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公开(公告)号：CN102564319A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201110457188.9
申请日：2011-12-30
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明是一种利用图像处理技术检测晶圆直线传输中滑移量的方法，包括步骤：S1，将摄像机安装在输片机械手上方，并在晶圆及机械手末端执行器上加以标记；S2，利用摄像机分别对机械手收缩和伸展状态进行拍摄，依据拍摄图像微调所述标记，完成上述操作后用摄像机获取机械手直线输片的视频；S3，基于几何光学基本原理及CCD像素分布参数，计算所述视频的每一帧图像中晶圆相对机械手的位置；S4，逐帧分析对比晶圆相对机械手的位置变化，计算并拟合获得滑移量随时间的变化曲线。本发明能够满足不同精度等级下滑移量检测要求；可为晶圆传输机械手的速度、加速度优化控制提供理论和实验依据，从而满足输送精度的情况下达到更高的输送效率。
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公开(公告)号：CN102324366A
公开(公告)日：2012-01-18
申请号：CN201110274285.4
申请日：2011-09-15
Applicant: 清华大学
IPC: H01J37/317 , H01L21/68
Abstract: 本发明为一种离子注入机多片晶圆定位系统，包括多层独立的晶圆定位单元，每层晶圆定位单元包括：电机、编码器、同步带、晶圆托盘、光源、传感器以及支架；电机和编码器之间通过同步带连接，晶圆托盘由电机带动旋转，同时编码器通过同步带测量晶圆托盘转动的角度，晶圆置于晶圆托盘上；晶圆托盘转动时光源发出光信号，传感器扫描晶圆边缘并将检测结果传给主控计算机。本发明结构紧凑能同时定位多片晶圆，在晶圆定位的同时可在该系统中取放其它晶圆，提高了离子注入机晶圆定位的整体效率。
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公开(公告)号：CN101632974A
公开(公告)日：2010-01-27
申请号：CN200910091298.0
申请日：2009-08-17
Applicant: 清华大学
Inventor： 陈恳 , 陈雁 , 宋立滨 , 杨向东 , 张传清 , 邵君奕 , 陈明启 , 李金泉 , 付成龙 , 吴丹 , 杨东超 , 刘莉 , 路敦民 , 付铁 , 刘宗政 , 曹文敦 , 徐家球 , 郑林斌 , 王力强 , 颜华
Abstract: 本发明涉及一种无稳压器长尺寸喷涂管道压力稳定装置，该装置包括：涂料容器(12)，以及通过若干涂料软管(11)依次连接的隔膜泵(2)、调压器(6)、喷枪(8)、备压器(10)，隔膜泵(2)输入端以及备压器(10)输出端连接的涂料软管(11)浸入涂料容器(12)内的涂料液面以下，隔膜泵(2)用于驱动涂料经涂料软管(11)进入喷枪(8)，多余涂料经涂料管道流回涂料容器(12)；调压器(6)以及备压器(10)用于设定并维持涂料管道压力。本发明装置结构简单、成本较低、可用于大型喷涂机器人等涂料需长距离输送的场合。
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公开(公告)号：CN101628290A
公开(公告)日：2010-01-20
申请号：CN200910091299.5
申请日：2009-08-17
Applicant: 清华大学
Inventor： 陈雁 , 杨向东 , 宋立滨 , 陈恳 , 张传清 , 邵君奕 , 付成龙 , 吴丹 , 杨东超 , 刘莉 , 李金泉 , 付铁 , 路敦民 , 陈明启 , 曹文敦 , 刘宗政 , 徐家球 , 郑林斌 , 王力强 , 颜华
Abstract: 本发明涉及一种涂料管道免拆清洗方法，该方法包括步骤：排空涂料管道：将涂料管道入口端置于空气中，打开涂料泵吸取空气，将涂料管道中的剩余物质排出；清洗剂、空气混合清洗：关闭涂料泵，将涂料管道入口端部分浸入涂料容器清洗剂液面以下，出口端放入同一涂料容器中，启动涂料泵同时吸取清洗剂和空气，对涂料管道进行清洗；清洗剂清洗：关闭涂料泵，将涂料管道入口端完全浸入涂料容器清洗剂液面以下，出口端放入另一涂料容器中，启动涂料泵对涂料管道进行清洗；喷枪喷涂清洗：启动喷枪，进行喷枪喷涂清洗。本发明的方法操作简单，成本低，无需特定清洗设备，可广泛应用于大型喷涂系统的快速清洗和维护。
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公开(公告)号：CN101618551A
公开(公告)日：2010-01-06
申请号：CN200910089432.3
申请日：2009-07-17
Applicant: 清华大学
Inventor： 陈明启 , 杨向东 , 刘召 , 陈恳 , 李金泉 , 路敦民 , 张传清 , 陈雁 , 邵君奕 , 付成龙 , 吴丹 , 杨东超 , 刘莉 , 付铁 , 刘宗政 , 曹文敦 , 徐家球 , 郑林斌 , 王力强 , 颜华
Abstract: 本发明公开了一种机器人正压防爆系统及方法。该系统包括电机密封罩，用于将电机、插头和插座密封；总气阀，用于将气体输入管道；总进气调节阀，其输入端与所述总气阀的输出端连接，用于将气体的压力调节到合适的值，使得电机密封罩内为正压状态；分进气调节阀，其输入端与总进气调节阀的输出端连接，用于根据电机的尺寸调节进入电机密封罩中气体的压力；微调排气阀，其一端与电机密封罩的排气端连接，用于人工调节排气速度以使得电机密封罩内为正压状态；可编程逻辑控制器，其输入端与所述电接点压力表连接，用于当电接点压力表发出达到正压的电信号时启动所述电机。本发明的系统结构简单、成本低、具有良好防爆功能，且适用于多自由度机器人。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101298260A
公开(公告)日：2008-11-05
申请号：CN200810114738.5
申请日：2008-06-11
Applicant: 清华大学
IPC: B62D57/032 , G05B19/02
Abstract: 本发明属于机器人技术领域，特别涉及一种低功耗双足步行移动系统及其步行控制方法。本发明提出了用于所述双足步行移动系统的步行控制器(20)，其中，逻辑状态判断单元(22)通过行走状态检测单元(21)检测安装在足底和膝关节髌骨处的开关信号值，从而控制安装在膝关节的制动装置(14L和14R)松开或者锁闭，同时在髋关节(11)处施加一个间断的、参数化的开环振荡力矩，从而使得摆动大腿带动摆动小腿自然地向前迈步。通过改变振荡力矩参数单元(25)的参数，该系统可以对步幅和步速进行在线调节，实现行走模式转换。本发明充分利用了双足行走的被动特性和自稳定特性，行走步态自然节能，控制方法简单，制造成本低廉。
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公开(公告)号：CN106406518B
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201610739466.2
申请日：2016-08-26
Applicant: 清华大学
IPC: G06F3/01
Abstract: 本发明提供了一种手势控制装置及手势识别方法，手势控制装置包括：计算终端，用于进行离线的自然手势建模和在线的手势识别；多个传感器，分别设置在被测对象的小臂、大臂以及躯干处以相应地采集小臂、大臂以及躯干的姿态坐标，且各传感器通信连接于计算终端。其中，在在线的手势识别过程中，计算终端基于各传感器采集到的数据进行计算处理，经过计算处理得到的被测对象的实际状态与计算终端在离线的自然手势建模过程中得到的手势模型自动比对以完成被测对象的手势识别。在本发明的手势控制装置中，计算终端能够处理重复动作，简化了离线的自然手势建模过程和在线的手势识别过程，提高了手势识别率，并使得接近人习惯的自然手势控制成为可能。
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公开(公告)号：CN104656440B
公开(公告)日：2017-06-06
申请号：CN201410831805.0
申请日：2014-12-26
Applicant: 清华大学
IPC: G05B13/04
Abstract: 本发明提供了一种仿人机器人步态生成方法，其包括步骤：S1，通过分析人类步行的驱动特征建立一个初始步行模式发生器，产生可用于实现基本步行运动的关节驱动力矩up；S2，通过传感反射的局部特性建立牵张反射数学模型和前庭反射的数学模型，将牵张反射产生的关节驱动力矩ustretch和前庭反射产生的关节驱动力矩uvest叠加于关节驱动力矩up，通过调整关节驱动力矩ustretch、uvest调整机器人在运动空间中的关节轨迹，保证机器人在行走过程中支撑腿不离开地面、摆动腿能达到正确的位置；S3，建立ZMP(Zero Moment Point)反射模型，将ZMP反射产生的关节驱动力矩uzmp叠加于关节驱动力矩ustretch、uvest及up，通过调整关节驱动力矩uzmp进一步调整上述关节轨迹，使得机器人实现稳定的步行运动、提高机器人运动的环境适应能力。
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公开(公告)号：CN106625605A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201710011314.5
申请日：2017-01-06
Applicant: 清华大学
CPC classification number: B25J9/0006 , A61H3/00 , A61H2003/007 , A61H2201/1207 , A61H2201/165 , A61H2205/10
Abstract: 本发明提供一种轻型踝关节外骨骼，包括离合器、触发装置、动力装置和人体穿戴部分，所述动力装置与所述离合器连接，所述离合器与所述触发装置连接，所述动力装置通过所述离合器使所述人体穿戴部分绕踝关节发生转动，所述触发装置和所述离合器固定在所述人体穿戴部分上。本发明的轻型踝关节外骨骼，可在踝关节处为人体行走提供助力，减少人体行走耗能。本发明中采用电机连续工作，通过助力弹簧储存能量，在瞬时释放的工作模式，代替了已有外骨骼电机直接瞬时助力的模式，降低了对电机功率的要求，实现用低功率电机提供高功率助力的效果，从而降低了电机系统的重量和尺寸，实现外骨骼的轻型化。
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公开(公告)号：CN106406518A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201610739466.2
申请日：2016-08-26
Applicant: 清华大学
IPC: G06F3/01
CPC classification number: G06F3/017
Abstract: 本发明提供了一种手势控制装置及手势识别方法，手势控制装置包括：计算终端，用于进行离线的自然手势建模和在线的手势识别；多个传感器，分别设置在被测对象的小臂、大臂以及躯干处以相应地采集小臂、大臂以及躯干的姿态坐标，且各传感器通信连接于计算终端。其中，在在线的手势识别过程中，计算终端基于各传感器采集到的数据进行计算处理，经过计算处理得到的被测对象的实际状态与计算终端在离线的自然手势建模过程中得到的手势模型自动比对以完成被测对象的手势识别。在本发明的手势控制装置中，计算终端能够处理重复动作，简化了离线的自然手势建模过程和在线的手势识别过程，提高了手势识别率，并使得接近人习惯的自然手势控制成为可能。
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