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公开(公告)号：CN118566106A
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202410501439.6
申请日：2024-04-25
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
IPC: G01N17/00
Abstract: 本发明公开了一种用于腐蚀性气体腐蚀测试的低真空实验装置，包括真空腔室（1）、排气真空泵（7）、气体循环泵（9）、气体导管（10）、加热器、温度探测器（5）、氟气浓度探测器（4）、真空计（6）和电控阀体（2），温度探测器（5）的探头向内延伸至样品方式区域，用于测量样品周围的实时温度，真空计（6）测量真空腔室（1）内部的真空度（1），电控阀体（2）通过阀体通断配合，实现低真空实验装置的真空保持、气体单向排出及气体内部循环流动，当氟气浓度低于设定数值时，实验装置自动排气、抽真空、补充氟气，氟气浓度及真空度达均达到设定数值后，实验装置开启气体内部循环流动功能，便于腐蚀性气体进行腐蚀测试。
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公开(公告)号：CN117307485A
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202311327697.9
申请日：2023-10-13
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种真空泵润滑供给系统，包括泵体，所述泵体包括有壳体组件、设置于壳体组件内部的转子组件和用于驱动转子组件转动的电机，所述泵体内部设置有用于循环供给润滑油的供给机构，所述供给机构包括润滑油池、甩油盘组件、接油盒、出油通道和回油通道，所述润滑油池设置在壳体组件内部用于存储和供给润滑油，所述甩油盘组件设置在转子组件上用于产生离心力甩动润滑油池内部的润滑油。本发明结构简单，设计合理，将润滑油输送系统设置在两端轴承之间，保证了轴系的刚性，大幅提升了真空泵的可靠运转时间，同时设置一个润滑油池，通过发明润滑油传递系统实现了远端轴承的可靠润滑，大大缩小了泵体体积，为各行业节省了大量空间。
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公开(公告)号：CN114458601B
公开(公告)日：2022-12-16
申请号：CN202111627054.7
申请日：2021-12-29
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司
Abstract: 本发明公开了一种罗茨真空泵润滑结构，涉及真空泵的技术领域，包括真空泵的泵体，所述泵体的一侧设置有壳体，所述壳体的内部设置有两组转轴，两组所述转轴的一端贯穿泵体并安装有扇叶，两个所述转轴的一端安装有轴承和配合轴承使用的注油装置；所述注油装置包括两个吸油盘和套设于轴承外部的浸油盒，两个所述吸油盘的下端均安装有抽油组件，两个所述吸油盘的上端均设置有导油管，所述导油管贯穿壳体并延伸至外部，延伸至外部的两个所述导油管之间设置有过滤组件。本发明，通过散热组件中的第一扇叶的旋转，加速空气的流动，从而对散热片进行散热，进而降低润滑油的温度，保护轴承的使用。
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公开(公告)号：CN114718875B
公开(公告)日：2022-08-23
申请号：CN202210638190.4
申请日：2022-06-08
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司
Abstract: 具有零部件防腐蚀功能的真空泵气体过滤装置，属于真空泵技术领域，为解决部分气体中杂质含量较多，一些颗粒物通过真空泵的时候会对真空泵内部零件造成损伤，工艺气体在遇到高温时会加速对真空泵内零部件的腐蚀的问题；本发明通过主动轴和从动轴上的压缩叶轮转动的过程中通过进气管抽取气体，气体通过进气管穿过固定环，并进入到上壳体和下壳体内部，转动圈转动的时候通过固定圈带动过滤构件转动，气体在固定环的内部会穿过贯穿孔并受到过滤棉的过滤，本发明中过滤棉转动以此来分担气体中的杂质，在对气体进行过滤的同时过滤棉的旋转会增加过滤的效果避免过滤棉发生堵塞，减少过滤棉的更换频率。
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公开(公告)号：CN114658655A
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202210208853.9
申请日：2022-03-04
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明属于干式真空泵转子型线设计领域，特别涉及一种新型直爪式转子型线。包括：三段直线、两段摆线以及五段圆弧依次连接组成，具体为：所述三段直线，分别包括：爪尖直线JA，爪臂直线BC，爪底直线FG；所述五段圆弧，分别包括：爪顶圆弧AB，节圆圆弧DE，爪底圆弧HI，爪臂处圆弧CD，去锐角圆弧EF；所述两段摆线，分别包括：爪臂处摆线IJ，爪底处摆线GH；所述的转子型线按照顺时针方向分别为：首尾连接的爪尖直线JA、爪顶圆弧AB，爪臂直线BC，爪臂处圆弧CD，节圆圆弧DE，去锐角圆弧EF，爪底直线FG，爪底处摆线GH，爪底圆弧HI，爪臂处摆线IJ。本发明通过去锐角尖点的方式，可有效地减少尖点处的应力集中现象，具有较高的强度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114421710A
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN202111619190.1
申请日：2021-12-28
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司
Abstract: 本发明公开了一种干式真空泵散热系统，涉及真空泵的技术领域，包括真空泵的电机，所述电机的外壁设置有散热片，所述散热片的中心轴位置设置有主轴，所述电机的外壁安装有散热组件，所述电机的尾部安装有保护壳，所述保护壳的内部设置有扇叶组件和滤网组件。本一种干式真空泵散热系统，通过凸轮旋转带动按压杆旋转，使按压杆配合第二弹簧带动刷杆上下移动，进而带动毛刷摆动，更好的对滤网表面进行清洁。
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公开(公告)号：CN114396372A
公开(公告)日：2022-04-26
申请号：CN202111595538.8
申请日：2021-12-24
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司
Abstract: 本发明公开了一种干式真空泵冷却系统，涉及真空泵冷却技术领域，包括底座和从左到右依次设置于底座顶部的泵体、电机与循环冷却装置，泵体通过电机驱动，循环冷却装置中的冷却管分别设置于电机外壳和泵体的出气口处，电机右侧的冷却管中设置有用于控制冷却水开启的第一开启装置，泵体右上方的冷却管中设置有用于控制冷却水开启的第二开启装置。在本发明中，通过电机和泵体具体的热量情况，分别开启第一开启装置和第二开启装置中的阀门，自动控制电机和泵体所需冷却液的流量；且在阀门开启的同时带动水流检测机构，使得操作者实时监测电机和泵体所用冷却液具体的流量情况，避免出现缺少冷却液工作的现象。
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公开(公告)号：CN216975243U
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN202123344362.7
申请日：2021-12-29
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司
Abstract: 本实用新型公开了一种干式真空泵的清洁装置，涉及干式真空泵技术领域，包括清洁组件，清洁组件包括第一安装板和设置于第一安装板左侧的第二安装板，第一安装板和第二安装板相对侧均开设有放置槽，放置槽内设置有连接板，连接板的另一侧设置有多个刷毛。在本实用新型中，通过增加了清洁组件，进而可以通过第一安装板和第二安装板将主轴环绕住，再通过第一安装板和第二安装板内的刷毛对主轴进行清洁，避免直接通过清洁布对主轴清洁导致有些地方没有清洁到的问题，提高了清洁的工作效率。
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公开(公告)号：CN216978274U
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN202123344078.X
申请日：2021-12-24
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司
IPC: G01M3/06
Abstract: 本实用新型公开了一种多级罗茨真空泵壳体检测工装，涉及真空泵检测技术领域，包括底板、设置于底板上方右侧的电推缸、设置于底板上方中部的检测箱和通过夹持组件设置于检测箱上方的真空泵壳体本体，真空泵壳体本体左右两侧的通口分别通过第一封堵组件封堵，真空泵壳体本体上端的通口通过第二封堵组件封堵。在本实用新型中，通过第一封堵组件与第二封堵组件对真空泵壳体本体上的通口进行封堵，同时封堵法兰环盘伸入真空泵壳体本体内实现一次密封，环形抵接板及密封胶垫实现二次密封，避免真空泵壳体的通孔连接处没有完全密封，进而导致检测结果不准确的情况发生。
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公开(公告)号：CN216976119U
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN202123275175.8
申请日：2021-12-24
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司
Abstract: 本实用新型涉及一种干式真空泵密封机构，包括真空泵主体，真空泵主体前端面设置有若干排气管，排气管顶端边部设置有阀体，排气管外表面焊接有固定套管，固定套管外表面一侧等距开设有通孔，通孔内部滑动安装有T型杆，位于固定套管两侧中部处的T型杆一端边部安装有第一密封垫，位于固定套管两端中部处的T型杆一端边部安装有第二密封垫，第一密封垫和第二密封垫一端边部对称安装有弹簧，固定套管外表面一侧滑动安装有限位套管，限位套管内壁一侧与T型杆对应位置处等距开设有放置槽，本实用新型具有便于对排气管处进行密封保护的效果，提高了排气管处的密封性，避免了排气管处存在气体漏出的问题，增强了真空泵在抽气时的效率。
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