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公开(公告)号：CN112212849A
公开(公告)日：2021-01-12
申请号：CN202010969386.2
申请日：2020-09-15
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5712
Abstract: 本发明公开了一种环形三轴解耦硅微陀螺仪的结构，包括上层的器件结构层、下层的玻璃衬底层以及生长于玻璃衬底层上的金属引线层，器件结构层为环形对称结构，包括驱动传递框架，内耦合环，翻滚角、俯仰角检测质量圆盘，航向角检测框架，其中，45°、135°、225°、315°方向上四个驱动传递框架通过内耦合环连接，实现等幅差分驱动和差分检测；内耦合环通过工字型解耦梁与三轴检测部分相连，实现了驱动和三轴检测之间较好的解耦功能；翻滚角和俯仰角检测通过翻滚角、俯仰角检测质量圆盘和对应的翻滚角金属电极薄膜，俯仰角金属电极薄膜构成翻滚角和俯仰角检测部分，航向角检测部分通过四组航向角检测框架进行航向角检测，能够达到较好的检测性能。
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公开(公告)号：CN110308306B
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN201910572411.0
申请日：2019-06-28
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/03
Abstract: 本发明公开了一种基于全差分二维光子晶体腔体结构的MOEMS加速度计及其加工方法，加速度计由上至下依次包括光路保护层、器件层、氧化硅掩埋层和硅支撑层，其中，器件层包括MEMS敏感质量块、光学结构微腔、悬臂梁和支撑外框架，MEMS敏感质量块四周通过多个悬臂梁与支撑外框架相连，光学结构微腔对称分布于MEMS敏感质量块相对的两边上；光路保护层用于保护MEMS敏感质量块和光学结构微腔；氧化硅掩埋层用于整体结构的释放；硅支撑层用于支撑氧化硅掩埋层和器件层。本发明采用光学检测方案，相比于传统的机械检测方案，具有更高的带宽和分辨率。
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公开(公告)号：CN109398696B
公开(公告)日：2020-03-31
申请号：CN201811208944.2
申请日：2018-10-17
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种基于压电双晶片翅膀的角度可调节微飞行器及其加工装配方法，飞行器包括一对压电双晶片翅膀、上机身盖、下机身盖、4对内侧机身、4对外侧机身和3条支撑腿，相对的内侧机身和外侧机身上设有倾角和位置相同的翅膀插槽，一个压电双晶片翅膀固定在一对插槽倾角和位置相同的内、外侧机身上，另一个压电双晶片翅膀固定在与之对称的一对内、外侧机身上；上机身盖用于固定内、外侧机身，下机身盖用于固定内、外侧机身和安装支撑腿；其中上下机身盖和内、外侧机身上开设有控制压电双晶片翅膀引线的过线孔。本发明结构简单，加工难度低，成本低，翅膀固定位置和角度可选择方案多，适合做数据采集和测飞实验。
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公开(公告)号：CN108955664A
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201810809702.2
申请日：2018-07-23
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5698
Abstract: 本发明公开了一种基于光学微腔的全解耦环形微陀螺仪及其加工方法，微陀螺仪由上至下包括盖帽和晶圆，所述晶圆包括上层的器件层和下层的衬底层，器件层设有若干电极、谐振子、第一光学微腔、第二光学微腔、第一光波导和第二光波导，所述电极与谐振子内壁相邻，构成电容，第一光波导和第二光波导对称分布于谐振子两侧，第一光学微腔和第二光学微腔分别与第一光波导和第二光波导相邻，且第一光学微腔和第二光学微腔均与谐振子相连。本发明采用光学检测方案，相比传统的微机电陀螺仪，该陀螺仪的可靠性和测量精度都可以达到一个更高的水平。
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公开(公告)号：CN108674649A
公开(公告)日：2018-10-19
申请号：CN201810353820.7
申请日：2018-04-19
Applicant: 东南大学
IPC: B64C33/00 , B64C39/02 , B23K26/38 , B23K26/382 , B23K26/402 , B29C65/02
CPC classification number: B64C33/00 , B23K26/38 , B23K26/382 , B23K26/402 , B29C65/02 , B64C39/028 , B64C2201/025 , B64C2201/042
Abstract: 本发明公开一种压电式微型扑翼飞行器及其传动机构加工方法，飞行器包括飞行器机身、压电驱动器固定板、传动机构、两个侧翼、尾翼、三个柔性铰链和双晶片压电驱动器；飞行器机身为空腔结构，压电驱动器固定板和传动机构设在空腔结构内，传动机构两端穿出飞行器机身两侧，两个双晶片压电驱动器一端与传动机构插接，另一端与压电驱动器固定板插接；一个双晶片压电驱动器一端与压电驱动器固定板插接，另一端伸出飞行器机身；两个侧翼和尾翼根部均粘附有柔性铰链，两个侧翼通过柔性铰链粘附在传动机构上，尾翼通过柔性铰链粘附在双晶片压电驱动器伸出飞行器机身部。本发明质量轻、尺寸小，飞行器具有优异的平衡性和稳定性，能实现多个姿态的控制。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105628013B
公开(公告)日：2018-06-19
申请号：CN201610013588.3
申请日：2016-01-07
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5691
Abstract: 本发明公开一种组装式半球谐振微陀螺仪，属于微机电和惯性导航领域，上层玻璃衬底、外围锚点结构和下层玻璃衬底由上而下依次设置，在上层玻璃衬底的底面的中心设有圆形凹槽，外围锚点结构为中空的框型结构，圆形凹槽和外围锚点结构的中空区域相连通形成腔体，在该腔体的中心设置半球壳谐振子；在上层玻璃衬底上等间距设置十六个电极，每个电极均分别与相对应的十六个电极孔相连，电极孔设置在上层玻璃衬底中；本发明还公开了一种组装式半球谐振微陀螺仪加工工艺。本发明的一种组装式半球谐振微陀螺仪实现了封装，缩减了生产周期，提高了产生效率；本发明的半球壳谐振子和均布式电极的加工工艺简单，尺寸较小，生产成本较低，适合批量化生产。
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公开(公告)号：CN107655467A
公开(公告)日：2018-02-02
申请号：CN201711129954.2
申请日：2017-11-15
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5691 , G01C19/5783
CPC classification number: G01C19/5691 , G01C19/5783
Abstract: 本发明公开一种整体式微半球谐振陀螺仪及其加工封装方法，整体式微半球谐振陀螺仪包括半球壳谐振子、支撑柄、上层玻璃衬底、下层玻璃衬底、中间硅衬底、外围锚点结构、电极、第一电极孔、焊盘、金属掩膜层、金属引线和第二电极孔；上层玻璃衬底、中间硅衬底和下层玻璃衬底自上而下依次设置，外围锚点结构设在中间硅衬底的外周；半球壳谐振子设中间硅衬底内；电极均匀分布在半球壳谐振子外周；上层玻璃衬底上第一电极孔；第一电极孔上设有焊盘；第二电极孔设在下层玻璃衬底中心位置，金属掩膜层底端通过金属引线与第二电极孔相连。本发明尺寸小，结构完整性好、精密度和灵敏度高、使用寿命长；加工封装方法能缩短生产周期，适合批量化生产。
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公开(公告)号：CN104613952B
公开(公告)日：2017-09-19
申请号：CN201510076084.1
申请日：2015-02-12
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5712 , B81C1/00
Abstract: 本发明公开一种三轴单片集成全解耦角振动环式硅陀螺仪，包括玻璃基底和安装于玻璃基底表面的陀螺结构，玻璃基底上设有信号引线与陀螺结构的电极相连接；陀螺结构包括安装于玻璃基底中心位置的中心锚点、圆环框架、检测框组件和驱动梳齿组件，中心锚点也位于圆环框架的中心位置；圆环框架从内向外依次包括有同心设置的内环、中环和外环，内环安装于中心锚点的外周且内环与中心锚点之间通过若干第一支撑梁固定连接，内环与中环之间连接有若干驱动梳齿组件，中环与外环通过第二支撑梁连接固定，且外环与中环之间设有检测框组件。本发明具有体积小、重量轻、成本低，功耗小以及可靠性高等优点。
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公开(公告)号：CN106959106A
公开(公告)日：2017-07-18
申请号：CN201710217077.8
申请日：2017-04-05
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/56
Abstract: 本发明公开一种基于SOI封装的熔融石英微半球谐振陀螺仪及其加工方法，基于SOI封装的熔融石英微半球谐振陀螺仪包括玻璃基底、SOI密封壳、熔融石英微半球壳谐振子、微半球壳支撑柱、基准电极、8个敏感电极、16六个激励电极、圆形金属焊盘和圆柱形电极通孔。本发明电极位于球壳唇沿的正下方，能避免微半球壳谐振子和电极组装时，由于键合对准精度问题而造成的偏心误差；而且在球壳唇沿处增加了唇外沿，增大了电极与球壳唇沿的正对面积，能提高检测精度；充分利用了SOI晶圆片的优势，对微半球谐振陀螺仪进行封装，使得整个陀螺仪的封装工艺大大简化；具有8个敏感电极和16个激励电极，能采用全角工作模式，使微半球谐振陀螺仪的动态性能将得到增强。
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公开(公告)号：CN104807454B
公开(公告)日：2017-07-18
申请号：CN201510213185.9
申请日：2015-04-29
Applicant: 东南大学
Inventor： 夏敦柱
IPC: G01C19/5733 , G01C19/5769 , G01P15/125 , G01P15/18
Abstract: 本发明公开一种单片集成六自由度微惯性测量单元及其加工方法，包括键合安装于玻璃基底中心位置的主单元结构，主单元结构呈正方形，包括三轴加速度计单元和三轴陀螺仪单元；三轴陀螺仪单元包括四个结构相同的正方形框架，正方形框架内侧边上连接有Z轴检测结构、驱动结构、Y轴检测结构和X轴检测结构；三轴加速度计单元包括位于主单元结构中心位置的中心质量块，以及分别安装于主单元结构四个顶角处的扭摆式质量块。本发明具有测量精度高、可靠性强、面板利用率高、全解耦、质量小成本低以及体积结构精简巧妙等优点，并且能够同时测量三个方向的加速度和角速度，适用性强，具有广阔的市场前景。
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