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公开(公告)号:CN107499014B
公开(公告)日:2019-06-18
申请号:CN201710640887.4
申请日:2017-07-31
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明涉及一种调控喷墨打印相邻液滴干燥形貌的方法,步骤一、采用墨水打印相邻喷墨打印液滴,在打印相邻喷墨打印液滴的同时,在相邻喷墨打印液滴外围采用墨水溶剂打印框型图形,框型图形包括外框和内框,相邻液滴位于内框之内,框型图形的外框到内框之间的宽度为d,框型图形的内框面积为s,步骤二、热烧结,采用热烧结的方式,去除采用墨水溶剂打印的框型图形及相邻喷墨打印液滴中的溶剂部分,留下相邻喷墨打印液滴图案一种调控喷墨打印相邻液滴干燥形貌的方法,(1)改善单个液滴干燥微环境,使液滴干燥后形貌均匀;(2)能够很大程度上削弱液滴干燥过程中的相互影响;(3)对基底表面润湿性要求不高,不需要基底表面预图形化。
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公开(公告)号:CN106229259B
公开(公告)日:2019-01-29
申请号:CN201610665741.0
申请日:2016-08-13
Applicant: 华南理工大学
IPC: H01L21/28
Abstract: 本发明公开了一种薄膜晶体管印刷电极的制备方法。该方法包括以下步骤:(1)基底清洗;(2)基底烘干;(3)打印图形设计:设置D、S分别为TFT的漏极和源极,L为TFT的沟道长度,预设L的值为75μm,在所述漏极和源极的两侧分别设置用于搭测量探针的引出电极;(4)打印参数设置:设置打印机的参数为基板温度55℃~65℃,喷头温度55℃~65℃,墨滴间距30~35μm,调节打印机内施加于压电陶瓷之上的电压信号的前两波段的参数Slew Rate和Duration;(5)打印。本发明通过控制打印中的各种参数,包括压电波形参数,形成相应的优化方案,改善了TFT电极打印尤其是源漏电极的打印效果。
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公开(公告)号:CN105679833B
公开(公告)日:2018-12-11
申请号:CN201610020616.4
申请日:2016-01-12
Applicant: 华南理工大学
IPC: H01L29/786 , H01L21/34 , H01L21/02
Abstract: 本发明公开了一种具有叠层有源层的薄膜晶体管及其制备方法。所述具有叠层有源层的薄膜晶体管由至少两组子有源层依次叠设沉积构成有源层,子有源层包括一层导体/半导体层和一层绝缘层,绝缘层沉积于所述导体/半导体层上。导体/半导体层为具有导体特性或者半导体特性的三元氧化物ABO,绝缘层为具有绝缘体特性的二元氧化物AO,其中A、B分别代表金属元素;三元氧化物ABO中A元素为Al、Zr、Hf、La或Lu,B元素为Zn或In。有源层通过脉冲激光沉积方式制备而成,且不需要退火。本发明能够以低温工艺制备出高迁移率、高稳定性的薄膜晶体管。
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公开(公告)号:CN105931601B
公开(公告)日:2018-07-20
申请号:CN201610504990.1
申请日:2016-06-28
Applicant: 华南理工大学
IPC: G09G3/3266 , G09G3/3258
Abstract: 本发明公开了一种驱动电路单元及其驱动方法及行栅极驱动集成电路,行栅极驱动集成电路由电源与时钟部分及N级级联的栅极驱动部分构成,所述每一级栅极驱动部分由第一、第二及第三驱动电路单元构成;所述驱动电路单元包括输入模块、反相器模块、缓存模块、传递模块及驱动输出模块,本发明输出模块中,利用直流电源驱动大尺寸的薄膜晶体管,大大降低电路的动态耦合功耗。电路驱动仅采用一种低电平类型的时钟信号驱动,并且能够利用电容自举耦合后的高电压驱动输出晶体管的栅极,能够实现电压的全摆幅输出。
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公开(公告)号:CN107611024A
公开(公告)日:2018-01-19
申请号:CN201710582078.2
申请日:2017-07-17
Applicant: 华南理工大学
IPC: H01L21/285 , H01L21/288 , H01L29/45 , H01L21/34 , H01L29/786
Abstract: 本发明属于平板显示器件技术领域,公开了一种高性能源漏电极印刷型薄膜晶体管及其制备方法。所述制备方法为:室温下用直流磁控溅射在衬底上沉积栅极,再通过阳极氧化将一部分栅极氧化成栅极绝缘层,然后在室温下通过物理气相沉积的方法溅射半导体层,最后在室温下以Ag导电墨水用喷墨打印方式打印源漏电极,退火处理后得到所述高性能源漏电极印刷型薄膜晶体管。本发明所述薄膜晶体管的源漏电极采用Ag导电墨水通过喷墨打印方式制备得到,这种方式不需要昂贵的仪器设备,不需要复杂的光刻掩模工艺和高真空条件,制备成本低;所得薄膜晶体管能实现电极层与半导体层的良好接触,具有高迁移率和高开关比。
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公开(公告)号:CN107499014A
公开(公告)日:2017-12-22
申请号:CN201710640887.4
申请日:2017-07-31
Applicant: 华南理工大学
CPC classification number: B41M5/0047 , B41M7/0009
Abstract: 本发明涉及一种调控喷墨打印相邻液滴干燥形貌的方法,步骤一、采用墨水打印相邻喷墨打印液滴,在打印相邻喷墨打印液滴的同时,在相邻喷墨打印液滴外围采用墨水溶剂打印框型图形,框型图形包括外框和内框,相邻液滴位于内框之内,框型图形的外框到内框之间的宽度为d,框型图形的内框面积为s;步骤二、热烧结,采用热烧结的方式,去除采用墨水溶剂打印的框型图形及相邻喷墨打印液滴中的溶剂部分,留下相邻喷墨打印液滴图案一种调控喷墨打印相邻液滴干燥形貌的方法,(1)改善单个液滴干燥微环境,使液滴干燥后形貌均匀;(2)能够很大程度上削弱液滴干燥过程中的相互影响;(3)对基底表面润湿性要求不高,不需要基底表面预图形化。
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公开(公告)号:CN106229259A
公开(公告)日:2016-12-14
申请号:CN201610665741.0
申请日:2016-08-13
Applicant: 华南理工大学
IPC: H01L21/28
CPC classification number: H01L21/28
Abstract: 本发明公开了一种薄膜晶体管印刷电极的制备方法。该方法包括以下步骤:(1)基底清洗;2)基底烘干;(3)打印图形设计:设置D、S分别为TFT的漏极和源极,L为TFT的沟道长度,预设L的值为75μm,在所述漏极和源极的两侧分别设置用于搭测量探针的引出电极(;4)打印参数设置:设置打印机的参数为基板温度55℃~65℃,喷头温度55℃~65℃,墨滴间距30~35μm,调节打印机内施加于压电陶瓷之上的电压信号的前两波段的参数Slew Rate和Duration;(5)打印。本发明通过控制打印中的各种参数,包括压电波形参数,形成相应的优化方案,改善了TFT电极打印尤其是源漏电极的打印效果。
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公开(公告)号:CN106057119A
公开(公告)日:2016-10-26
申请号:CN201610624689.4
申请日:2016-07-29
Applicant: 华南理工大学
IPC: G09G3/20
CPC classification number: G09G3/20
Abstract: 本发明公开了一种行扫描驱动单元,包括输入口、信号输入模块、负压模块、反相器模块、内部输出模块及扫描输出模块、输出口。本发明还公开了包含上述行扫描驱动单元的行扫描驱动系统及其驱动方法。本发明利用负压模块产生负压信号,降低对电源要求,简化电路结构,节约电路面积,降低电路功耗;扫描输出模块使用时钟控制方式,提高电路工作速度;此外,行扫描驱动电路依靠3个占空比为33.3%的流水线式时钟驱动,时序简单,不仅能够避免竞争冒险引发的电路异常,还能减少延时效应。
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公开(公告)号:CN105679833A
公开(公告)日:2016-06-15
申请号:CN201610020616.4
申请日:2016-01-12
Applicant: 华南理工大学
IPC: H01L29/786 , H01L21/34 , H01L21/02
CPC classification number: H01L29/7869 , H01L21/02565 , H01L21/02631 , H01L29/66969
Abstract: 本发明公开了一种具有叠层有源层的薄膜晶体管及其制备方法。所述具有叠层有源层的薄膜晶体管由至少两组子有源层依次叠设沉积构成有源层,子有源层包括一层导体/半导体层和一层绝缘层,绝缘层沉积于所述导体/半导体层上。导体/半导体层为具有导体特性或者半导体特性的三元氧化物ABO,绝缘层为具有绝缘体特性的二元氧化物AO,其中A、B分别代表金属元素;三元氧化物ABO中A元素为Al、Zr、Hf、La或Lu,B元素为Zn或In。有源层通过脉冲激光沉积方式制备而成,且不需要退火。本发明能够以低温工艺制备出高迁移率、高稳定性的薄膜晶体管。
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公开(公告)号:CN105607373A
公开(公告)日:2016-05-25
申请号:CN201610076038.6
申请日:2016-02-03
Applicant: 华南理工大学
IPC: G02F1/15
CPC classification number: G02F1/15
Abstract: 本发明属于光电材料与器件领域,具体公开了一种印刷透明碳纳米管光电薄膜及其在光电器件中的应用。本发明印刷透明碳纳米管光电薄膜中的碳纳米管采用的是尿素或臭氧处理,可以显著提升碳纳米管的光电响应特性;与常规的酸处理和加入表面活性剂的处理碳纳米管的方法相比,不仅可提升性能,而且可以避免腐蚀器件,增加器件可靠性。本发明印刷透明碳纳米管光电薄膜具有更高的光电响应性能,可作为光电材料用于制备光电器件,例如电致变色或远红外成像光电器件,包括近红外激光设备、红外通讯设备、电致变色智能窗等。
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