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公开(公告)号：CN111463101A
公开(公告)日：2020-07-28
申请号：CN202010388765.2
申请日：2020-05-09
Applicant: 北方夜视技术股份有限公司
IPC: H01J43/24
Abstract: 本发明提供一种方形微通道板组件，包括绝缘骨架、输入电极、第一微通道板、中间电极、第二微通道板、输出电极、第一绝缘片、弹性构件、底座、第二绝缘片和信号读出装置；底座、第二绝缘片和信号读出装置依次叠加形成底部支撑结构；绝缘骨架采用凹坑结构，输入电极、第一微通道板、中间电极、第二微通道板、输出电极、第一绝缘片、弹性构件依次从上到下叠加地组装至绝缘骨架的凹坑内，然后整体固定到底部支撑结构上；其中，弹性构件由方环形的金属平板和多个弹性垫片组成，弹性垫片固定在金属平板的表面，通过弹性垫片抵接到底座。本发明的方形微通道板组件，可缓解MCP所受到的应力，防止安装及使用过程中产生的应力对MCP造成损坏。
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公开(公告)号：CN108675646A
公开(公告)日：2018-10-19
申请号：CN201810812965.9
申请日：2018-07-23
Applicant: 北方夜视技术股份有限公司
CPC classification number: C03C15/00 , C03C23/007
Abstract: 本发明提供了一种具有大粗糙度通道内表面的微孔光学元件及其制备方法，通过将抛光好的微通道板半成品顺序进行度酸碱交替腐蚀、高浓度酸腐蚀和真空高温烘烤，使得微孔光学元件的通道内表面形成粗糙度大于10nm的表面，可以实现将微孔光学元件用于准直器领域，获得良好的光线准直效果。
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公开(公告)号：CN106548821B
公开(公告)日：2018-01-09
申请号：CN201610856017.6
申请日：2016-09-28
Applicant: 北方夜视技术股份有限公司
IPC: G21K1/06 , C23C16/40 , C23C16/18 , C23C16/455
Abstract: 本发明提供一种具有高反射率内壁的微孔光学元件及其制备方法，该微孔光学元件为密集排布的方形微孔曲面阵列，使用原子层沉积技术在方形微孔内壁沉积复合薄膜，该复合薄膜的材料种类和复合结构经过合理的设计，能够提高X射线在微孔光学元件的通道内壁的反射率，通过这种方法，能够大幅度的提升微孔光学元件的聚焦性能，从而提升器件对于微弱X射线信号的探测精度与效率。
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公开(公告)号：CN119890025A
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202411718286.7
申请日：2024-11-28
Applicant: 北方夜视技术股份有限公司 , 北方夜视科技(南京)研究院有限公司
Abstract: 本发明涉及微通道板技术领域，提供一种应用于超高真空环境的法兰型微通道板探测器及其制备方法，该法兰型微通道板探测器包括屏蔽筒、上盖板、栅网电极、栅网、中间环、微通道板输入电极、第一级微通道板、第二级微通道板、微通道板输出电极、阳极、阳极输出电容、隔离套筒、下盖板、底板、支撑套筒、法兰、电路保护模块。本发明的应用于超高真空环境的法兰型微通道板探测器在保证高增益和时间响应特性的同时，具有放气量小、可拆卸、易维护的优点，可在1×10‑7Pa真空环境下长期使用，实现正/负电子、正/负离子、中性原子、紫外光、软X射线等探测应用。
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公开(公告)号：CN119194410A
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202411318823.9
申请日：2024-09-21
Applicant: 北方夜视科技(南京)研究院有限公司 , 北方夜视技术股份有限公司
IPC: C23C16/455 , C23C16/40
Abstract: 本发明涉及微通道板技术领域，公开了一种提高微通道板高温烘烤前后体电阻一致性的方法，能够被应用于像增强器、微通道板型光电倍增管等真空光电探测器件中。该方法中，在微通道板氢还原工艺之后，增加原子层沉积工艺的步骤，包括：将微通道板放入真空腔体设备中，在一定的温度和压强下进行氧化铝薄膜的沉积；然后进行电极膜层的制备，测其体电阻，再进行烘烤。通过该方法得到制管后的微通道板体电阻波动范围明显降低，产品一致性得到大幅度的提升。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117567024A
公开(公告)日：2024-02-20
申请号：CN202311496927.4
申请日：2023-11-10
Applicant: 北方夜视技术股份有限公司 , 北方夜视科技(南京)研究院有限公司
IPC: C03C3/078 , C03C13/04 , C03B37/028 , C03B37/027 , G02B1/00
Abstract: 本发明提供一种用于控制超薄微通道板变形的实体边玻璃材料及其应用，该实体边玻璃材料以质量百分比计，包括以下组分：SiO2 60％～70％；Na2O 8％～12％；K2O 5％～10％；MgO 2％～8％；CaO 2％～8％；BaO 1％～5％。实体边玻璃材料的热膨胀系数高于有效区皮料玻璃材料的热膨胀系数，且软化点低于有效区皮料玻璃材料的软化点，所述实体边玻璃材料制成的单一材料实体边，在微通道板氢还原之前形成实体边对于有效区的拉应力，抵消氢还原过程中有效区皮料玻璃体积与热膨胀系数的变化趋势，以解决超薄微通道板氢还原过程中变形的问题。
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公开(公告)号：CN116759286A
公开(公告)日：2023-09-15
申请号：CN202310407267.1
申请日：2023-04-17
Applicant: 北方夜视技术股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种高位置分辨能力的微通道板、制备方法及其应用，该高位置分辨能力的微通道板，包括：薄片形的微通道板阵列基底；在输入面和输出面镀制的电极膜层；在输出面进一步镀制的多孔泡沫状金属膜层，并朝向通道内部延伸。在输入面，通过扩口降低对原本撞击到通道壁的电子发生弹性、非弹性散射或者产生二次电子偏移至其他通道的比例，提升位置分辨能力。在输出面，采用具有高功函数及高孔隙率的多孔泡沫状金属膜层，吸收撞击到多孔泡沫状金属膜层区域的电子，抑制此区域二次电子的产生，通过损失出射角度大的电子来实现输出电子准直，提高微通道板位置分辨能力，从而提升微通道板应用于微光像增强器后的分辨力、传函等位置分辨性能。
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公开(公告)号：CN113445010B
公开(公告)日：2022-09-13
申请号：CN202110723599.1
申请日：2021-06-29
Applicant: 北方夜视技术股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种在微通道板通道阵列制备复合金属膜层过程中减少开口面积比损失量的工艺以及微通道板，包括以下步骤：提供密集排列的圆形微孔阵列的基底；在真空环境下，在所述圆形微孔阵列的圆形微孔输入面和一定深度的内壁采用两种材料先后蒸镀的方式进行叠加，形成顺序层叠结构ABA，其中A层为镍铬合金层，B层为金属银或者铜层。本发明通过在微通道板输入面及一定深度内壁蒸镀复合金属膜层，既满足面电阻技术指标要求，同时避免传统厚度太厚、开口面积比损失较大的问题。
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公开(公告)号：CN111968897B
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN202010720098.3
申请日：2020-07-24
Applicant: 北方夜视技术股份有限公司
Abstract: 本发明提出了一种微通道板控压氢还原的装置和方法。该装置包括氢还原反应腔体、加热系统、气体供应系统、控压系统、安全防护系统。该方法主要在氢还原反应腔体内进行微通道板的氢还原过程，并通过加热系统控制氢还原反应腔体，使用气体供应系统向氢还原反应腔体通入氮气或氢气，通过控压系统控制氢还原反应腔体内的压力，由安全防护系统保障整个氢还原过程的安全并对产生的尾气进行处理。该装置和方法可以在微通道板氢还原的过程中保证整个氢还原过程处于可控恒压状态，压力范围为1Pa～1×106Pa，最终实现微通道板处于氢还原反应腔体的等温区内时，其氢还原后的体电阻离散系数较小。
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公开(公告)号：CN113445010A
公开(公告)日：2021-09-28
申请号：CN202110723599.1
申请日：2021-06-29
Applicant: 北方夜视技术股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种在微通道板通道阵列制备复合金属膜层过程中减少开口面积比损失量的工艺以及微通道板，包括以下步骤：提供密集排列的圆形微孔阵列的基底；在真空环境下，在所述圆形微孔阵列的圆形微孔输入面和一定深度的内壁采用两种材料先后蒸镀的方式进行叠加，形成顺序层叠结构ABA，其中A层为镍铬合金层，B层为金属银或者铜层。本发明通过在微通道板输入面及一定深度内壁蒸镀复合金属膜层，既满足面电阻技术指标要求，同时避免传统厚度太厚、开口面积比损失较大的问题。
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