公开(公告)号：CN102564319A

公开(公告)日：2012-07-11

申请号：CN201110457188.9

申请日：2011-12-30

Applicant: 清华大学

Inventor： 陈恳 ,  边柯柯 ,  高雨浩 ,  周于 ,  付翱 ,  付成龙 ,  杨开明 ,  朱煜 ,  孙勇 ,  伍三忠

IPC: G01B11/02 ,  G01C11/36 ,  H01L21/66

Abstract: 本发明是一种利用图像处理技术检测晶圆直线传输中滑移量的方法，包括步骤：S1，将摄像机安装在输片机械手上方，并在晶圆及机械手末端执行器上加以标记；S2，利用摄像机分别对机械手收缩和伸展状态进行拍摄，依据拍摄图像微调所述标记，完成上述操作后用摄像机获取机械手直线输片的视频；S3，基于几何光学基本原理及CCD像素分布参数，计算所述视频的每一帧图像中晶圆相对机械手的位置；S4，逐帧分析对比晶圆相对机械手的位置变化，计算并拟合获得滑移量随时间的变化曲线。本发明能够满足不同精度等级下滑移量检测要求；可为晶圆传输机械手的速度、加速度优化控制提供理论和实验依据，从而满足输送精度的情况下达到更高的输送效率。

公开(公告)号：CN102324366A

公开(公告)日：2012-01-18

申请号：CN201110274285.4

申请日：2011-09-15

Applicant: 清华大学

Inventor： 付成龙 ,  万超 ,  陈恳 ,  周于 ,  杨开明 ,  朱煜 ,  伍三忠

IPC: H01J37/317 ,  H01L21/68

Abstract: 本发明为一种离子注入机多片晶圆定位系统，包括多层独立的晶圆定位单元，每层晶圆定位单元包括：电机、编码器、同步带、晶圆托盘、光源、传感器以及支架；电机和编码器之间通过同步带连接，晶圆托盘由电机带动旋转，同时编码器通过同步带测量晶圆托盘转动的角度，晶圆置于晶圆托盘上；晶圆托盘转动时光源发出光信号，传感器扫描晶圆边缘并将检测结果传给主控计算机。本发明结构紧凑能同时定位多片晶圆，在晶圆定位的同时可在该系统中取放其它晶圆，提高了离子注入机晶圆定位的整体效率。

公开(公告)号：CN102564319B

公开(公告)日：2014-03-12

申请号：CN201110457188.9

申请日：2011-12-30

Applicant: 清华大学

Inventor： 陈恳 ,  边柯柯 ,  高雨浩 ,  周于 ,  付翱 ,  付成龙 ,  杨开明 ,  朱煜 ,  孙勇 ,  伍三忠

IPC: G01B11/02 ,  G01C11/36 ,  H01L21/66

Abstract: 本发明是一种利用图像处理技术检测晶圆直线传输中滑移量的方法，包括步骤：S1，将摄像机安装在输片机械手上方，并在晶圆及机械手末端执行器上加以标记；S2，利用摄像机分别对机械手收缩和伸展状态进行拍摄，依据拍摄图像微调所述标记，完成上述操作后用摄像机获取机械手直线输片的视频；S3，基于几何光学基本原理及CCD像素分布参数，计算所述视频的每一帧图像中晶圆相对机械手的位置；S4，逐帧分析对比晶圆相对机械手的位置变化，计算并拟合获得滑移量随时间的变化曲线。本发明能够满足不同精度等级下滑移量检测要求；可为晶圆传输机械手的速度、加速度优化控制提供理论和实验依据，从而满足输送精度的情况下达到更高的输送效率。

公开(公告)号：CN102324366B

公开(公告)日：2013-06-26

申请号：CN201110274285.4

申请日：2011-09-15

Applicant: 清华大学

Inventor： 付成龙 ,  万超 ,  陈恳 ,  周于 ,  杨开明 ,  朱煜 ,  伍三忠

IPC: H01J37/317 ,  H01L21/68

Abstract: 本发明为一种离子注入机多片晶圆定位系统，包括多层独立的晶圆定位单元，每层晶圆定位单元包括：电机、编码器、同步带、晶圆托盘、光源、传感器以及支架；电机和编码器之间通过同步带连接，晶圆托盘由电机带动旋转，同时编码器通过同步带测量晶圆托盘转动的角度，晶圆置于晶圆托盘上；晶圆托盘转动时光源发出光信号，传感器扫描晶圆边缘并将检测结果传给主控计算机。本发明结构紧凑能同时定位多片晶圆，在晶圆定位的同时可在该系统中取放其它晶圆，提高了离子注入机晶圆定位的整体效率。