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公开(公告)号：CN107170849B
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201710308855.4
申请日：2017-05-04
Applicant: 华中科技大学 , 深圳华中科技大学研究院
IPC: H01L31/0352 , H01L31/09
Abstract: 本发明公开了一种基于胶体量子点的条型超表面结构偏振相关窄带探测器及其制备方法，包括如下步骤：向玻璃板上生长一层硅；旋涂光刻胶；转移条形阵列结构进行显影处理；去胶处理；旋涂量子点；通过电子束蒸发设备蒸镀一层金。本发明利用条形阵列结构对短波红外特定波长的谐振作用，实现对特定波长光的全吸收，通过调节条形阵列结构的几何结构参数来控制光学吸收，实现了特定波长可调，实现可见光到红外光的吸收，且具有偏振相关性，进而胶体量子点材料制成探测器。该制备方法简易，响应迅速，可操作性强，具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN107170849A
公开(公告)日：2017-09-15
申请号：CN201710308855.4
申请日：2017-05-04
Applicant: 华中科技大学 , 深圳华中科技大学研究院
IPC: H01L31/0352 , H01L31/09
CPC classification number: H01L31/035218 , H01L31/09
Abstract: 本发明公开了一种基于胶体量子点的条型超表面结构偏振相关窄带探测器及其制备方法，包括如下步骤：向玻璃板上生长一层硅；旋涂光刻胶；转移条形阵列结构进行显影处理；去胶处理；旋涂量子点；通过电子束蒸发设备蒸镀一层金。本发明利用条形阵列结构对短波红外特定波长的谐振作用，实现对特定波长光的全吸收，通过调节条形阵列结构的几何结构参数来控制光学吸收，实现了特定波长可调，实现可见光到红外光的吸收，且具有偏振相关性，进而胶体量子点材料制成探测器。该制备方法简易，响应迅速，可操作性强，具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN106950631A
公开(公告)日：2017-07-14
申请号：CN201710319273.6
申请日：2017-05-09
Applicant: 华中科技大学 , 深圳华中科技大学研究院
Abstract: 本发明公开了一种基于介质微柱阵列的红外吸波体及其制备方法；该红外吸波体包括介质微柱阵列、介质层以及金属层；介质微柱阵列用于对入射光波长进行筛选处理，介质层用于使筛选后的入射光谐振产生电磁波，金属层用于将所述电磁波转化为热能吸收。该红外吸波体具有高品质因数，吸收峰宽度极窄的优点。当柱体高度为630nm～1210nm，柱体直径为809nm～1980nm，两个相邻柱体中心距离为1300nm～3600nm；以及介质层其厚度为1030nm～2310nm时，实现在介质微柱阵列表面的玻印亭矢量为零，进而保证吸收峰波长与入射角度在一定范围内无关；并实现吸波体的品质因数可以高于100，具有窄的吸收峰带宽。
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公开(公告)号：CN107340063B
公开(公告)日：2019-12-20
申请号：CN201710488564.8
申请日：2017-06-23
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种热探测器及其制备方法，该热探测器包括从上之下依次排列的微结构阵列、介质层、金属层、钝化层以及热敏电阻层，微结构阵列结构对入射光进行筛选并吸收具有窄带光谱的红外光，具有窄带光谱的红外光在谐振腔内谐振，经由金属层将携带有窄带光谱的红外光转化为携带有窄带光谱的红外光的强度的热信号，热敏电阻层将携带有窄带光谱的红外光的强度的热信号转化为携带有窄带光谱的红外光的强度的电阻信号，通过解调携带窄带光谱的红外光的强度信息的阻值信息获得窄带光谱的红外光强度信息。
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公开(公告)号：CN107275796A
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：CN201710488566.7
申请日：2017-06-23
Applicant: 华中科技大学
CPC classification number: H01Q17/008 , G02B5/003
Abstract: 本发明公开了一种太赫兹波吸波体、制备方法及应用，该太赫兹吸波体包括从上至下依次排列的天线阵列、介质层以及金属层，天线阵列包括多个呈阵列排布的天线单元，天线单元包括四个呈旋转对称的天线结构，天线结构呈未封闭的凹字形结构，天线结构开口位于凹字形左侧；介质层厚度为使经过天线阵列反射的反射光和经过金属层反射的反射光相位相差π，由于天线结构呈未封闭的凹字形结构，能够在天线结构所占据面积小情况下增加天线结构的有效长度，实现对太赫兹波段光吸收，介质层厚度使经过天线阵列反射的反射光和经过金属层反射的反射光相消，进而提高太赫兹吸波体的吸收率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107275421A
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：CN201710420652.4
申请日：2017-06-07
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L31/0232 , H01L31/0352 , H01L31/09 , H01L31/18 , B82Y30/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明公开了一种量子点光电探测器及其制备方法，包括如下步骤：在ITO玻璃衬底上旋涂PMMA光刻胶；光刻胶曝光及微结构图形定义；蒸镀一定厚度的金属薄膜；光刻胶剥离及金属微结构的生成；将制备好的量子点旋涂或喷涂在上述衬底上形成薄膜；继续蒸镀一定厚度的金属形成背底电极，完成器件制备。本发明利用金属微结构的窄带滤波和光场增强功能，对量子点光电响应进行波长调制和增敏，利用量子点薄膜光电效应，使得ITO与背底电极之间的电流发生显著变化。本发明通过选取合适的金属和量子点材料体系，调节金属微结构阵列的结构设计与量子点尺寸，实现高灵敏、可调谐的窄带光电探测器。
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公开(公告)号：CN108267482A
公开(公告)日：2018-07-10
申请号：CN201711418037.6
申请日：2017-12-22
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N27/00
Abstract: 本发明公开了一种钽酸锂窄带气体探测器及其制备方法，属于气体探测领域，钽酸锂窄带气体探测器，包括从下至上的下电极、钽酸锂晶片、金背板、介质层和天线阵列，所述天线阵列为多个呈阵列分布的天线，用于吸收光；所述介质层，用于使吸收的光产生共振得到电磁能量；所述金背板，用于将电磁能量转换成焦耳热；所述钽酸锂晶片，用于吸收焦耳热释放正负电荷；所述下电极，用于吸收负电荷；所述金背板，还用于吸收正电荷；探测器根据正负电荷得到电信号，根据电信号实现对气体浓度和种类的探测。本发明具有波长选择性、能够检测多种气体、同时探测多种气体时成本低且易封装。
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公开(公告)号：CN107340063A
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201710488564.8
申请日：2017-06-23
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种热探测器及其制备方法，该热探测器包括从上之下依次排列的微结构阵列、介质层、金属层、钝化层以及热敏电阻层，微结构阵列结构对入射光进行筛选并吸收具有窄带光谱的红外光，具有窄带光谱的红外光在谐振腔内谐振，经由金属层将携带有窄带光谱的红外光转化为携带有窄带光谱的红外光的强度的热信号，热敏电阻层将携带有窄带光谱的红外光的强度的热信号转化为携带有窄带光谱的红外光的强度的电阻信号，通过解调携带窄带光谱的红外光的强度信息的阻值信息获得窄带光谱的红外光强度信息。
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公开(公告)号：CN106197668A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201610580080.1
申请日：2016-07-22
Applicant: 华中科技大学
CPC classification number: G01J3/2803 , B82Y40/00 , G01J3/42
Abstract: 本发明涉及一种窄带红外探测芯片及其制作方法，包括以下步骤：选取单晶硅片，蒸镀一定厚度的金；通过PECVD设备进行表面沉积一定厚度的SiO2；旋涂PMMA曝光胶；设计十字交叉结构的纳米棒阵列，精确控制纳米棒阵列的尺寸参数，通过电子束曝光设备将所设计的结构转移至PMMA曝光胶；进行曝光处理，并通过电子束蒸镀设备进行金蒸镀；进行化学溶液浸泡，去掉PMMA曝光胶，此时硅片上会呈现十字形纳米棒的阵列结构。本发明通过引入光学纳米结构的参数优化设计，实现窄带的红外探测，制造工艺简单可靠，更有利于技术的推广和普及。
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公开(公告)号：CN107275421B
公开(公告)日：2020-01-14
申请号：CN201710420652.4
申请日：2017-06-07
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L31/0232 , H01L31/0352 , H01L31/09 , H01L31/18 , B82Y30/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明公开了一种量子点光电探测器及其制备方法，包括如下步骤：在ITO玻璃衬底上旋涂PMMA光刻胶；光刻胶曝光及微结构图形定义；蒸镀一定厚度的金属薄膜；光刻胶剥离及金属微结构的生成；将制备好的量子点旋涂或喷涂在上述衬底上形成薄膜；继续蒸镀一定厚度的金属形成背底电极，完成器件制备。本发明利用金属微结构的窄带滤波和光场增强功能，对量子点光电响应进行波长调制和增敏，利用量子点薄膜光电效应，使得ITO与背底电极之间的电流发生显著变化。本发明通过选取合适的金属和量子点材料体系，调节金属微结构阵列的结构设计与量子点尺寸，实现高灵敏、可调谐的窄带光电探测器。
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