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公开(公告)号：CN117170063A
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202311116347.8
申请日：2023-08-31
Applicant: 华中科技大学 , 深圳华中科技大学研究院
IPC: G02B13/00
Abstract: 本发明公开了一种可见光波段的折超混合消色差光学系统。该系统包括：透镜组、两片单面超表面透镜和可见光焦平面探测器；透镜组的多个球面透镜沿光轴设置于单面超表面透镜的两侧，对入射光的初级像差进行校正并对光线进行聚焦后出射；单面超表面透镜包括：介质衬底层和柱状微结构阵列；柱状微结构单元的高度介于可见光波长量级，直径介于亚波长量级；单面超表面透镜对入射光的高级像差进行校正后出射；单面超表面透镜的光焦度与透镜组的光焦度满足： 可见光焦平面探测器沿光轴设置于透镜组的出射光一侧，用于对聚焦后的可见光实现探测成像。实现光学系统的紧凑化与轻型化，可见光波段入射光色差的消除，保证光学成像质量。
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公开(公告)号：CN108447915B
公开(公告)日：2020-11-24
申请号：CN201810174504.3
申请日：2018-03-02
Applicant: 华中科技大学 , 深圳华中科技大学研究院
IPC: H01L29/786 , H01L29/22 , H01L29/24 , H01L29/06 , H01L21/34 , G01N27/414
Abstract: 本发明公开了一种薄膜场效应晶体管(TFT)型气体传感器及其制备方法，其中该传感器为底栅顶接触式结构或底栅底接触式结构的薄膜场效应晶体管；以底栅顶接触式结构的薄膜场效应晶体管为例，该晶体管自下而上包括衬底、栅极绝缘层、沟道有源层，沟道有源层为量子点薄膜，其上方沉积有源电极和漏电极；衬底还引出有栅电极。本发明通过对薄膜场效应晶体管型气体传感器其内部组成及结构、相应制备方法的整体工艺及各个步骤的参数进行改进，以量子点薄膜同时作为沟道有源层和气体敏感层，利用栅极偏压的调控综合多参数的气体响应，制备出高灵敏、低功耗和高选择性气体传感器，达到检测低浓度目标气体如NO2、H2S的效果。
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公开(公告)号：CN117111318A
公开(公告)日：2023-11-24
申请号：CN202311142998.4
申请日：2023-09-06
Applicant: 华中科技大学 , 深圳华中科技大学研究院
Abstract: 本发明公开了一种激光整形耦合光学系统及设计方法。激光整形耦合光学系统，包括：沿光轴依次设置的激光发射器、折射透镜、超表面透镜和光纤；折射透镜用于汇聚激光发射器发射的激光得到入射激光；超表面透镜用于将汇聚后的入射激光进行整形耦合后形成出射光束，出射光束被光纤接收；超表面透镜包括介质衬底层和柱状微结构阵列，柱状微结构阵列由多个柱状微结构单元周期阵列排列而成；柱状微结构单元的相位分布方式使得出射光束的数值孔径与光纤的数值孔径相匹配，且出射光束的点列图均方根半径小于光纤芯径的一半。实现了对激光的整形以及与目标光纤的高效耦合，同时光学系统结构简单，使用范围广泛，适用于各种激光器的激光耦合。
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公开(公告)号：CN107170849B
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201710308855.4
申请日：2017-05-04
Applicant: 华中科技大学 , 深圳华中科技大学研究院
IPC: H01L31/0352 , H01L31/09
Abstract: 本发明公开了一种基于胶体量子点的条型超表面结构偏振相关窄带探测器及其制备方法，包括如下步骤：向玻璃板上生长一层硅；旋涂光刻胶；转移条形阵列结构进行显影处理；去胶处理；旋涂量子点；通过电子束蒸发设备蒸镀一层金。本发明利用条形阵列结构对短波红外特定波长的谐振作用，实现对特定波长光的全吸收，通过调节条形阵列结构的几何结构参数来控制光学吸收，实现了特定波长可调，实现可见光到红外光的吸收，且具有偏振相关性，进而胶体量子点材料制成探测器。该制备方法简易，响应迅速，可操作性强，具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN108447915A
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201810174504.3
申请日：2018-03-02
Applicant: 华中科技大学 , 深圳华中科技大学研究院
IPC: H01L29/786 , H01L29/22 , H01L29/24 , H01L29/06 , H01L21/34 , G01N27/414
Abstract: 本发明公开了一种薄膜场效应晶体管(TFT)型气体传感器及其制备方法，其中该传感器为底栅顶接触式结构或底栅底接触式结构的薄膜场效应晶体管；以底栅顶接触式结构的薄膜场效应晶体管为例，该晶体管自下而上包括衬底、栅极绝缘层、沟道有源层，沟道有源层为量子点薄膜，其上方沉积有源电极和漏电极；衬底还引出有栅电极。本发明通过对薄膜场效应晶体管型气体传感器其内部组成及结构、相应制备方法的整体工艺及各个步骤的参数进行改进，以量子点薄膜同时作为沟道有源层和气体敏感层，利用栅极偏压的调控综合多参数的气体响应，制备出高灵敏、低功耗和高选择性气体传感器，达到检测低浓度目标气体如NO2、H2S的效果。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108444927A
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201810200969.1
申请日：2018-03-12
Applicant: 华中科技大学 , 深圳华中科技大学研究院
Abstract: 本发明公开了一种光谱分析芯片及其制备方法，该光谱分析芯片从下至上依次包括硅衬底层、量子点光敏薄膜、以及光学天线，其中，光学天线是由金属纳米结构周期性排列得到的阵列；该光谱分析芯片还包括至少一对与量子点光敏薄膜接触的金属电极构成光电探测器。探测芯片制备分三步：制备光学天线；制备量子点光敏薄膜；制作电极完成芯片制备。本发明利用金属纳米结构与量子点光敏薄膜之间的协同配合，利用光学天线的滤波和光场增强功能以及量子点的量子限域效应，对量子点光敏薄膜的光电响应进行波长调制和增敏，实现高灵敏、窄通带、可调谐的光电探测器单元，集成制备得到高灵敏光谱分析芯片。
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公开(公告)号：CN108444927B
公开(公告)日：2020-01-21
申请号：CN201810200969.1
申请日：2018-03-12
Applicant: 华中科技大学 , 深圳华中科技大学研究院
Abstract: 本发明公开了一种光谱分析芯片及其制备方法，该光谱分析芯片从下至上依次包括硅衬底层、量子点光敏薄膜、以及光学天线，其中，光学天线是由金属纳米结构周期性排列得到的阵列；该光谱分析芯片还包括至少一对与量子点光敏薄膜接触的金属电极构成光电探测器。探测芯片制备分三步：制备光学天线；制备量子点光敏薄膜；制作电极完成芯片制备。本发明利用金属纳米结构与量子点光敏薄膜之间的协同配合，利用光学天线的滤波和光场增强功能以及量子点的量子限域效应，对量子点光敏薄膜的光电响应进行波长调制和增敏，实现高灵敏、窄通带、可调谐的光电探测器单元，集成制备得到高灵敏光谱分析芯片。
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公开(公告)号：CN107170849A
公开(公告)日：2017-09-15
申请号：CN201710308855.4
申请日：2017-05-04
Applicant: 华中科技大学 , 深圳华中科技大学研究院
IPC: H01L31/0352 , H01L31/09
CPC classification number: H01L31/035218 , H01L31/09
Abstract: 本发明公开了一种基于胶体量子点的条型超表面结构偏振相关窄带探测器及其制备方法，包括如下步骤：向玻璃板上生长一层硅；旋涂光刻胶；转移条形阵列结构进行显影处理；去胶处理；旋涂量子点；通过电子束蒸发设备蒸镀一层金。本发明利用条形阵列结构对短波红外特定波长的谐振作用，实现对特定波长光的全吸收，通过调节条形阵列结构的几何结构参数来控制光学吸收，实现了特定波长可调，实现可见光到红外光的吸收，且具有偏振相关性，进而胶体量子点材料制成探测器。该制备方法简易，响应迅速，可操作性强，具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN106950631A
公开(公告)日：2017-07-14
申请号：CN201710319273.6
申请日：2017-05-09
Applicant: 华中科技大学 , 深圳华中科技大学研究院
Abstract: 本发明公开了一种基于介质微柱阵列的红外吸波体及其制备方法；该红外吸波体包括介质微柱阵列、介质层以及金属层；介质微柱阵列用于对入射光波长进行筛选处理，介质层用于使筛选后的入射光谐振产生电磁波，金属层用于将所述电磁波转化为热能吸收。该红外吸波体具有高品质因数，吸收峰宽度极窄的优点。当柱体高度为630nm～1210nm，柱体直径为809nm～1980nm，两个相邻柱体中心距离为1300nm～3600nm；以及介质层其厚度为1030nm～2310nm时，实现在介质微柱阵列表面的玻印亭矢量为零，进而保证吸收峰波长与入射角度在一定范围内无关；并实现吸波体的品质因数可以高于100，具有窄的吸收峰带宽。
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公开(公告)号：CN118922050A
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202410960750.7
申请日：2024-07-17
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明提供一种基于相变材料的热释电探测器结构，包括：窄带吸收体腔结构，包括金属层、介质层和相变材料层；热释电探测器，位于窄带吸收体腔结构之下，热释电探测器包括钽酸锂单晶片；在光线射到窄带吸收腔体结构时，窄带吸收腔体结构用于吸收对应波长的光线，产生热释电效应，钽酸锂单晶片用于产生电流，以根据电流的大小获得光线的光强信息，并根据电流的大小改变相变材料层的状态，以调节窄带吸收体腔结构的吸收峰位来进行探测。本发明结构简单，对角度变化不敏感，可以选择性窄带探测的同时，实时调控选择性探测的范围，可以在物质识别、浓度检测等领域提供更为精确的定量结果，并且单个探测器就可以实现小范围内的光谱重现。
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