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公开(公告)号：CN106098520A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201610617959.9
申请日：2016-07-30
Applicant: 北京工业大学
CPC classification number: H01J37/26 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01J2237/20221 , H01J2237/20228
Abstract: 本发明公开了一种扫描/透射电子显微镜关联分析用真空移动装置，包括与扫描电镜相连接的真空腔体，其内部的二维平移台以及透射电镜样品杆偏心套筒；真空腔体前端与扫描电镜腔体法兰连接；真空腔体设置有二维平移台外接旋钮；腔体内部安装有用于实现SEM电子束成像区域精确选择的二维平移台，及其上的透射电镜样品杆偏心套筒，实现成像区域的Z轴微调。本发明结合TEM的高分辨成像和局部区域高精度成分获取和SEM能够获得大范围样品的形貌和成分的优点，实现精确定位样品研究区域、微观、纳米尺度相结合的研究样品的显微结构、成分、物相等信息；同时可用于对透射电镜加热、通电、液体及其一体化样品杆的初步测试，以保障透射电镜的安全。
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公开(公告)号：CN104637765A
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201510081273.8
申请日：2015-02-15
Applicant: 北京工业大学
IPC: H01J37/20
CPC classification number: H01J37/20 , H01J2237/20207 , H01J2237/20214
Abstract: 一种透射电子显微镜用双轴倾转样品载台，属于透射电子显微镜配件领域。包括样品杆杆身，驱动轴，连接轴，旋转轴和样品台，样品杆前端留有旋转轴孔，样品台末端有与其一体的运动导槽，样品台通过旋转轴与样品杆杆身前端相连接，通过连接轴在运动导槽位置处与驱动轴相连。通过直线步进电机使驱动轴在水平方向前进或后退，使样品台以旋转轴为中心进行旋转。采用不同形状轨迹的运动导槽可以实现双倾。根据样品载台尺寸的大小，可调节旋转轴距导槽初始水平方向的距离或者改变运动导槽与水平方向的夹角，进而调节可实现的双轴倾转角度。本装置可以与常规的透射电子显微镜配合使用，通用性广。本装置简单，装配方便，成本低，可精确控制倾转角度。
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公开(公告)号：CN111017866B
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202010028237.6
申请日：2020-01-10
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明涉及高温微纳实验力学装置技术领域，公开了一种力热耦合微机电系统、原位力学平台及制造方法，其中力热耦合微机电系统包括基体、T形加热端、C形加热端、内部温度约束结构和驱动端温度约束结构，T形加热端的横杆部间隔地嵌套于C形加热端中，以形成样品搭载区；纵杆部伸出C形加热端的开口侧并连接于内部温度约束结构，内部温度约束结构安装于凹槽的槽底；C形加热端连接于驱动端温度约束结构，驱动端温度约束结构安装于凹槽的槽口。该力热耦合微机电系统通过设置相互配合的T形加热端和C形加热端，可以减少加热区域热质，降低功率，减小热漂移，可以实现样品拉压、剪切等力学加载同时结合加热升温的原位原子分辨的力热耦合测试。
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公开(公告)号：CN109975348B
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN201910172947.3
申请日：2019-03-07
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明实施例提供一种原位热电性能测试装置、制备方法及系统，在包括中空结构的基底上依次设有器件层和功能层，功能层和器件层中设有贯穿功能层和器件层并与中空结构连通的长槽；功能层的上表面位于长槽的两侧分别设有对称的第一加热电阻和第二加热电阻，能对样品的两端分别进行独立的温度控制；器件层中，第一加热电阻下方设有第一方形微孔，在第二加热电阻下方设有第二方形微孔，使得加热高温能聚集在装置的中空加热区域，降低装置功率；通过测量样品两端的电势差和样品的电阻率，可获取样品的塞贝克系数以及电导率随温度的变化情况，将样品的微纳米结构与测得的热电性能参数变化对应，可获取样品的微纳米结构与热电性能参数变化的直接关系。
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公开(公告)号：CN110246735B
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN201910417905.1
申请日：2019-05-20
Applicant: 北京工业大学
IPC: H01J37/20 , G01N23/2005 , G01N1/28
Abstract: 本发明涉及材料显微实验设备技术领域，提供了一种转移微纳样品的结构及制备方法及使用方法，该结构包括载物板、挡板以及基体；载物板与挡板连接呈“L”型，载物板的一端与基体相连；载物板上沿靠近基体的方向依次为样品区、过渡区以及粘接区；样品区用于搭载待测材料块，粘接区用于与目标载体进行连接。本发明实施例提供的转移微纳样品的结构，可以避免样品转移过程中受到离子束辐照产生的轰击、注入和溅射损伤和粘接沉积时的污染；通过设置过渡区还可以避免切削和沉积时的溅射损伤和污染；由于样品区的形状可以根据待测材料块的形状进行设置，有利于基于MEMS芯片的透射电镜原位力学平台实现更多加载功能，应用到更广泛的材料领域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110243679B
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN201910459279.2
申请日：2019-05-29
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明涉及基于透射电镜的纳米材料原位表征技术领域，提供了一种热双金属拉伸驱动器及其制备方法，热双金属拉伸驱动器包括本体和第一开口、第二开口；本体包括主动区和设置在主动区两侧的被动区；主动区上开设第一开口，每个被动区上开设第二开口，第一开口与被动区之间的连接部设为第一搭载梁，第二开口与主动区之间的连接部设为第二搭载梁，且第一搭载梁与第二搭载梁并行连接；主动区上的两根第一搭载梁之间构成拉伸驱动位置；本发明结构简单、制备方便，通过一体式结构设计，便于批量化生产，并实现了在不同温度下进行TEM原位拉伸实验，同时可根据需要灵活设计驱动器的结构，满(56)对比文件韩晓东;张泽.原子点阵分辨率下的原位力学性能实验.电子显微学报.2010,(第03期),全文.金钦华;王跃林;李铁;李昕欣;许钫钫.用于TEM原位拉伸实验的集成单晶硅纳米梁MEMS测试芯片研究.中国科学(E辑:技术科学).2009,(第05期),全文.
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公开(公告)号：CN111017866A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN202010028237.6
申请日：2020-01-10
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明涉及高温微纳实验力学装置技术领域，公开了一种力热耦合微机电系统、原位力学平台及制造方法，其中力热耦合微机电系统包括基体、T形加热端、C形加热端、内部温度约束结构和驱动端温度约束结构，T形加热端的横杆部间隔地嵌套于C形加热端中，以形成样品搭载区；纵杆部伸出C形加热端的开口侧并连接于内部温度约束结构，内部温度约束结构安装于凹槽的槽底；C形加热端连接于驱动端温度约束结构，驱动端温度约束结构安装于凹槽的槽口。该力热耦合微机电系统通过设置相互配合的T形加热端和C形加热端，可以减少加热区域热质，降低功率，减小热漂移，可以实现样品拉压、剪切等力学加载同时结合加热升温的原位原子分辨的力热耦合测试。
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公开(公告)号：CN110031295A
公开(公告)日：2019-07-19
申请号：CN201910217214.7
申请日：2019-03-21
Applicant: 北京工业大学
IPC: G01N3/08 , G01N3/02 , G01N23/04 , G01N23/2251
Abstract: 本发明实施例涉及透射/扫描电子显微镜气体环境力学技术领域，提供的气体环境原位应力应变测量实验平台，包括由下至上依次连接的底座模块、力学加载与测量模块和顶部窗口模块；力学加载与测量模块包括具有的力学加载与测量模块本体，用于放置样品、为样品施加力与位移约束和获取样品的实时应力应变数据；底座模块和顶部窗口模块之间为气体存储空间，用于为不同的环境气体提供反应空间；顶部窗口模块用于密封样品气氛环境，并使电子束穿透样品，从而得到样品的透射电子显微镜图像。该气体环境原位应力应变测量实验平台在原位施加应力载荷状态下，调控样品所处气氛环境，研究样品在不同气氛环境下的力学状态。
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公开(公告)号：CN106783494B
公开(公告)日：2018-07-06
申请号：CN201611110688.4
申请日：2016-12-06
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 一种透射电镜样品杆真空存储与测试装置属于透射电子显微镜真空配件领域。在样品杆存储的同时，可对样品杆进行通电，加热测试。该装置包括可移动机架，真空泵系统，真空测量与显示系统，真空罩，阀门系统，样品杆存储组件及堵塞。该装置可同时存储多根的样品杆，并预留增加窗口。该装置可在5分钟内将腔体内气压从空气气压抽到4×10‑4Pa，极限真空可达5×10‑5Pa。该装置可以有效避免样品杆在外界放置时受到污染或侵蚀而污染电镜，大幅度缩短样品杆在电镜中的预抽时间，使电镜更快达到稳定的真空度，增加样品杆的使用寿命。本装置操作方便，真空度好，易于添加样品杆存储工位，适用于不同类型的透射电镜样品杆使用。
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公开(公告)号：CN105758876A
公开(公告)日：2016-07-13
申请号：CN201610237949.2
申请日：2016-04-17
Applicant: 北京工业大学
IPC: G01N23/04
CPC classification number: G01N23/04
Abstract: 一种透射电子显微镜用双轴倾转样品杆，包括样品杆杆身主体、前端倾转台、驱动杆、连杆、倾转轴、旋转轴、驱动杆固定轴和样品载台。前端倾转台留有轴孔,通过倾转轴与样品杆杆身主体相连接。通过旋转轴使连杆、凸台卡槽和驱动杆卡槽相连接。样品杆杆身前端两侧位置设计对称的两个贯通的运动导槽，通过驱动杆固定轴固定驱动杆，约束驱动杆在杆身主体后端的直线步进电机驱动下，进行往复式直线运动，进而使样品台绕倾转轴旋转。本装置可通过高精度直线步进电机精确控制样品载台倾转角度。本装置可通过前端倾转台下表面凸台与水平方向上的夹角和运动导槽的长度来调节样品台的最大倾转角度。本装置可以与常规的透射电子显微镜配合使用，通用性广。
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