公开(公告)号：CN102324366B

公开(公告)日：2013-06-26

申请号：CN201110274285.4

申请日：2011-09-15

Applicant: 清华大学

Inventor： 付成龙 ,  万超 ,  陈恳 ,  周于 ,  杨开明 ,  朱煜 ,  伍三忠

IPC: H01J37/317 ,  H01L21/68

Abstract: 本发明为一种离子注入机多片晶圆定位系统，包括多层独立的晶圆定位单元，每层晶圆定位单元包括：电机、编码器、同步带、晶圆托盘、光源、传感器以及支架；电机和编码器之间通过同步带连接，晶圆托盘由电机带动旋转，同时编码器通过同步带测量晶圆托盘转动的角度，晶圆置于晶圆托盘上；晶圆托盘转动时光源发出光信号，传感器扫描晶圆边缘并将检测结果传给主控计算机。本发明结构紧凑能同时定位多片晶圆，在晶圆定位的同时可在该系统中取放其它晶圆，提高了离子注入机晶圆定位的整体效率。

公开(公告)号：CN101964319A

公开(公告)日：2011-02-02

申请号：CN201010245272.X

申请日：2010-08-04

Applicant: 清华大学

Inventor： 付成龙 ,  陈恳 ,  万超 ,  周于 ,  刘志 ,  杨开明 ,  朱煜

IPC: H01L21/677

Abstract: 本发明涉及一种离子注入机晶圆传送系统及其晶圆传送方法。一种离子注入机晶圆传送系统，其包括真空靶室、左输片机械手、中输片机械手、右输片机械手、左隔离阀门、右隔离阀门、左片库、右片库及离子注入靶台；左输片机械手、中输片机械手、右输片机械手均固定在真空靶室内；左隔离阀门隔离左片库和真空耙室，右隔离阀门隔离右片库和真空耙室；离子注入靶台位于真空耙室内；左输片机械手的工作位包括左片库和离子注入靶台，中输片机械手的工作位包括左片库、右片库和离子注入靶台，右输片机械手的工作位包括右片库和离子注入靶台。该系统使用了三台机械手来配合传送晶圆，大大提高了晶圆传送的效率。

公开(公告)号：CN102324366A

公开(公告)日：2012-01-18

申请号：CN201110274285.4

申请日：2011-09-15

Applicant: 清华大学

Inventor： 付成龙 ,  万超 ,  陈恳 ,  周于 ,  杨开明 ,  朱煜 ,  伍三忠

IPC: H01J37/317 ,  H01L21/68

Abstract: 本发明为一种离子注入机多片晶圆定位系统，包括多层独立的晶圆定位单元，每层晶圆定位单元包括：电机、编码器、同步带、晶圆托盘、光源、传感器以及支架；电机和编码器之间通过同步带连接，晶圆托盘由电机带动旋转，同时编码器通过同步带测量晶圆托盘转动的角度，晶圆置于晶圆托盘上；晶圆托盘转动时光源发出光信号，传感器扫描晶圆边缘并将检测结果传给主控计算机。本发明结构紧凑能同时定位多片晶圆，在晶圆定位的同时可在该系统中取放其它晶圆，提高了离子注入机晶圆定位的整体效率。

公开(公告)号：CN101964319B

公开(公告)日：2013-03-20

申请号：CN201010245272.X

申请日：2010-08-04

Applicant: 清华大学

Inventor： 付成龙 ,  陈恳 ,  万超 ,  周于 ,  刘志 ,  杨开明 ,  朱煜

IPC: H01L21/677

Abstract: 本发明涉及一种离子注入机晶圆传送系统及其晶圆传送方法。一种离子注入机晶圆传送系统，其包括真空靶室、左输片机械手、中输片机械手、右输片机械手、左隔离阀门、右隔离阀门、左片库、右片库及离子注入靶台；左输片机械手、中输片机械手、右输片机械手均固定在真空靶室内；左隔离阀门隔离左片库和真空耙室，右隔离阀门隔离右片库和真空耙室；离子注入靶台位于真空耙室内；左输片机械手的工作位包括左片库和离子注入靶台，中输片机械手的工作位包括左片库、右片库和离子注入靶台，右输片机械手的工作位包括右片库和离子注入靶台。该系统使用了三台机械手来配合传送晶圆。大大提高了晶圆传送的效率。