有源矩阵基板、光闸基板、显示装置、有源矩阵基板的制造方法

    公开(公告)号:CN109313871A

    公开(公告)日:2019-02-05

    申请号:CN201780037820.X

    申请日:2017-06-21

    Abstract: 本发明提供难以在接触孔内产生金属膜的断接的有源矩阵基板。该有源矩阵基板在玻璃基板(1)上包括:第一绝缘膜~第三绝缘膜(4、6、11)和第一金属膜~第三金属膜(5、9、12);和将第一金属膜和第二金属膜(5、9)电连接的接触孔(CH),上述接触孔(CH)具有分别形成在第一绝缘膜~第三绝缘膜(4、6、11)中的第一孔~第三孔(H1、H2、H3),在第一孔(H1)的内侧,第一金属膜和第三金属膜(5、12)接触,在上述第三孔(H3)的下方的区域,第二绝缘膜(6)和氧化物半导体膜(7)重叠,在上述第一绝缘膜(4)的上方且第三孔(H3)的内侧或下方的区域,第二金属膜和第三金属膜(9、12)接触。

    有源矩阵基板、其制造方法和显示装置

    公开(公告)号:CN109075122B

    公开(公告)日:2023-05-12

    申请号:CN201780023732.4

    申请日:2017-05-02

    Abstract: 本发明提供具有可靠性高的配线连接构造的有源矩阵基板、其制造方法和显示装置。第一金属配线(122)和第二金属配线(125)经由被导体化的IGZO层(124)电连接。此时,因为在第二金属配线(125)与ITO层(109)之间形成有钝化层(107)和有机绝缘膜(108),所以第二金属配线(125)和ITO层(109)不接触而分离。由此,在第二金属配线(125)的铝层(125a)与ITO层(109)之间不会由于电蚀而发生接触不良,成为可靠性高的配线连接构造。

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