微通道板测试夹具
    32.
    实用新型

    公开(公告)号:CN215728302U

    公开(公告)日:2022-02-01

    申请号:CN202121986384.0

    申请日:2021-08-23

    Abstract: 本实用新型涉及微通道板技术领域,具体而言涉及微通道板测试夹具,包括:下部夹具,包括金属筒、陶瓷底座;弹性垫圈、金属垫圈、内金属爪盘;上部夹具,包括外金属爪盘、陶瓷筒;其中,所述金属筒、陶瓷底座、弹性垫圈、金属垫圈、内金属爪盘、外金属爪盘、陶瓷筒均为环形结构,且自下而上同心的依次分布。本实用新型提出的微通道板测试夹具适用于现有的测试仪器上,可替代现用的测试夹具,同时可根据不同尺寸的微通道板相应调整零件尺寸,适用性强;测试夹具安装拆卸方便省时,尤其是对微通道板定位以及压紧时,不产生水平方向的相对滑动,可有效保护微通道板金属薄膜不受损伤。

    微通道板自动清洗装置
    33.
    实用新型

    公开(公告)号:CN215696364U

    公开(公告)日:2022-02-01

    申请号:CN202121986375.1

    申请日:2021-08-23

    Abstract: 本实用新型提供一种微通道板自动清洗装置,包括:真空转移机构,用于吸住至少一个抛光后的微通道板;装板圆盘,用于与真空转移机构对接,并接住从真空转移机构下落的微通道板;电机;传动组件,一端啮合到电机的输出端实现扭矩输出,另一端可拆卸地连接到装板圆盘,并通过电机驱动装板圆盘转动;超声波清洗机,具有多个清洗槽;电机、传动组件与装板圆盘被设置成可上下伸缩运动以及水平移动,以将装载有微通道板的装板圆盘在不同的清洗槽内清洗。利用本实用新型的微通道板自动清洗装置,对抛光后的微通道板进行表面旋转超声波清洗,在提高抛光清洗效率的同时,消除了人员操作差异带来的表面质量差异,保证微通道板的洁净度。

    用于微通道板原子层沉积设备的固态源稳定蒸发装置

    公开(公告)号:CN215713358U

    公开(公告)日:2022-02-01

    申请号:CN202121986374.7

    申请日:2021-08-23

    Abstract: 本实用新型提供一种用于微通道板原子层沉积设备的固态源稳定蒸发装置,包括:水浴槽;设置有固态源的固态源瓶,所述固态源瓶容纳在水浴槽内,并进行水浴加热;控温装置,所述控温装置用于控制所述水浴槽中水保持设定的温度;超声波发生器,位于水浴槽的底部;超声波控制器,与所述超声波发生器连接,所述超声波控制器用于控制超声波发生器的运行,以使水浴槽中水发生振动并辐射到固态源瓶及其中的固态源。本实用新型提出基于水浴与超声波振动辅助的固态源稳定蒸发装置,在较低温度下即可实现固态源的稳定蒸发,在达到相同蒸发量的情况下加热温度更小,且不易结块,降低了原子层沉积设备管道的温耗,并且固态源的消耗保持稳定状态。

    用于空间卫星探测X射线的微孔光学元件

    公开(公告)号:CN215728862U

    公开(公告)日:2022-02-01

    申请号:CN202121986373.2

    申请日:2021-08-23

    Abstract: 本实用新型涉及空间探测科学卫星技术领域,具体公开一种用于空间卫星探测X射线的微孔光学元件,包括:热弯形成的阵列式的微通道玻璃基体,其中每个微通道具有各自的光轴,每个微通道的截面成正方形,正方形的边长为微米级;微通道玻璃基体限定第一表面和第二表面,分别指向每个微通道入光侧和出光侧;在指向入光侧的第一表面依次设置有用于增强X射线在微通道中的反射率的金属膜、中间连接膜以及用于遮挡宇宙中的可见光的遮光膜,金属膜镀制在第一表面上并与其直接接触。本实用新型的用于空间卫星探测X射线的微孔光学元件,可探测宇宙中星体发射的X射线,并增强遮光膜与玻璃基底与金属增强膜之间的结合附着力,防止遮光膜脱落。

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