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公开(公告)号：CN104637765B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201510081273.8
申请日：2015-02-15
Applicant: 北京工业大学
IPC: H01J37/20
Abstract: 一种透射电子显微镜用双轴倾转样品载台，属于透射电子显微镜配件领域。包括样品杆杆身，驱动轴，连接轴，旋转轴和样品台，样品杆前端留有旋转轴孔，样品台末端有与其一体的运动导槽，样品台通过旋转轴与样品杆杆身前端相连接，通过连接轴在运动导槽位置处与驱动轴相连。通过直线步进电机使驱动轴在水平方向前进或后退，使样品台以旋转轴为中心进行旋转。采用不同形状轨迹的运动导槽可以实现双倾。根据样品载台尺寸的大小，可调节旋转轴距导槽初始水平方向的距离或者改变运动导槽与水平方向的夹角，进而调节可实现的双轴倾转角度。本装置可以与常规的透射电子显微镜配合使用，通用性广。本装置简单，装配方便，成本低，可精确控制倾转角度。
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公开(公告)号：CN105223213A
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201510629763.7
申请日：2015-09-28
Applicant: 北京工业大学
IPC: G01N23/04
CPC classification number: H01J37/20 , G01N23/02 , G01N2223/307 , G01N2223/32 , G01N2223/418 , H01J2237/206 , H01J2237/262
Abstract: 一种透射电镜双倾原位纳米压痕平台属于纳米材料力学性能-显微结构原位表征领域。该平台主要由粘接区、支撑梁、承载梁、样品载台与微型压头组成，整体结构通过半导体微细加工技术制备。原位纳米压痕实验可采用热双金属片、V型电热梁、压电、静电、电磁、记忆合金等方式进行驱动，样品通过聚焦离子束块体取样技术获得。该一体化平台可置于透射电镜(TEM)样品杆前端的狭小空间内，在双轴倾转条件下，驱动装置驱动微型压头，在透射电镜中对材料进行原位纳米压痕、原位压缩和原位弯曲等实验。可以在亚埃、原子和纳米尺度下对材料的变形过程进行原位观察，研究其变形机制，揭示其显微结构与力学性能的关系。
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公开(公告)号：CN110044700B
公开(公告)日：2024-04-12
申请号：CN201910347092.3
申请日：2019-04-26
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明涉及材料原位微纳实验平台领域，提供一种透射电镜原位液体环境力学试验平台，包括样品杆和装载台，装载台包括下芯片、上芯片和加载器件。下芯片上表面设有第一凹槽，第一凹槽底面设有沟槽，沟槽的底面设有下薄膜窗口和两个第一通孔；上芯片的下表面设有第二凹槽和上薄膜窗口，第二凹槽和第一凹槽形成用于安装加载器件的容置空间，上芯片的上表面设有热电阻；上芯片下表面与下芯片上表面连接，加载器件下表面与第一凹槽底面连接，加载器件设有驱动梁，驱动梁设有样品搭载区；下薄膜窗口、样品搭载区和上薄膜窗口对中设置。本发明可实现对样品在液体腐蚀环境下力学测试，解决了目前透射电镜无法有效进行原位液体环境下力学测试的问题。
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公开(公告)号：CN110261221B
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN201910430801.4
申请日：2019-05-22
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明涉及纳米材料力学性能与显微结构原位表征技术领域，提供一种原位拉伸装置及其制备方法，所述的制备方法包括：在MEMS力学芯片上对搭载的板料进行切割操作，得到第一拉伸辅助件、第二拉伸辅助件和预拉伸样品；对预拉伸样品进行减薄操作，以得到拉伸样品；第一拉伸辅助件连接MEMS力学芯片的第一搭载侧，拉伸样品的两端分别连接第二拉伸辅助件与MEMS力学芯片的第二搭载侧；第一拉伸辅助件与第二拉伸辅助件相嵌套成勾套结构；本发明设计巧妙、操作便捷，实现了在MEMS力学芯片上直接制备拉伸样品和用于辅助拉伸的勾套结构，可以有效防(56)对比文件金钦华;王跃林;李铁;李昕欣;许钫钫.用于TEM原位拉伸实验的集成单晶硅纳米梁MEMS测试芯片研究.中国科学(E辑:技术科学).2009,(第05期),全文.
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公开(公告)号：CN115046825A
公开(公告)日：2022-09-13
申请号：CN202210674942.2
申请日：2022-06-14
Applicant: 北京工业大学
IPC: G01N1/28 , G01N23/04 , G01N23/20008
Abstract: 本发明提供一种透射电镜用原位拉伸样品保护装置及其制备方法，包括设置在MEMS力学芯片上的第一搭载侧、第二搭载侧，还包括第一拉伸辅助件、第二拉伸辅助件和载物件；第一拉伸辅助件连接MEMS力学芯片的第一搭载侧，载物件两端分别连接第二拉伸辅助件和第二搭载侧；第一拉伸辅助件与第二拉伸辅助件相嵌套成勾套结构。本发明通过在MEMS力学芯片上搭载原料块，然后切割，得到第一拉伸辅助件、第二拉伸辅助件以及载物件，并且保证第一拉伸辅助件嵌套于第二拉伸辅助件内部，形成勾套结构，由于形成了载物件，使得整个勾套自由选材，可对一维、二维材料及块状材料拉伸；设置载物件，可有效防止样品在拉伸断裂后掉落，避免透射电镜被污染。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105758711B
公开(公告)日：2018-04-06
申请号：CN201610237986.3
申请日：2016-04-17
Applicant: 北京工业大学
IPC: G01N3/02
Abstract: 基于压电陶瓷驱动的透射电子显微镜双轴倾转原位力学样品杆属于材料显微结构‑力学性能原位表征领域，包括杆身主体和压电陶瓷驱动系统两部分。样品杆杆身主体包括倾转台、样品杆、直线步进电机、驱动杆、驱动连杆。压电陶瓷驱动系统包括压电陶瓷载台、压电陶瓷、连接座及可实现拉伸或压缩功能的样品载台。通过步进电机使驱动杆前后往复运动，实现样品在X和Y轴的双轴倾转。通过施加电压使压电陶瓷产生位移并通过连接座来推动样品载台，从而实现对样品的拉伸或压缩。本发明与高分辨TEM配合，在进行原子尺度、甚至亚埃尺度显微结构观测的同时，对纳米材料进行可控变形，进行实现材料显微结构—力学性能的一体化研究，揭示材料的形变机制。
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公开(公告)号：CN106098520B
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：CN201610617959.9
申请日：2016-07-30
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明公开了一种扫描/透射电子显微镜关联分析用真空移动装置，包括与扫描电镜相连接的真空腔体，其内部的二维平移台以及透射电镜样品杆偏心套筒；真空腔体前端与扫描电镜腔体法兰连接；真空腔体设置有二维平移台外接旋钮；腔体内部安装有用于实现SEM电子束成像区域精确选择的二维平移台，及其上的透射电镜样品杆偏心套筒，实现成像区域的Z轴微调。本发明结合TEM的高分辨成像和局部区域高精度成分获取和SEM能够获得大范围样品的形貌和成分的优点，实现精确定位样品研究区域、微观、纳米尺度相结合的研究样品的显微结构、成分、物相等信息；同时可用于对透射电镜加热、通电、液体及其一体化样品杆的初步测试，以保障透射电镜的安全。
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公开(公告)号：CN105758711A
公开(公告)日：2016-07-13
申请号：CN201610237986.3
申请日：2016-04-17
Applicant: 北京工业大学
IPC: G01N3/02
CPC classification number: G01N3/02
Abstract: 基于压电陶瓷驱动的透射电子显微镜双轴倾转原位力学样品杆属于材料显微结构?力学性能原位表征领域，包括杆身主体和压电陶瓷驱动系统两部分。样品杆杆身主体包括倾转台、样品杆、直线步进电机、驱动杆、驱动连杆。压电陶瓷驱动系统包括压电陶瓷载台、压电陶瓷、连接座及可实现拉伸或压缩功能的样品载台。通过步进电机使驱动杆前后往复运动，实现样品在X和Y轴的双轴倾转。通过施加电压使压电陶瓷产生位移并通过连接座来推动样品载台，从而实现对样品的拉伸或压缩。本发明与高分辨TEM配合，在进行原子尺度、甚至亚埃尺度显微结构观测的同时，对纳米材料进行可控变形，进行实现材料显微结构—力学性能的一体化研究，揭示材料的形变机制。
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公开(公告)号：CN119920519A
公开(公告)日：2025-05-02
申请号：CN202510095341.X
申请日：2025-01-21
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明公开了一种用于X射线成像的定量化电子束合轴系统，涉及透射电子显微镜原子尺度原位力学技术领域。包括阳极、第一线圈、第二线圈、第四连接件、法兰、外壳，法兰及第四连接件均为轴对称结构，法兰固定连接在外壳上，第四连接件设置在法兰内部，第一线圈缠绕在第四连接件的顶部，第二线圈缠绕在第四连接件的底部，第一线圈与第二线圈均与外部电源电连接，第四连接件的中心设有第四电子通道，电子枪发射的电子束经过第四电子通道时在第一线圈与第二线圈的作用下完成合轴。本发明可在电子束激发过程中对不同合轴种类、合轴角度进行修正，从根本上建立线圈电流大小和线圈构型与激发磁场大小的关系，偏转角度与合轴时线圈电流大小的关系。
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公开(公告)号：CN114264678B
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202111656100.6
申请日：2021-12-30
Applicant: 北京工业大学
IPC: G01N23/04 , G01N23/20008 , H01J37/20 , H01J37/26
Abstract: 本发明提供一种原位透射电镜加热芯片及其制备方法，原位透射电镜加热芯片包括：基底，中部开设有通孔，外周设置有多个定位孔；薄膜绝缘层，薄膜绝缘层对应通孔的外周设置有隔热凹槽；加热电阻层，设置于薄膜绝缘层的顶部，加热电阻层盘绕在通孔的边缘。本发明提供的原位透射电镜加热芯片及其制备方法，通过设置通孔，减少了加热电阻层的加热体积，降低了原位透射电镜加热芯片的加热功率，减少了加热过程中芯片产生的热漂移，使得透射电镜成像更加稳定清晰；超大视场范围用于试验观察，制样更加简单、方便；隔热凹槽有效约束了加热电阻层的温度扩散，使温度尽可能集中，减少加热电阻层在加热过程中对外部电镜配件的热影响。
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