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公开(公告)号：CN101354308A
公开(公告)日：2009-01-28
申请号：CN200810211257.6
申请日：2008-09-19
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种数字视差测量仪及测量方法。本发明包括光源、物镜、图像采集模块、计算机、机电平移台。光源通过目镜照明被测光学系统的分划板，光线透过望远物镜后进入物镜并在图像采集模块上成像，图像采集模块将所成图像传送给计算机，计算机控制机电平移台实现机电平移，机电平移台向计算机返回机电平移数据；物镜装卡于机电平移台上。本发明还可以包括分光系统，光线通过分光系统进入粗瞄摄像机，将采集到的视频信号传输给监视器，用于测量前的粗瞄对准。本发明用计算机来修正由环境变化引起的测量误差，具有精度高、速度快、客观性好的优点，可用于光学系统的检测与装配过程中的高精度视差测量。
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公开(公告)号：CN101271283A
公开(公告)日：2008-09-24
申请号：CN200810100859.4
申请日：2008-02-25
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种光刻机物镜点光源工作条件下杂光系数测试装置，属于光电测试技术领域。本发明旨在解决影响光刻质量的成像物镜像面杂光这个关键成像性能的高精度测量与评估。本发明由点光源照明系统、光刻物镜、像方接收系统组成；光刻物镜放置在点光源孔的光路上。像方接收系统由小孔光阑、中继光学系统、积分球后端的牛角消光管、光电探测器、信号处理系统组成。点光源照明系统的光线通过光刻机物镜像方上的小孔光阑后的艾里斑像，然后由积分球探测，测得光刻机物镜点光源工作条件下的随照明视场变化的杂光系数。本发明装置具有探测信噪比高、精度高，功能强，可用于新研制和使用中的光刻机物镜成像质量的检测、监控与评估。
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公开(公告)号：CN101231158A
公开(公告)日：2008-07-30
申请号：CN200810057898.0
申请日：2008-02-20
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种基于液体变焦透镜的微小物体三维外形尺寸的快速检测装置。本发明包括二维平移台、被测物体、液体变焦透镜、有限共轭物镜、聚焦镜、CCD摄像机、图像采集模块、计算机、液体变焦透镜控制器。在二维平移台上放置被测物体，经液体变焦透镜、有限共轭物镜、聚焦镜后成像在CCD摄像机的感光像面上。CCD摄像机通过图像采集模块与计算机连接；计算机通过液体变焦透镜控制器与液体变焦透镜连接。本发明将液体变焦透镜应用于微小物体三维外形尺寸的快速检测。本装置光学系统中没有机械移动部件，提高了仪器的测量速度与使用寿命。可用于机械加工、MEMS、微电子、生物医药等领域中进行快速的三维外形尺寸检测。
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公开(公告)号：CN100389312C
公开(公告)日：2008-05-21
申请号：CN200610128631.7
申请日：2006-09-04
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明提供了一种CCD摄像机分辨率客观评测方法，该方法包括以下步骤：获得一个分组多条纹图案靶板图像；将具有不同条纹宽度的条纹区域进行分离；抽取每个条纹区域中的一行的灰度值；分别将对应各条纹区域的所述灰度致信号转换至频域，其中，在保证采样后不同分辨率条纹的空间频率是对应物方空间频率间隔的整数倍的情况下，确定采样频率；从相应的频谱图中分别获得对应各条纹区域的摩尔条纹的幅值，以及特征频率幅值；最后对比各条纹区域的特征频率幅值与摩尔条纹频率幅值的关系，这种方法有效地解决了以往对于高频段变频光栅中出现摩尔条纹，从而影响判别的问题。本发明还提供了一种CCD摄像机分辨率测定系统。
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公开(公告)号：CN100360919C
公开(公告)日：2008-01-09
申请号：CN200410090673.7
申请日：2004-11-12
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 一种无限兼有限共轭光电像分析器，可以实现多种测试功能，具有很高的集成度。由平移台和旋转台构成多维调整系统，可满足测试中的多维调整和折轴测试的需要；该仪器根据被测系统的需要，光电测头具有望远和显微两种功能，望远测头还要适应0视度和多个非0视度试样的测试功能，对望远系统参数的测试可以通过不同视度准直镜与CCD组成的接收系统实现，对照相系统可以通过在像分析器光学系统的物方接口处加接显微物镜来实现。该仪器通过相应的软件可以实现对光学系统所成的像进行采集和分析、图像数据处理，是集光、机、电、算、自动控制为一体的综合装置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101026778A
公开(公告)日：2007-08-29
申请号：CN200710064396.6
申请日：2007-03-14
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 一种CCD摄像系统的畸变测量校正方法和综合测试靶，所述综合测试靶由黑白间带和黑白带上的灰色目标点构成。所述的方法包括步骤：依次建立世界坐标系和摄像机坐标系之间、像素坐标系与图像坐标系之间、摄像机坐标系和图像坐标系之间的变换关系；采集畸变图像的成像极坐标；标定理想无畸变的成像极坐标；分别确定理想图像坐标点和畸变图像坐标点的对应关系，建立多项式模型；根据多项式系数测量并校正畸变。本发明的综合测试靶结合考虑了点靶和行靶信息，用测试靶替代传统的三个分立的靶板，解决了目标采样点的位置精度不高和目标采样点与其像点位置对应困难的问题。
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公开(公告)号：CN101025382A
公开(公告)日：2007-08-29
申请号：CN200710063161.5
申请日：2007-01-30
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 一种统计调制传递函数的随机图案测量方法，采用功率谱相关性来得到传递函数，采用随机条纹测试靶标，或者其它随机图案靶标，随机图案由计算机随机算法生成，不需要扫描机构和精确对准机构，可以在计算机控制下快速得到离散采样成像系统的统计意义上的调制传递函数特性。利用该方法能非常容易地得到大量随机条纹测试图或者其它类型的测试图，便于进行统计意义上的测试，具有很高的灵活性和可操作性；具有平移不变特性，避免了微米级精密的机械扫描；采用高分辨率液晶作为光学分划图形发生器并应用于光学测量；测试过程简单，对人员的专业技术水平要求不高，利于实现计算机自动化测试。
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公开(公告)号：CN101013062A
公开(公告)日：2007-08-08
申请号：CN200710063160.0
申请日：2007-01-30
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 一种折轴/潜望望远光学系统透射比测试系统，包括：1)光源组件，包括光源和调制盘；2)发射单元，包括平行光管和可换光阑；3)接收单元，包括用于探测入射光能量的积分球和光电倍增管；4)控制处理单元，包括锁相放大器、模数转换电路、单片机和显示屏；其特征在于，将发射单元和接收单元做成分体结构，并且各个分体结构都可以独立升降或俯仰调整，满足折轴望远光学系统透过率的测试要求；为提高测量精度，系统采用了双光路方式，在一定程度上排除了光源、探测器、高压电源、放大器等部件的信号漂移，一次100％校准后可以在长时间内进行测量。
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公开(公告)号：CN103123251A
公开(公告)日：2013-05-29
申请号：CN201010121848.1
申请日：2010-03-11
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种差动共焦内调焦法透镜光轴及厚度测量方法与装置。该方法借助内调焦物镜，使用自准直法，对透镜光轴进行高精度调整，使用差动共焦响应曲线过绝对零点时差动共焦光锥顶点与被测透镜表面顶点重合的特性，实现透镜表面顶点的精确定位，并获取差动共焦光锥顶点两次定位时出射光的数值孔径角，利用光线追迹公式计算出透镜中心厚度。同时在测量光路中引入环形光瞳，削减了像差对测量结果的影响。本发明首次将差动共焦与内调焦融合，提出了差动共焦内调焦法透镜光轴及厚度测量原理，具有测量速度快、精度高、灵敏度高、结构简单及工作距离长的优点，可用于透镜光轴及中心厚度的非接触高精度测量。
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公开(公告)号：CN101776516B
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN201010000554.3
申请日：2010-01-13
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种基于PSD位置探测的共分划面多光谱标靶，属于光电成像与测试技术领域。本发明的PSD位置探测共分划面多光谱标靶，包括基底、PSD、多杆靶组、多圆孔靶和分划线；其中，PSD制作在基底中心区域，分划线中心的延长线与PSD的中心线重合，多杆靶组由具有不同间距、杆长和杆宽的多杆靶构成，且其任意放置在PSD以外的区域；多圆孔靶放置在PSD以外的区域，关于PSD中心对称；基底是多光谱透射材质，分划线是具有标识特征的任意图形。本发明将可透射多光谱波段的材料应用于分划板基底，大大减少了人工或机械调整控制转换对测量精度的影响，该分划板可实现可见光、红外、激光分划标靶合一的功能，具有无失调、精度高、体积小、重量轻等显著特点。
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