技术中的核心即精瞄微定位系统领域。它为了解决现有的驱动电路稳态过渡时间长，上行电压和下行电压的线性度不好，控制精度不高的问题。积分电路和前级驱动电路的公共端连接电平转换电路的输入端，电平转换电路的输出端连接信号放大级的输入端，信号放大级的输出端同时连接过流保护电路的输入端和功率放大级的输入端，过流保护电路的输出端连接功率放大级的过流信号输入端，积分电路的反馈端连接过流保护电路。本发明所述驱动电路的上行电压和下行电压的线性度非常好，线性度高。适用于驱动压电陶瓷。
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