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公开(公告)号：CN107340063B
公开(公告)日：2019-12-20
申请号：CN201710488564.8
申请日：2017-06-23
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种热探测器及其制备方法，该热探测器包括从上之下依次排列的微结构阵列、介质层、金属层、钝化层以及热敏电阻层，微结构阵列结构对入射光进行筛选并吸收具有窄带光谱的红外光，具有窄带光谱的红外光在谐振腔内谐振，经由金属层将携带有窄带光谱的红外光转化为携带有窄带光谱的红外光的强度的热信号，热敏电阻层将携带有窄带光谱的红外光的强度的热信号转化为携带有窄带光谱的红外光的强度的电阻信号，通过解调携带窄带光谱的红外光的强度信息的阻值信息获得窄带光谱的红外光强度信息。
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公开(公告)号：CN114199383B
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202111404460.7
申请日：2021-11-24
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于等离激元复合微腔的热电堆窄带探测器及其制备方法，属于热红外探测领域。本发明采用介质材料作为微腔，共振主要存在于微腔中，解决了以往采用金属材料而带来的损耗问题，大大提升了吸收曲线的Q值，提升了探测效率，并且能够在近中红外波段范围内实现对特定波段的窄带热探测。将等离激元复合微腔与热电堆结合，通过调整等离激元复合微腔的尺寸大小，实现可调控的窄带吸收；同时结合现今热电堆的成熟工艺，采用标准的半导体加工工艺，可实现本发明中热电堆红外窄带探测器的规模化集成化生产，简化了热探测器工艺流程，大幅度降低制造成本。
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公开(公告)号：CN110299430B
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN201910490246.4
申请日：2019-06-06
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L31/18
Abstract: 本发明属于半导体光电子器件领域，公开了一种半导体薄膜光电探测器及其制备方法，其中制备方法包括以下步骤：(1)配制用于生长硫属化合物光敏半导体薄膜的前体溶液，将洁净的衬底浸入前体溶液中进行一次化学浴沉积，对应得到20‑500nm厚的薄膜，利用仅一次化学浴沉积或重复多次化学浴沉积生长得到厚度达到目标要求的硫属化合物光敏半导体薄膜；(2)将衬底进行整体退火敏化处理；制作电极即可得到半导体薄膜光电探测器。本发明通过对制备方法整体流程工艺设计、以及关键化学浴沉积的参数条件等进行改进，能够解决现有半导体薄膜光电探测器制备条件复杂、大规模生产成本高昂、工艺可靠性低和难以实现柔性化的问题。
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公开(公告)号：CN114025062B
公开(公告)日：2022-07-05
申请号：CN202111239416.5
申请日：2021-10-25
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种大口径红外超透镜相机，属于红外成像与微纳光子学技术领域，包括大口径超透镜、红外焦平面阵列探测器、超透镜机械组装件和外壳，大口径超透镜的口径大于50mm，厚度小于2mm，大口径超透镜与红外焦平面阵列探测器的距离大于30mm；超透镜机械组装件采用缓冲结构对超透镜进行固定、调节与抗震保护；外壳采用隔热涂层并密封处理，对镜头进行隔热与防水保护。本发明采用严格电磁场数值、衍射设计算法与大面积半导体工艺制备方法，将超透镜的口径提升至50mm以上，在保证超透镜F数满足图像信噪比的要求下，大大提高了相机的焦距与放大率，克服了以往超透镜相机焦距短、放大率小、成像距离不够的问题，能对中远距离物体进行探测成像。
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公开(公告)号：CN111027337B
公开(公告)日：2021-07-27
申请号：CN201911259491.0
申请日：2019-12-10
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种热辐射信息加载装置、方法及所加载信息的读取方法，包括从上到下依次分布的光学涂层、光学天线阵列层、绝缘层、金属背板、衬底，其中，光学天线阵列层附着有若干呈阵列分布的天线簇；所述光学天线阵列层、绝缘层、金属背板共同构成超表面吸收体，用于通过将图像信息加载到光学天线阵列层中天线簇的横向特征尺寸上，对其主动发射的红外热辐射进行调制，实现热辐射信息加载；所述光学涂层用于保护光学天线阵列层，并将光学天线阵列层上所加载的信息在可见光下隐形；该装置所加载的图像信息仅在红外探测器下可以清晰可见，人眼不可见，保密性好。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112859206A
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN202110100783.0
申请日：2021-01-26
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种将高斯光整形成平顶光的全介质超透镜及其制备方法，属于激光光束整形领域，全介质超透镜包括：介质衬底层和超表面结构；超表面结构位于介质衬底层一侧表面上，包括多个超表面柱状结构单元，多个超表面柱状结构单元按照四方晶格周期阵列的方式排列，各超表面柱状结构单元的高度相同。基于高斯光、目标平顶光电场强度振幅分布、全介质超透镜输入面和输出面的电场强度分布对超透镜相位进行优化设计，根据优化设计后的相位设计并制备超透镜。超表面结构大大减小光束整形器件的体积，器件厚度可减小至百微米量级，无需增加其他元件，简化光束整形装置，降低装配精度要求，该超透镜具有相位调控精度高的优势，能够实现连续的相位调控。
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公开(公告)号：CN111380612A
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN202010137402.1
申请日：2020-03-02
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种高光谱成像系统，包括：光谱扫描驱动组件，以及沿入射光方向依次放置的超表面透镜和CMOS探测器；其中，超表面透镜和CMOS探测器的中心点均位于光轴线上，且CMOS探测器的位置固定；光谱扫描驱动组件与超表面透镜的两端相连；本发明利用超表面透镜实现入射光线的轴向色散，由于超表面透镜的亚波长微结构具有高效调控能力，且通过扫描方式成像，可同时实现各光谱通道的衍射极限成像功能，相比实时快照式系统，数据处理简单，空间分辨率高。另外，由于CMOS探测器结构位置固定，利用便携的光谱扫描驱动组件对超表面透镜进行轴向移动，可实现各光谱分量的轴向扫描及共轴成像，显著提高了系统的成像质量和光谱线性度。
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公开(公告)号：CN111323857A
公开(公告)日：2020-06-23
申请号：CN202010133281.3
申请日：2020-03-01
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种偏振相关的超表面结构、元件及热辐射信息加载方法，该超表面结构包括衬底、金属背板、绝缘层和金属光学天线阵列，金属背板、绝缘层和金属光学天线阵列自下至上排布构成MIM超表面吸收体，位于衬底上方；绝缘层上设置有偏振标志位，用于偏振片的对准；金属光学天线阵列为不同长度和不同旋转角的金属纳米棒阵列，通过配置MIM超表面吸收体的各个金属纳米棒的旋转角实现热辐射信息加载。本发明使用偏振相关型超表面吸收体发射的长波红外线偏光为人眼不可见，具有优良保密性能。
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公开(公告)号：CN110488394A
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201910792371.0
申请日：2019-08-26
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开一种长波红外复合光学系统，包括：双级联超表面元件包括：第一超表面、第二超表面以及介质衬底层；所述第一超表面和第二超表面分别设置于介质衬底层的前表面和后表面；双级联超表面元件用于对入射光的波前进行调控，实现对入射光的高级像差进行校正后出射，入射光的波长在长波红外波段；透镜组置于双级联超表面元件出射光的一侧透镜组用于对入射光的初级像差进行校正并对光线进行聚焦后出射；红外焦平面探测器包含沿光轴依次设置的探测器窗口和红外焦平面阵列，探测器窗口用于滤除系统的杂散光及探测波段外的光线，红外焦平面阵列用于对聚焦后的红外光线入射光实现探测成像。本发明精简了光学系统的结构，优化了加工工艺。
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公开(公告)号：CN110244388A
公开(公告)日：2019-09-17
申请号：CN201910436751.0
申请日：2019-05-24
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于超表面的电可调卡塞格林反射系统，包括主镜和辅镜；辅镜包括：柔性振膜、第一金属反射层和电极；第一金属反射层位于柔性振膜上方，用于将经主镜反射到所述辅镜上的入射光进行反射聚焦；电极连接在辅镜的柔性振膜与主镜之间；柔性振膜在电极间电压的调节下弯曲，通过改变辅镜与主镜间的的距离调整聚焦点位置；主镜包括第二金属反射层、介质层和主镜超表面功能单元图案；主镜超表面功能单元图案满足主镜相位分布，以将外来的入射光反射到反射系统辅镜上，并经反射系统辅镜进行反射聚焦；本发明通过第一金属反射层上下移动，改变反射光经发射式超表面主镜上的透光孔后的聚焦位置，使卡塞格林反射系统的装调更加灵活。
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